Abstract:
박막 벌크 음향 공진기에 관한 것으로서, 박막 벌크 음향 공진기는 제1 전극, 제2 전극 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하여, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 인가되는 신호에 따라 음향파(acoustic wave)를 생성하는 압전층을 포함하는 음향 공진부, 상기 음향 공진부의 하부에 위치하고, 기판의 상부에 위치하여, 상기 음향파를 반사시키는 에어 갭(Air Gap) 및 상기 에어 갭의 양면에 위치하며, 상기 에어 갭과 동일한 갭을 가지고, 상기 에어 갭의 생성에 사용되는 희생층과 동일한 공정에서 형성되는 앵커(Anchor)를 포함한다.
Abstract:
직렬 또는 병렬로 서로 연결되는 둘 이상의 BAWR(Bulk Acoustic Wave Resonator)를 포함하고, 상기 각각의 BAWR에 하나 이상의 LC 소자를 직렬 또는 병렬로 연결하여 BAWR 세트를 구성하는 BAWR을 이용한 필터를 제공한다.
Abstract:
온도변화에따른주파수변화를감지하는온도감지장치및 방법, 그리고, 적외선감지장치및 방법이제공된다. 온도감지장치는, 전기적신호를발생하는전극막, 전기적신호를탄성파로변환하는압전층및 기판의상부에형성된구조물들중 하나이상에특정불순물을도핑하여형성되는온도민감층을포함할수 있다. 그리고, 적외선감지장치는, 적외선반사층및 적외선흡수층을이용하여적외선흡수층으로입사되는적외선을열로변환할수 있다. 그러면, 온도민감층은변환된열의온도변화에기초하여공진주파수의변화를감지하고, 공진주파수의변화를통해적외선의변화를감지할수 있다.
Abstract:
Disclosed are a nanoresonance apparatus and a method for same, including at least one protruding portion on a gate electrode or a nanowire. The nanoresonance apparatus includes at least one gate electrode configured to generate a magnetic field; at least one protruding portion connecting a source electrode to a drain electrode and formed in a direction of the gate electrode; and a nanowire configured to resonate according to the magnetic field.
Abstract:
게이트 전극 또는 나노 와이어에 적어도 하나의 돌출 영역을 포함하는 나노 공진 장치 및 방법이 개시된다. 나노 공진 장치는 자기장을 발생시키는 적어도 하나의 게이트 전극; 및 소스 전극과 드레인 전극을 연결하며 상기 게이트 전극이 위치한 방향으로 형성된 적어도 하나의 돌출 영역을 포함하고, 상기 자기장에 따라 공진하는 나노 와이어를 포함할 수 있다.
Abstract:
전도성 물질을 이용하여 전기적 손실을 처리하는 공진 장치 및 그 제조 방법 이 제공된다. 공진 장치는, 기판의 상부로부터 소정 거리 이격되어 형성된 하부 전극막, 하부 전극막의 상부에 형성되어 전기적 신호를 탄성파(Acoustic Wave)로 변환하는 압전층, 압전층의 상부에 형성되는 상부 전극막, 및 상부 전극막 및 하부 전극막 중 적어도 하나의 전극막에 전도성 물질을 증착하여 형성되는 전도층을 포함할 수 있다.
Abstract:
바이오물질의알에프특성측정방법및 장치가개시된다. 바이오물질의알에프특성측정장치는, 바이오시료(biological sample)의유동경로를제공하는미세채널과, 상기유동경로상에형성되어상기바이오시료가접촉되는감지부를포함할수 있다. 제1 신호전극은상기감지부의제1 영역에 RF 신호를전달하고, 제2 신호전극은상기감지부의제2 영역에상기 RF 신호를전달한다.