박막 벌크 음향 공진기 및 박막 벌크 음향 공진기의 제조방법
    1.
    发明申请
    박막 벌크 음향 공진기 및 박막 벌크 음향 공진기의 제조방법 审中-公开
    薄膜泡沫声谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2013062203A1

    公开(公告)日:2013-05-02

    申请号:PCT/KR2012/004466

    申请日:2012-06-07

    Abstract: 박막 벌크 음향 공진기에 관한 것으로서, 박막 벌크 음향 공진기는 제1 전극, 제2 전극 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하여, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 인가되는 신호에 따라 음향파(acoustic wave)를 생성하는 압전층을 포함하는 음향 공진부, 상기 음향 공진부의 하부에 위치하고, 기판의 상부에 위치하여, 상기 음향파를 반사시키는 에어 갭(Air Gap) 및 상기 에어 갭의 양면에 위치하며, 상기 에어 갭과 동일한 갭을 가지고, 상기 에어 갭의 생성에 사용되는 희생층과 동일한 공정에서 형성되는 앵커(Anchor)를 포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种薄膜体声波谐振器。 薄膜体声波谐振器包括:声谐振器,包括第一电极,第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层,以根据施加到第一和第二电极的信号产生声波; 气隙,设置在声谐振器下方和衬底上方以反射声波; 以及锚定件,其设置在气隙的两个表面的每一个上,并且具有与气隙相同的间隙,并且通过与用于产生气隙的牺牲层的形成过程相同的过程形成。

    온도 감지 장치 및 방법
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101892581B1

    公开(公告)日:2018-08-29

    申请号:KR1020110106978

    申请日:2011-10-19

    CPC classification number: G01J5/44

    Abstract: 온도변화에따른주파수변화를감지하는온도감지장치및 방법, 그리고, 적외선감지장치및 방법이제공된다. 온도감지장치는, 전기적신호를발생하는전극막, 전기적신호를탄성파로변환하는압전층및 기판의상부에형성된구조물들중 하나이상에특정불순물을도핑하여형성되는온도민감층을포함할수 있다. 그리고, 적외선감지장치는, 적외선반사층및 적외선흡수층을이용하여적외선흡수층으로입사되는적외선을열로변환할수 있다. 그러면, 온도민감층은변환된열의온도변화에기초하여공진주파수의변화를감지하고, 공진주파수의변화를통해적외선의변화를감지할수 있다.

Patent Agency Ranking