涂覆方法、涂覆设备及涂层产品

    公开(公告)号:CN1119966A

    公开(公告)日:1996-04-10

    申请号:CN94113870.4

    申请日:1994-09-30

    Inventor: 小原敏文

    CPC classification number: B05D1/002 B05D3/0254

    Abstract: 在涂覆步骤中,将含有熔剂的涂层组合物以大于流动极限厚度的厚度施加到工件上,之后,将工件绕一基本水平轴旋转,与此同时,进行将施加到工件上的该涂层组合物中的熔剂蒸发掉的固化步骤和将该涂层组合物硬化的硬化步骤,以防止在工件垂直面上的涂层组合物发生流动或流挂。该涂层组合物被设计成在固化步骤期间或在该步骤结束时具有流动性同时熔剂的含量不超过涂层组合物重量的30%。

    显影方法和显影装置
    76.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107272354A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710213294.X

    申请日:2017-04-01

    Abstract: 在形成有抗蚀剂膜并曝光后的半导体装置的制造用的基板的面内进行显影处理以使抗蚀剂图案的尺寸的均匀性变高。实施以下工序:对上述的基板的表面供给显影液进行显影的显影工序;接着,为了从上述基板将上述显影液的一部分甩掉除去,以上述基板在绕中心轴的第一旋转方向上旋转的方式,使该基板的转速上升的第一旋转工序;和接着,为了将残留在上述基板的上述显影液从该基板甩掉除去,使上述基板在与上述第一旋转方向相反的第二旋转方向上旋转的第二旋转工序。由此,能够防止基板的面内的各部中的显影时间的不均,所以能够在基板的各部以均匀性高的尺寸形成抗蚀剂图案。

    涡旋式流体机械的被膜形成方法及装置

    公开(公告)号:CN103228919B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201180056928.6

    申请日:2011-12-01

    Abstract: 本发明提供一种涡旋式流体机械的被膜形成方法及装置。在旋转台(22)上固定回转涡旋体(10),并使回转涡旋体(10)以螺旋中心(C)为中心进行旋转。将喷射喷嘴(42)定位在回转涡旋体(10)的螺旋中心(C)或外侧端,并朝向卷板部(14)的侧面(14a)喷出涂料。喷出涂料并使喷射喷嘴(42)在径向上沿着直线(L)上移动。当使喷射开始位置为螺旋中心(C)时,与喷射喷嘴(42)的移动配合地使回转涡旋体(10)的旋转角速度逐渐减小,当使喷射开始点为外侧端时,与喷射喷嘴(42)的移动配合地使回转涡旋体(10)的旋转角速度逐渐增大。由此,能够均匀地向卷板部侧面(14a)涂敷涂料。

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