公开(公告)号：CN204067415U

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201420231586.8

申请日：2014-05-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 今井克宏 ,  岩井真 ,  坂井正宏 ,  吉野隆史

IPC: H01L33/32 ,  H01L33/00 ,  H01L21/02

Abstract: 本实用新型提供一种包括蓝宝石基板以及设置在所述蓝宝石基板上的氮化镓晶体层的复合晶片。复合晶片为4英寸或6英寸晶片，复合晶片为4英寸晶片时，在25℃下的翘曲为+20～+150μm，在1000℃下的翘曲为-80～+50μm；复合晶片为6英寸晶片时，在25℃下的翘曲为+20～+200μm，在1000℃下的翘曲为-100～+80μm。

公开(公告)号：CN203174223U

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201320072801.X

申请日：2013-02-08

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 岩井真 ,  今井克宏 ,  坂井正宏 ,  平尾崇行 ,  吉野隆史 ,  下平孝直

IPC: C30B29/40 ,  H01L33/02

Abstract: 一种复合基板（7），具有晶种基板（1）以及氮化镓膜（3），所述晶种基板（1）由通过荧光显微镜观察看到黄色发光效果的氮化镓构成，所述氮化镓膜（3）在所述晶种基板（1）上通过助熔剂法在含氮气氛下由熔液育成，没有看到黄色发光效果。所述复合基板（7）包括被设置于自氮化镓膜（3）的晶种基板（1）侧的界面起50μm以下的区域的分布有源自所述熔液的成分的夹杂物的夹杂物分布层（3a）和被设置于夹杂物分布层上的缺乏夹杂物的夹杂物缺乏层（3b）。