公开(公告)号：WO2009089946A3

公开(公告)日：2010-01-21

申请号：PCT/EP2008065572

申请日：2008-11-14

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  BENZEL HUBERT ,  SCHELLING CHRISTOPH

Inventor： BENZEL HUBERT ,  SCHELLING CHRISTOPH

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0858

Abstract: The invention relates to a micromechanical component (10) comprising a support (12) having a recess (14) on a surface of the support (12); a membrane (16) which covers the recess (14) to at least some degree; at least one active element (24) with voltage connections arranged on the membrane (16); the active element (24) being designed to vary its spatial extension when a voltage is applied to the active element (24) and to deform the membrane (16); and a microelement (22), arranged on the membrane (16), which can be adjusted by way of a deformation of the membrane (16) due to the application of voltage to the active element (24). The invention further relates to a method for producing a micromechanical component (10) and to a method for operating a micromechanical component (10).

Abstract translation: 本发明涉及一种具有在支架的一个表面上的保持器（12）配有一微机械部件（10）（12）形成的凹槽（14）; 的膜（16）连接所述凹部（14）至少部分地覆盖; 至少一个在所述膜（16）布置成与电压端子有源元件（24）; 其中所述有源元件（24）适于在施加电压以改变所述有源元件（24），其空间膨胀和变形膜（16）; 和布置成一个，其是可调节由所述膜（16）的变形而通过将电压施加到所述有源元件（24）的膜（16）的微元件（22）上。 此外，本发明涉及一种用于微机械部件（10）和用于操作的微机械部件（10）的方法的制造方法。

公开(公告)号：WO2009147304A1

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：PCT/FR2008/050970

申请日：2008-06-02

Applicant: LEMOPTIX SA ,  ABELE, Nicolas ,  KHECHANA, Faouzi

Inventor： ABELE, Nicolas ,  KHECHANA, Faouzi

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042

Abstract: L'invention concerne un micromiroir comportant une plaquette réfléchissante (21) mobile en rotation autour d'un axe (32) et fixée à un cadre (23) par deux bras parallèles (27, 29) alignés de part et d'autre de la plaquette de façon à former l'axe, l'ensemble du cadre et de la plaquette étant fixé sur un support, le micromiroir comportant au moins une couche aimantée (39, 40).

Abstract translation: 本发明涉及一种微反射镜，其包括反射板（21），该反射板可旋转地围绕轴线（32）移动并且通过两个对准在所述板的两侧的平行臂（27,29）附接到框架（23）以形成轴线， 所述框架和所述板的组件附接到基板，所述微反射镜包括至少一个磁化层（39,40）。

公开(公告)号：WO2003079384A2

公开(公告)日：2003-09-25

申请号：PCT/US2003/007577

申请日：2003-03-11

Applicant: UNI-PIXEL DISPLAYS, INC. ,  SELBREDE, Martin, G.

Inventor： SELBREDE, Martin, G.

IPC: H01H

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/038 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/009 ,  H02N1/006 ,  H04R19/01

Abstract: An actuator (100) taking advantage of ponderomotive forces to enhance its electromechanical performance as a function of input energy. An actuator (100) may include a first conductive layer (102) residing on a first electret layer (101). The actuator (100) may further include a moveable second electret layer (103) which is spaced apart in relation to the first conductive layer (102) when the second electret layer (103) is in a quiescent state. The actuator (100) may further include a second conductive layer (104) in a spaced apart relation to the second electret layer (103) when the second electret layer (103) is in the quiescent state. The actuator (100) may further include a voltage source (105) configured to selectively apply a voltage between the first (102) and second (104) conductive layers thereby propelling the second electret layer (103) to either the first (102) or second (104) conductive layer.

Abstract translation: 利用运动力的致动器（100）作为输入能量的函数增强其机电性能。 致动器（100）可以包括驻留在第一驻极体层（101）上的第一导电层（102）。 致动器（100）还可以包括可移动的第二驻极体层（103），当第二驻极体层（103）处于静止状态时，其相对于第一导电层（102）间隔开。 当第二驻极体层（103）处于静止状态时，致动器（100）还可以包括与第二驻极体层（103）间隔开的第二导电层（104）。 致动器（100）还可以包括被配置为在第一（102）和第二（104）导电层之间选择性地施加电压的电压源（105），从而将第二驻极体层（103）推进到第一（102）或 第二（104）导电层。

公开(公告)号：WO02084335A3

公开(公告)日：2003-03-13

申请号：PCT/US0149364

申请日：2001-12-19

Applicant: COVENTOR INC ,  DEREUS DANA R ,  CUNNINGHAM SHAWN J ,  MORRIS ARTHUR S III

Inventor： DEREUS DANA R ,  CUNNINGHAM SHAWN J ,  MORRIS ARTHUR S III

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  G02B6/34 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G02B6/00

CPC classification number: G02B26/0866 ,  B81B3/0051 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0109 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/356 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  H01H2001/0052 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: A light-transmissive substrate (100) for an optical MEMS device (104) is disclosed. According to one embodiment of the present invention, an optical device is provided. The optical device includes a substrate (100) having an aperture (102) for providing a pathway for light transmission and a device (104) attached to a surface (106) of the substrate (100) for interacting with light transmitted along the pathway. According to another embodiment of the present invention, an optical device is provided which includes a substrate (100) manufactured of a light-transmissive material having surfaces coated with an anti-reflective material for providing a pathway for light transmission and a device (104) attached to a surface (106) of the substrate (100) for interacting with light transmitted along the pathway.

Abstract translation: 公开了一种用于光学MEMS器件（104）的透光基板（100）。 根据本发明的一个实施例，提供一种光学装置。 光学装置包括具有用于提供光透射路径的孔径（102）的基板（100）和附着到基板（100）的表面（106）的装置（104），用于与沿着路径传输的光相互作用。 根据本发明的另一实施例，提供一种光学装置，其包括由透光材料制成的基板（100），该基板具有涂覆有用于提供光透射路径的抗反射材料的表面和装置（104） 附着到衬底（100）的表面（106），用于与沿着路径传输的光相互作用。

公开(公告)号：WO02056061A2

公开(公告)日：2002-07-18

申请号：PCT/US0149359

申请日：2001-12-19

Applicant: COVENTOR INC ,  CUNNINGHAM SHAWN J ,  DEREUS DANA R ,  RAMSEY VICTOR

Inventor： CUNNINGHAM SHAWN J ,  DEREUS DANA R ,  RAMSEY VICTOR

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  G02B6/34 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G02B

CPC classification number: G02B26/0866 ,  B81B3/0051 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0109 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/356 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  H01H2001/0052 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: An optical MEMS device (200) and a package (300) include an optical through path for allowing light to pass from a first side of the package (300), through a substrate (202) on which the optical MEMS device (200) is mounted and through a second side of the package (300) opposite the first side. The package (300) can include first and second light-transmissive portions or apertures (114, 304) for allowing the light to pass. The optical MEMS device (200) can be a shutter for selectively affecting the flow of light through the package (300). A plurality of optical MEMS device (200) may be located within a single package (300) because the optical paths for the MEMS devices (200) can be substantially parallel to each other.

Abstract translation: 光学MEMS器件（200）和封装（300）包括光学通过路径，用于允许光从封装（300）的第一侧通过光学MEMS器件（200）所在的衬底（202） 并且穿过与第一侧相对的包装（300）的第二侧。 封装（300）可以包括用于允许光通过的第一和第二透光部分或孔（114,304）。 光学MEMS器件（200）可以是用于选择性地影响通过封装（300）的光的流动的快门。 多个光学MEMS器件（200）可以位于单个封装（300）内，因为MEMS器件（200）的光路可以基本上彼此平行。

公开(公告)号：WO0177001A3

公开(公告)日：2002-07-04

申请号：PCT/US0111430

申请日：2001-04-05

Applicant: SANDIA CORP ,  MILLER SAMUEL LEE ,  MCWHORTER PAUL JACKSON ,  RODGERS MURRAY STEVEN ,  SNIEGOWSKI JEFFRY L ,  BARNES STEPHEN M

Inventor： MILLER SAMUEL LEE ,  MCWHORTER PAUL JACKSON ,  RODGERS MURRAY STEVEN ,  SNIEGOWSKI JEFFRY L ,  BARNES STEPHEN M

IPC: B81B3/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G11B7/09 ,  H02N1/00

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058 ,  G02B6/122 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B2006/12104 ,  G11B7/0927 ,  H02N1/006 ,  H02N1/008

Abstract: A microelectromechanical (MEM) apparatus (10) is disclosed which has a platform (14) that can be elevated above a substrate (12) and tilted at an arbitrary angle using a plurality of flexible members (16) which support the platform (14) and control its movement. Each flexible member (16) is further controlled by one of more MEM actuators (18) which act to bend the flexible member. The MEM actuators (18) can be electrostatic comb actuators (34) or vertical zip actuators (80) or a combination thereof. The MEM apparatus (10) can include a mirror coating (24) to form a programmable mirror for redirecting or switching one or more light beams (200) for use in a projection display. The MEM apparatus (10) with the mirror coating (24) also has applications for switching light beams between optical fibers for use in a local area fiber optic network, or for use in fiber optic telecommunications or data communications systems.

Abstract translation: 公开了一种微机电（MEM）装置（10），其具有可以使用多个支撑平台（14）的柔性构件（16）在基板（12）上方升高并以任意角度倾斜的平台（14） 并控制其运动。 每个柔性构件（16）由更多的用于弯曲柔性构件的MEM致动器（18）进一步控制。 MEM致动器（18）可以是静电梳状致动器（34）或垂直拉链致动器（80）或其组合。 MEM装置（10）可以包括镜涂层（24），以形成用于重定向或切换用于投影显示器的一个或多个光束（200）的可编程镜子。 具有镜面涂层（24）的MEM装置（10）还具有用于在用于局域光纤网络的光纤之间切换光束或用于光纤电信或数据通信系统的应用。

公开(公告)号：JP5347963B2

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：JP2009529976

申请日：2008-08-20

Applicant: パナソニック株式会社

Inventor： 二郎 寺田 ,  晋輔 中園 ,  成男 古川

IPC: H02N2/00

CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G03B21/00 ,  H01L41/042 ,  H01L41/0953 ,  H01L41/0966 ,  H04N9/3129

Abstract: A first oscillating portion is provided with a first piezoelectric element having a first drive electrode. A second oscillating portion has a central axis different from that of the first oscillating portion and is provided with a second piezoelectric element having a second drive electrode. The first drive electrode and the second drive electrode are connected together.

公开(公告)号：JP5279902B2

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：JP2011516030

申请日：2010-05-26

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 高橋　　功

IPC: H02N11/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0118 ,  F03G7/005 ,  Y10S310/80

Abstract: A polymer actuator device includes an electrolyte layer, a pair of electrode layers that are provided on both surfaces of the electrolyte layer in a thickness direction of the electrolyte layer, a polymer actuator that is bent when a voltage is applied between the pair of electrode layers, and terminal parts that apply a voltage to the polymer actuator. The polymer actuator includes a deformable portion and a supported portion. A conductive porous member is interposed between a first electrode layer, which is positioned on the side of the supported portion of the polymer actuator corresponding to a negative electrode, and the terminal part.

公开(公告)号：JP2012212150A

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：JP2012125206

申请日：2012-05-31

Applicant: Pixtronix Inc ,  ピクストロニクス,インコーポレイテッド

Inventor： HAGOOD NESBITT W ,  STEYN JASPER LODEWYK

IPC: G02B26/02 ,  B81B7/02 ,  G09F9/00 ,  G09F9/37

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mechanically operable display which includes a bi-stable mechanism and which can be driven at low voltage for reduced power consumption.SOLUTION: This invention relates to MEMS-based display device. In particular, the display device may include an actuator having two mechanically compliant electrodes. In addition, a bi-stable shutter assembly included in the display device and means for supporting a shutter in the shutter assembly are disclosed.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种机械可操作的显示器，其包括双稳态机构，并且可以在低电压下驱动以降低功耗。 解决方案：本发明涉及基于MEMS的显示装置。 特别地，显示装置可以包括具有两个机械柔性电极的致动器。 此外，公开了一种包括在显示装置中的双稳态快门组件和用于支撑快门组件中的快门的装置。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP4815635B2

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：JP2006529279

申请日：2005-07-21

Applicant: 学校法人立命館

Inventor： 宏生 浮田

IPC: F03G7/00 ,  B81B5/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: F03G6/00 ,  B01F7/0025 ,  B01F13/0059 ,  B01F15/00435 ,  B01F15/00551 ,  B81B3/0029 ,  B81B2201/038 ,  F03G6/06 ,  F03G7/00 ,  Y02E10/46 ,  Y02P70/32