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公开(公告)号:KR102005351B1
公开(公告)日:2019-07-31
申请号:KR1020170167533
申请日:2017-12-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L25/065 , H01L23/28 , H01L23/485 , H01L27/146 , H01L25/075
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公开(公告)号:KR1020170109263A
公开(公告)日:2017-09-29
申请号:KR1020160033130
申请日:2016-03-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 평면방향이동이가능한하중부가장치를개시한다. 하중부가및 측정을하기위한하중부가장치에있어서, 바닥면에수직으로지지되는장치고정부와, 장치고정부의상하방향및 바닥면과평행한방향으로이동가능하도록장치고정부에마련되는하중발생부를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种能够在平面方向上移动的载荷施加装置。 以及载荷生成单元,其设置在所述装置固定单元上,以便能够在所述装置固定单元的竖直方向上和平行于所述装置固定单元的底表面的方向上移动 的。
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