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公开(公告)号：KR1020070107458A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：KR1020060039997
申请日：2006-05-03
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01L1/20
Abstract: A tactile sensor for multi-axis sensing and its manufacturing method are provided to improve sensitivity thereof by being made of an elastic body of which deformation and force of restitution are superior and by equipping cavity in lower surface. A tactile sensor for multi-axis sensing(300) includes a first piezoresister electrode(330) arranged in the horizontal axis direction in the upper surface of a substrate(310) having a cavity, and a dielectric layer for insulating electrically a first piezoresistant electrode and a second piezoresistant electrode in the upper surface of the substrate. The second piezoresistant electrode(340) is arranged in the vertical axis direction to form an orthogonal direction to the first piezoresistant electrode. The resistance value of substance changes when the first piezoresistant electrode and the second piezoresistant electrode are deformed by extraneous force. And protrusion units(350a,350b,350c) are formed at four adjacent cross areas of the first piezoresistant electrode and the second piezoresistant electrode and perform function sensing multi-axis.
Abstract translation: 提供一种用于多轴感测的触觉传感器及其制造方法，以通过由弹性体制成的灵敏度，弹性体的变形和恢复力较强，并且通过在下表面设置空腔。 一种用于多轴感测（300）的触觉传感器包括在具有空腔的基板（310）的上表面中沿横轴方向布置的第一压电电极（330），以及用于将第一压电电极 以及在所述基板的上表面中的第二压阻电极。 第二压阻电极（340）沿垂直轴方向排列以形成与第一压电电极正交的方向。 当第一压阻电极和第二压电电极通过外力变形时，物质的电阻值变化。 并且在第一压电电极和第二压电电极的四个相邻十字区域处形成突起单元（350a，350b，350c），并执行多轴功能检测。
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公开(公告)号：KR1020070067527A
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：KR1020050128875
申请日：2005-12-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31
Abstract: A micro spectrometer for detecting gas and a method for manufacturing the same are provided to improve the light absorption by increasing the movement distance of the light in a same size. A micro spectrometer includes a lower substrate(100), a light source, a light detector, and an upper substrate(200). A recess bent more than once is formed at an upper portion of the lower substrate and both ends of the recess are inclined. The light source illuminates light to an inclined end of the lower substrate. The light detector receives the light reflected at the other inclined end of the lower substrate. A pair of separated through-holes is formed in the upper substrate. The upper substrate is bonded to an upper portion of the lower substrate so that the through-holes can be communicated with the recess of the lower substrate.
Abstract translation: 提供用于检测气体的微光谱仪及其制造方法，以通过增加相同尺寸的光的移动距离来改善光吸收。 微型光谱仪包括下基板（100），光源，光检测器和上基板（200）。 在下基板的上部形成有多次弯曲的凹部，凹部的两端倾斜。 光源将光照射到下基板的倾斜端。 光检测器接收在下基板的另一倾斜端处反射的光。 在上基板上形成一对分开的通孔。 上基板结合到下基板的上部，使得通孔能够与下基板的凹部连通。
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公开(公告)号：KR100659043B1
公开(公告)日：2006-12-19
申请号：KR1020050026857
申请日：2005-03-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입하여 마이크로 그리퍼에 발생하는 스틱션을 해결할 수 있는 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 그리퍼는 정전기력을 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼에 있어서, 에어가 입력되는 에어 흡입구; 및 상기 에어 흡입구에 입력되는 에어를 전도성의 상기 마이크로 그리퍼의 조에 전달하는 에어 플로우 채널부를 더 포함하여 구성된 마이크로 그리퍼에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법은 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입함으로써, 그리퍼에 대상물체가 붙어 있는 스틱션 문제를 해결하고, 미소 부품이나 바이오 셀 등을 쉽게 조립, 이동, 고정, 조합할 수 있는 효과가 있다.
마이크로 그리퍼, 조, 에어 블로우, 에어 플로우 채널부-
公开(公告)号：KR1020050120310A
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：KR1020040045619
申请日：2004-06-18
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 인장 시편 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 기판과; 상기 기판을 관통하여 형성되고, 상호 일정거리 이격되어 있는 제 1과 2 관통홀과;상기 제 1 관통홀과 2 관통홀들을 연결하는 직선상에 위치되고, 상기 제 1 및 2 관통홀과 이격되며, 상기 기판이 관통되어 형성된 제 3 관통홀과; 상기 제 1 관통홀에서 제 2 관통홀까지 연결되는 직선상에 위치되고, 상기 제 3 관통홀의 내측 일측벽에서 타측벽까지 연장되어 있으며, 하부로부터 부상되는 브릿지와; 상기 브릿지 상부에 일정간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 마커(Marker)들로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 소자에 적용되는 막의 인장시편을 제작함으로써, 소자를 제조하지 않고도 막의 기계적인 특성을 측정할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020050065858A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030096752
申请日：2003-12-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: 본 발명은 광 스플리터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 광 스플리터는 입력 광섬유가 고정된 입력단과, 상기 입력단으로부터 일정 거리만큼 이격되어 있으며 다수의 출력 광섬유들이 고정된 출력단이 일체로 구비되어 있는 플랫폼과; 상기 입력 광섬유와 정렬된 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있으며, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에 장착된 PLC 기판으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 입력 및 출력 광섬유를 고정시킬 수 있는 플랫폼을 형성하고, 이 플랫폼에 광도파로가 형성된 PLC(Planar Lightwave Circuit) 기판과 입력 및 출력 광섬유를 정렬 및 고정시킴으로써, 종래 기술과 같은 고가의 6축 광학 정렬 스테이지에 의한 정렬을 수행하지 않아도 되어, 정렬 시간을 단축시킬 수 있으며, 평면상에 밀림도 발생하지 않는 효과가 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050052706A
公开(公告)日：2005-06-07
申请号：KR1020030086239
申请日：2003-12-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01T1/16
Abstract: 본 발명은 인체영상센서의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 이미지 센서에 정렬하는 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 격벽구조물과 이미지 센서를 사용하는 인체영상센서의 제작 방법에 있어서, 소정 크기와 형상의 다수의 구멍이 형성된 격벽구조물에 정렬핀의 위치를 제작하는 단계; 상기 격벽구조물의 구멍에 변환물질을 채우는 단계 및 상기 격벽구조물과 이미지 센서를 정렬핀을 이용하여 정렬하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 정렬함으로써, 별도의 복잡한 광학렌즈나 장치없이도 제작할 수 있기에 공정이 간단하다는 장점이 있고, 별도의 시설이 필요없기 때문에 경비 절감에 효과적이다.-
公开(公告)号：KR1020050052704A
公开(公告)日：2005-06-07
申请号：KR1020030086236
申请日：2003-12-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01T1/16
Abstract: 본 발명은 인체영상센서용 격벽구조물 및 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 격벽구조물을 다층으로 만들어 변환된 빛의 경로를 X-선의 진행방향으로 진행하게 하는 인체영상센서 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 인체영상센서용 격벽구조물은 빛을 감지하는 이미지 센서의 상부에 위치하며 소정 크기와 소정 간격의 변환물질이 채워진 구멍들이 형성된 다층의 격벽구조물로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 인체영상센서용 격벽구조물 및 인체영상센서의 제조 방법은 격벽구조물의 두께를 다양하게 제작하여 변환물질을 채워 넣어 제품 양산시 불량이 나올 확률도 줄어드는 장점이 있고, 격벽이 두꺼울수록 고진공 상태에서 변환물질을 채워넣어야 하는데 이러한 고가의 장비도 필요 없게 되기 때문에 시설비가 절감되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100425770B1
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：KR1020020022333
申请日：2002-04-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B26/00
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring a rotation angle of a micro reflector is provided, which rotates the micro reflector of several micro meter at an initial location accurately and simply. CONSTITUTION: A light source(360) generates a light. A collimator lens(370) converts the light of the light source into a parallel light. A beam splitter(340) splits the light passing through the collimator lens into two. A micro reflector(310) reflects one light incident by being split by the beam splitter. An actuator(320) generates rotation displacement at the micro reflector. A 3-axis driving table(300) moves the micro reflector to X-axis, Y-axis and Z-axis. An object lens(330) is comprised between the beam splitter and the micro reflector, and makes one light split in the beam splitter be incident on the micro reflector and makes the reflected light pass through the beam splitter. And an optical sensor array(350) detects the light and converts it into an electrical signal.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量微反射器的旋转角度的装置，其准确且简单地在初始位置旋转几微米的微反射器。 构成：光源（360）产生光。 准直透镜（370）将光源的光转换为平行光。 分束器（340）将通过准直透镜的光分成两束。 微反射器（310）反射通过由分束器分离而入射的一个光。 致动器（320）在微反射器处产生旋转位移。 三轴驱动台（300）将微反射镜移动到X轴，Y轴和Z轴。 物镜（330）包括在分束器和微反射器之间，并且使分束器中的一个光入射在微反射器上并使反射光穿过分束器。 并且光学传感器阵列（350）检测光并将其转换成电信号。
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公开(公告)号：KR1020040024153A
公开(公告)日：2004-03-20
申请号：KR1020020055678
申请日：2002-09-13
Applicant: 전자부품연구원 , 유일광통신 주식회사
IPC: G02B6/32
Abstract: PURPOSE: An optical fiber alignment apparatus and its fabrication method are provided to minimize light loss and to improve reliability as making the radius of curvature of micro lenses equal. CONSTITUTION: According to the optical fiber alignment apparatus, a silicon substrate(100) has two surfaces. A plurality of micro lenses(112) are formed on one surface of the silicon substrate. A plurality of optical fiber insertion holes(150) are formed on the rear surface of the silicon substrate by being separated each other. And a plurality of optical fibers(160) are inserted into the plurality of optical fiber insertion holes respectively, and are aligned with the micro lenses optically.
Abstract translation: 目的：提供一种光纤对准装置及其制造方法，以使光损失最小化并提高可视性，使微透镜的曲率半径相等。 构成：根据光纤取向装置，硅基板（100）具有两个面。 在硅衬底的一个表面上形成多个微透镜（112）。 多个光纤插入孔（150）通过彼此分离形成在硅衬底的后表面上。 并且多个光纤（160）分别插入到多个光纤插入孔中，并且与光学对准微型透镜。
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公开(公告)号：KR1020020082527A
公开(公告)日：2002-10-31
申请号：KR1020010021944
申请日：2001-04-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/30
Abstract: PURPOSE: A method for removing a sacrificial layer of a functional micro device is provided to easily manufacture a micro device having a levitation-shaped functional film by effectively removing the sacrificial layer of a silicon. CONSTITUTION: A functional film is formed on a silicon wafer(20). A protection film for protecting the functional film is formed on the functional film. The silicon wafer(20) is exposed by selectively etching the functional film. A levitation-shaped functional film is then formed by etching the exposed silicon wafer(20) using XeF2 gas. Preferably, the levitation-shaped functional film is used as a micro piezo-electric cantilever comprising a silicon oxide(21), a lower electrode(22), a piezo-electric film(23) and an upper electrode(24).
Abstract translation: 目的：提供一种去除功能性微器件的牺牲层的方法，通过有效地去除硅的牺牲层来容易地制造具有悬浮形功能膜的微器件。 构成：在硅晶片（20）上形成功能膜。 在功能膜上形成用于保护功能膜的保护膜。 通过选择性地蚀刻功能膜来暴露硅晶片（20）。 然后通过使用XeF2气体蚀刻暴露的硅晶片（20）来形成悬浮形功能膜。 优选地，悬浮形功能膜用作包括氧化硅（21），下电极（22），压电薄膜（23）和上电极（24）的微压电悬臂。
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