체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법
    81.
    发明授权
    체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법 有权
    体声谐振器结构与制造方法

    公开(公告)号:KR101760029B1

    公开(公告)日:2017-07-31

    申请号:KR1020170020656

    申请日:2017-02-15

    Abstract: 체적음향공진기구조및 제조방법을제공한다. 체적음향공진기는하면의소정영역에비아홀(via)이형성된제1 기판, 상기제1 기판의상부에제1 공기공동이형성되고, 상기제1 공기공동상부에하부전극, 압전층, 상부전극의순서로적층된제1 적층공진부, 상기제1 기판의상부에제2 공기공동이형성되고, 상기제2 공기공동상부에상기하부전극, 상기압전층, 상기상부전극의순서로적층된제2 적층공진부및 상기제1 적층공진부와상기제2 적층공진부가상기하부전극또는상기상부전극을통하여연결되고, 상기제1 적층공진부와상기제2 적층공진부사이에서상기연결된하부전극또는상부전극의하면에제3 공기공동이형성된제1 전극부를포함한다.

    Abstract translation: 提供体积声学谐振器结构及其制造方法。 体积声波谐振器包括:第一基板,其上在底面的预定区域中形成通孔;第一空气腔,其形成在第一基板的上部;下电极;压电层; 在第一基板上形成第二气腔,在第二气腔上形成第二气腔,并且按照下电极,压电层, 并且,第一层叠谐振部和第二层叠谐振部通过下部电极或上部电极相互连接,第一层叠谐振部和第二层叠谐振部与下部电极或上部电极连接 以及其中形成有第三气腔的第一电极单元。

    체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법
    82.
    发明公开
    체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법 有权
    大声波声波谐振器结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170020835A

    公开(公告)日:2017-02-24

    申请号:KR1020170020656

    申请日:2017-02-15

    CPC classification number: H03H9/205 H03H9/15 H03H9/25

    Abstract: 체적음향공진기구조및 제조방법을제공한다. 체적음향공진기는하면의소정영역에비아홀(via)이형성된제1 기판, 상기제1 기판의상부에제1 공기공동이형성되고, 상기제1 공기공동상부에하부전극, 압전층, 상부전극의순서로적층된제1 적층공진부, 상기제1 기판의상부에제2 공기공동이형성되고, 상기제2 공기공동상부에상기하부전극, 상기압전층, 상기상부전극의순서로적층된제2 적층공진부및 상기제1 적층공진부와상기제2 적층공진부가상기하부전극또는상기상부전극을통하여연결되고, 상기제1 적층공진부와상기제2 적층공진부사이에서상기연결된하부전극또는상부전극의하면에제3 공기공동이형성된제1 전극부를포함한다.

    체적 음향 공진기 센서
    83.
    发明授权
    체적 음향 공진기 센서 有权
    大容量声波谐振器传感器

    公开(公告)号:KR101696665B1

    公开(公告)日:2017-01-16

    申请号:KR1020100090835

    申请日:2010-09-16

    Abstract: 체적음향공진기를이용한센서를제공한다. 체적음향공진기센서는센싱대상물질과반응하여적어도하나의변화된공진주파수를측정한다. 또한, 체적음향공진기센서는외부환경과반응하지않는상태에서기준공진주파수를측정한다. 체적음향공진기센서는상기측정된적어도하나의변화된공진주파수및 상기측정된기준공진주파수에기초하여상기센싱대상물질을센싱한다.

    Abstract translation: 提供了体声波谐振器(BAWR)传感器。 BAWR传感器包括信号BAWR,其测量由于与目标材料的反应而被修改的共振频率,测量参考共振频率而不与外部环境反应的参考BAWR,以及感测目标材料的感测单元, 基于修正的共振频率和参考共振频率。

    스퓨리어스 공진을 감소시키는 공진기 및 공진기 제작 방법
    87.
    发明公开
    스퓨리어스 공진을 감소시키는 공진기 및 공진기 제작 방법 审中-实审
    谐振器和谐振器制造方法,用于降低SPURIOUS共振

    公开(公告)号:KR1020140094283A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:KR1020130006898

    申请日:2013-01-22

    CPC classification number: H01L41/314 H03H9/132 H03H9/174 H03H9/175

    Abstract: Disclosed are a resonator and a method for decreasing spurious resonance. The resonator includes a first electrode which is formed in the upper part of a substrate; a piezoelectric layer which is formed in the upper part of the first electrode and changes electric energy inputted from the first electrode into elastic wave; a second electrode which is formed in the upper part of the piezoelectric layer and a control layer which includes a frame which is atypically formed in the upper part of the second electrode and controls the elastic wave.

    Abstract translation: 公开了一种用于减少寄生共振的谐振器和方法。 谐振器包括形成在衬底的上部的第一电极; 压电层,其形成在第一电极的上部并将从第一电极输入的电能变为弹性波; 形成在压电层的上部的第二电极和控制层,该控制层包括非典型地形成在第二电极的上部并控制弹性波的框架。

    박막 벌크 음향 필터 및 그 제조 방법
    89.
    发明公开
    박막 벌크 음향 필터 및 그 제조 방법 审中-实审
    大容量声波滤波器及其方法

    公开(公告)号:KR1020140016533A

    公开(公告)日:2014-02-10

    申请号:KR1020120083154

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: H03H9/54 H03H3/02 H03H9/15 H03H9/205 H03H9/564

    Abstract: Disclosed are a bulk acoustic wave filter and a method thereof. The bulk acoustic wave filter includes at least one serial resonator having a first resonance frequency and a first antiresonance frequency; at least one parallel resonator having a second resonance frequency and a second antiresonance frequency. A gap between the first resonance frequency and the first antiresonance frequency may be different from a gap between the second resonance frequency and the second antiresonance frequency.

    Abstract translation: 公开了一种体声波滤波器及其方法。 体声波滤波器包括至少一个具有第一共振频率和第一反共振频率的串联谐振器; 至少一个具有第二共振频率和第二反共振频率的并联谐振器。 第一谐振频率和第一反谐振频率之间的间隙可以不同于第二谐振频率和第二反谐振频率之间的间隙。

    튜너블 RF 공진기
    90.
    发明授权
    튜너블 RF 공진기 有权
    可调谐RF谐振器

    公开(公告)号:KR101331494B1

    公开(公告)日:2013-11-21

    申请号:KR1020070117415

    申请日:2007-11-16

    Abstract: RF 튜너블 공진기가 개시된다. 본 RF 튜너블 공진기는, 캐비티를 구비한 공동형 공진부 및 외부 신호에 따라 캐비티의 크기를 조정하여, 공동형 공진부의 공진 주파수를 튜닝할 수 있는 구동부를 포함한다. 이에 따라, 공진 주파수를 가변할 수 있으며, 공진 주파수의 가변 범위 또한 향상된다.
    캐비티(cavity), 구동부, 튜너블 RF 공진기

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