-
公开(公告)号：CN110534390B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201910435670.9
申请日：2019-05-23
Applicant: 日本电子株式会社
Inventor： 植松文徳
Abstract: 一种带电粒子束装置和机器学习方法，其中，图像转换部(28)包含选择器(30)和多个图像转换器(32‑1、…、32‑n)。各图像转换器由机械学习型的推定器构成，根据在第1观察条件下取得的图像，推定在第2观察条件下可能会取得的图像作为参考图像。当从显示于显示器(36)的多个参考图像之中选择了特定的参考图像时，与其对应的第2观察条件作为接下来的观察条件被设定在观察机构(10)中。
-
公开(公告)号：CN116990853A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310816079.4
申请日：2023-07-04
Applicant: 东方晶源微电子科技(上海)有限公司
IPC: G01T1/20 , H01J37/28 , G01N23/2251
Abstract: 本申请粒子探测设备技术领域，尤其是涉及粒子探测器、扫描电镜及半导体检测设备。该粒子探测器包括闪烁体、第一电极以及第二电极；第一电极贴合于闪烁体的表面并使闪烁体在厚度方向上的至少部分表面露出于第一电极；第二电极与第一电极在厚度方向上间隔设置且与第一电极以及闪烁体一起围成加速区，第二电极设有粒子过孔；第一电极的电势设置为大于第二电极的电势，以使经由粒子过孔进入加速区中的粒子进行加速。该粒子探测器在闪烁体的厚度方向一侧布置间隔设置的第一电极以及第二电极，形成悬浮于闪烁体一侧具有高压电势的加速区，该加速区以提高信号电子作用于闪烁体的入射能量，以使得闪烁体产生较强的光信号。
-
公开(公告)号：CN116646229B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310893955.3
申请日：2023-07-20
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙)
IPC: H01J37/244 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01L21/66
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子探测系统、探测方法及扫描电子显微镜；该带电粒子探测系统包括：沿入射电子束方向依次设置的第一探测器组件、第二探测器组件及物镜；其中，第一探测器组件用于接收入射电子束作用于待测样品上产生的第一信号电子；第二探测器组件用于接收入射电子束作用于待测样品上产生的第二信号电子，第二探测器组件设置有第一通孔，第一信号电子穿过第一通孔；物镜为电磁透镜，用于汇聚入射电子束以及第一信号电子、第二信号电子。基于上述方案，本发明简化了带电粒子探测系统的结构，设备的加工难度较低，降低了带电粒子探测系统的加工成本，降低了带电粒子探测系统在使用过程中的调试难度。
-
公开(公告)号：CN116936322A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202311143435.7
申请日：2020-03-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 山本琢磨
Abstract: 一种重叠偏移量算出系统及方法，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。重叠偏移量算出系统具备控制部，根据通过向试料照射带电粒子束而得到的图像算出图案间的重叠偏移量，基于与第一模板图像的匹配，根据包括位于试料的表面的第一图案的图像的第一图像，决定第一图案的第一位置，基于与第二模板图像的匹配，根据包括位于比试料的表面靠下层的第二图案的图像的第二图像，决定第二图案的第二位置，基于所决定的第一位置调整第一图像中的第一测定区的位置，基于所决定的第二位置调整第二图像中的第二测定区的位置，按照第一、第二测定区的位置调整结果，算出第一、第二图案间的重叠偏移量。
-
公开(公告)号：CN116868300A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202280014353.X
申请日：2022-01-21
Applicant: 应用材料以色列公司
Inventor： 耶胡达•祖尔
IPC: H01J37/28
Abstract: 一种利用评估系统对样品的感兴趣区域进行X射线光谱表面材料分析的方法，该评估系统包括扫描电子显微镜(SEM)柱和X射线检测器，该方法包括：识别预期在感兴趣区域内的元素；基于经识别的元素为由SEM柱产生的带电粒子束选择着陆能量；用设定为选定着陆能量的带电粒子束扫描感兴趣区域；检测带电粒子束扫描感兴趣区域时产生的X射线；以及基于检测到的X射线产生经扫描的感兴趣区域的二维影像。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116864359A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202311033092.9
申请日：2018-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/06
Abstract: 本文涉及一种用于带电粒子束检查的样本预充电方法、设备和计算机可读介质。设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；孔径；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于孔径处于上游。
-
公开(公告)号：CN112349570B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202011239638.2
申请日：2020-11-09
Applicant: 宁波工程学院
IPC: H01J37/02 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括机架，所述机架内设置有试样板，所述试样板的顶端安装有扫描发生器，所述扫描发生器的一端设置有隔板，所述机架的外侧设置有真空管，所述机架的顶端安装有连接座，所述连接座上设置有镜筒，所述镜筒内设置有电子枪，所述机架内设置有支架。本发明在机架的内部设置有护罩，且通过护罩与物镜光闸的连接，可实现样品室内部的试样板上的样品的检测，进一步的增加扫描过程中的精准度，方便检测过程中的精度，从而更好的进行解析物品，在机架内部设置有隔板，且通过隔板可实现机架内部部分空间的隔绝，针对于试样板上进行全面的抽空，方便检测过程中的精度，防止外物的干扰，影响精度的问题。
-
公开(公告)号：CN116798839A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202311078144.4
申请日：2023-08-25
Applicant: 国仪量子(合肥)技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种扫描电镜的送样装置以及扫描电镜，所述扫描电镜的送样装置，包括：装置主体，所述装置主体内形成有过度容腔，所述装置主体还设有与所述过度容腔连通的连接口和送样口，所述装置主体安装有用于对所述连接口选择性地封闭的遮挡板；抽气结构，所述抽气结构安装于所述装置主体且用于对所述过度容腔进行抽气；密封盖，所述密封盖可活动地安装于所述送样口处且用于选择性地封闭所述送样口；送样结构，所述送样结构包括送样部和样品托盘，所述送样部可活动地穿设于所述密封盖，所述送样部位于所述过度容腔内的一端与所述样品托盘相连。本发明实施例的扫描电镜的送样装置，易取放样品，且可实现快速送样和换样，使用效果更好。
-
公开(公告)号：CN116798838A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310273473.8
申请日：2023-03-20
Applicant: FEI 公司
Abstract: 本发明涉及一种样本处置和存储系统。该系统用于存储和处置被布置成在带电粒子显微镜中使用的样本，该样本可以是低温样本，诸如在低温透射电子显微镜中使用的低温电子显微镜样本。该系统包括用于存储多个样本的存储设备，和位于远离该存储设备的位置处的带电粒子设备(CPA)，诸如低温‑TEM。该系统进一步包括转移装置，该转移装置能够可释放地连接到该存储设备，并且也能够可释放地连接到该CPA。如本文所限定，该转移装置被布置成用于当连接到该存储设备时从该多个样本获取样本，并且被布置成用于当连接到该CPA时将该样本从该转移装置转移到该CPA。
-
公开(公告)号：CN116631831B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310893967.6
申请日：2023-07-20
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙)
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及磁电复合式扫描偏转聚焦系统、方法及扫描电子显微镜。该系统包括；聚焦组件包括第一物镜和第二物镜；偏转组件包括电磁偏转件和第一静电偏转件，电磁偏转件位于第二物镜的中心孔内，低于第一物镜的极靴口，且高于第二物镜的极靴口，第一静电偏转件位于第二物镜的极靴口，第一物镜、第二物镜、电磁偏转件和第一静电偏转件均沿入射电子束的主轴同轴设置；控制组件用于调控电磁偏转件的激励信号进行第一视场范围扫描偏转；或者调控第一静电偏转件的激励信号进行第二视场范围扫描偏转；第一视场范围对应的最大视场大于第二视场范围对应的最大视场。该系统能够兼容大视场扫描和高速高分辨力成像，适用于不同使用场景需求。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22188
records
(took 0.046 seconds)
