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公开(公告)号：KR1020130024646A
公开(公告)日：2013-03-08
申请号：KR1020110088210
申请日：2011-08-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/403 , H01L21/336 , B82B1/00 , B82Y35/00
CPC classification number: H01L29/7613 , B82Y10/00 , G01N27/4146 , H01L27/0629 , H01L29/0673
Abstract: PURPOSE: A silicon nanowire element is provided to maintain the element on a substrate, where the element is generated, without transferring the element to other substrates after manufacturing, thereby preventing a nanowire from being cut, damage to the nanowire, and a short circuit caused by a transferring process. CONSTITUTION: A silicon nanowire element comprises a first conductive silicon substrate(110) and a second conductive nanowire(120). The second conductive nanowire is formed to be spaced from the first conductive silicon substrate, and both ends of the second conductive nanowire are connected to the first conductive silicon substrate.
Abstract translation: 目的：提供硅纳米线元件，以将元件保持在生成元件的基板上，而不会在制造后将元件转移到其他基板，从而防止纳米线被切割，损坏纳米线和导致短路 通过转移过程。 构成：硅纳米线元件包括第一导电硅衬底（110）和第二导电纳米线（120）。 第二导电纳米线形成为与第一导电硅衬底间隔开，并且第二导电纳米线的两端连接到第一导电硅衬底。
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公开(公告)号：KR1020130005849A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：KR1020110067492
申请日：2011-07-07
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A portable diagnostic apparatus by electrical parameter analysis is provided to accurately detect diseases or to measure protein concentration. CONSTITUTION: A disease diagnostic apparatus comprises: an NC membrane structure(100), an analyzer(200), and a power supply device(300). The NC membrane structure has a sample injection area, a labeling-nanoparticle injection area, a base area(130), a test area-1(140), a test area-2(150), a reference area(160), and a sample absorbing area. Proteins captured in the base area, reference area, and test area are labeled by a LNP(labeling nanoparticles) on the labeling-nanoparticle injection area. [Reference numerals] (200) Analyzer
Abstract translation: 目的：通过电参数分析提供便携式诊断仪，以准确检测疾病或测量蛋白质浓度。 构成：疾病诊断装置包括：NC膜结构（100），分析器（200）和电源装置（300）。 NC膜结构具有样品注射区域，标记 - 纳米颗粒注入区域，基底区域（130），测试区域-1（140），测试区域2（150），参考区域（160）和 样品吸收区域。 在标记 - 纳米颗粒注射区域上用LNP（标记纳米颗粒）标记在基底区域，参考区域和测试区域中捕获的蛋白质。 （附图标记）（200）分析仪
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公开(公告)号：KR101145665B1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020090129482
申请日：2009-12-23
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/0042 , H04R19/016
Abstract: 본 발명은 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1 채널 마이크로폰 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 멤브레인 막 상에 형성되고, 상기 전극층 및 센싱부에 대응되는 부분은 사진식각공정을 통해 제거된 플렉서블 기판; 및 상기 중앙 센싱부의 멤브레인 막이 드러날 때까지 마모된 제 1 기판 하부에 형성되고, 상기 센싱부에 진공 또는 기준압력을 위한 캐비티 형성을 위해 부착된 캡을 포함하는 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1채널 마이크로폰의 제조방법에 관한 것이다.
압력센서, 멤브레인, 5.1채널, 마이크로폰-
公开(公告)号：KR101078187B1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020090016104
申请日：2009-02-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , H01L21/311 , G01N27/02
Abstract: 본발명에따른마이크로가스센서는기판; 상기기판상에형성되는제 1 절연층및 제 2 절연층; 상기기판및 상기제1 절연층이식각되어상부캐비티가형성된후 상기상부캐비티및 식각되지않은제1 절연층의상부에형성되는제 3 절연층; 상기제3 절연층상의일부에형성되는마이크로히터; 상기마이크로히터와전기적으로연결되어상기제 3 절연층상의일부에형성되는전원전극; 상기마이크로히터및 상기전원전극을감싸고, 상기전원전극의상부가노출되도록형성되는제 4 절연층; 상기제 4 절연층상에형성되는감지전극; 및상기감지전극상에도포되는감지물질을포함하고, 상기기판의배면과상기제 2 절연층에는상기제 3 절연층의하부일부분이외부에노출되도록식각되어하부캐비티가형성되는것을구성적특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020110072513A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020090129482
申请日：2009-12-23
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/0042 , H04R19/016
Abstract: PURPOSE: A pressure sensor, using flexible printed circuit board, and 5.1 channel microphone manufacturing method using the same are provided to miniaturize a product by simplifying an assembly process. CONSTITUTION: A pressure sensor, using flexible printed circuit board, comprises a first substrate, an electrode layer(101), a membrane film(102) and a flexible printed circuit board(103). A sensing part silicon nano wire(100) is formed in the central part of the first substrate. A silicon body is worn away until the membrane film of the sensing part is revealed. The electrode layer is formed on the first substrate which is divided into two parts based on the sensing part. The membrane film is formed in the first substrate and is coated on the first substrate as the structure of exposing the electrode layer. The flexible printed circuit board comprises a cap attached to the sensing part in order to form a cavity on the sensing part for vacuum or base pressure.
Abstract translation: 目的：提供使用柔性印刷电路板的压力传感器和使用其的5.1声道麦克风制造方法，以通过简化组装过程来使产品小型化。 构成：使用柔性印刷电路板的压力传感器包括第一基板，电极层（101），膜膜（102）和柔性印刷电路板（103）。 感测部分硅纳米线（100）形成在第一基板的中心部分。 硅体被磨损直到感测部件的膜膜被显露出来。 电极层形成在基于感测部分分成两部分的第一基板上。 膜膜形成在第一基板中，并且作为暴露电极层的结构涂覆在第一基板上。 柔性印刷电路板包括附接到感测部分的帽，以便在感测部分上形成真空或基底压力的空腔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110071984A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020090128734
申请日：2009-12-22
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/553 , G01N27/72 , B82B3/00
Abstract: PURPOSE: A diseases diagnosis apparatus comprising a nano magnetic particles and nano sensors is provided to enable repetitive target detection and to improve test reliability. CONSTITUTION: A diseases diagnosis apparatus comprises: a magnetic nano particles in which a target molecule-specific receptor is fixed; a magnetic field supply unit which is able to control the magnetic nano particles; and a nano sensor which senses specific molecules which is attached to the receptor of the magnetic nano particles. The nano sensor comprises a nano structure of nano wire, nano tube, nano rod, or nano gap. The receptor is enzyme substrate, ligand, antibody, amino acid, peptide, protein, nucleic acid, lipid, or carbohydrate.
Abstract translation: 目的：提供包括纳米磁性颗粒和纳米传感器的疾病诊断装置，以实现重复的目标检测并提高测试的可靠性。 构成：疾病诊断装置包括：固定有靶分子特异性受体的磁性纳米粒子; 能够控制磁性纳米颗粒的磁场供给单元; 以及感测与磁性纳米颗粒的受体连接的特定分子的纳米传感器。 纳米传感器包括纳米线，纳米管，纳米棒或纳米间隙的纳米结构。 受体是酶底物，配体，抗体，氨基酸，肽，蛋白质，核酸，脂质或碳水化合物。
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公开(公告)号：KR101043947B1
公开(公告)日：2011-06-24
申请号：KR1020080050765
申请日：2008-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 나노와이어 소자를 다른 기판에 트랜스퍼시키는 방법에 있어서, 나노와이어가 제작된 제1 기판을 준비하는 단계; 제 2기판에 돌출부가 형성되도록 단차를 형성하는 단계; 상기 단차 형성된 제2 기판에 점착제를 균일하게 코팅하는 단계; 상기 나노와이어를 상기 제2 기판에 트랜스퍼시키는 단계; 상기 나노와이어를 상기 제2 기판에서 분리하는 단계를 포함하는 나노와이어 전사방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 단차 형성된 기판의 돌출부에만 전사시킬 수 있으므로 선명한 나노와이어를 집적도를 높여 웨이퍼 기판으로 대량 생산이 가능한 효과를 가진다.
나노와이어, 트랜스퍼, 열산화막 공정, PR(Photo-Resist), 식각-
公开(公告)号：KR101040083B1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090068292
申请日：2009-07-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414 , G01N33/48 , B82B3/00 , G01N27/00
Abstract: 비표지 방식의 고감도 나노와이어 트랜지스터 센서, 제조방법 및 이를 이용한 생체분자 검출장치가 제안된다. 제안된 나노와이어 트랜지스터 센서는 나노와이어 트랜지스터 센서는 게이트, 게이트상에 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인, 게이트와 소스 및 드레인 각각 사이에 형성되고, 소스 및 드레인이 이격된 영역에 채널영역이 형성된 절연층 및 소스와 드레인을 연결하되 게이트와 대향하는 면에 생체물질 특이성을 갖는 리셉터를 포함하는 나노와이어를 포함한다. 또한, 제안된 나노와이어 트랜지스터 센서 제조방법은 게이트를 형성하는 단계; 게이트상에 절연층을 형성하는 단계; 절연층상에, 게이트 및 절연층의 적층방향과 수직하도록 나노와이어를 형성하는 단계; 절연층 상에 서로 이격된 소스 및 드레인을 각각 형성하되, 소스 및 드레인은 나노와이어로 서로 연결되도록 형성하는 단계; 절연층을 식각하여 채널영역을 형성하는 단계; 및 나노와이어를 생체물질 특이성을 갖는 리셉터를 포함하도록 표면처리하는 단계;를 포함한다.
나노와이어, 트랜지스터 센서, 스페이서-
公开(公告)号：KR100942439B1
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：KR1020070141055
申请日：2007-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: 본 발명은 가스센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 가스 감지물질 하부에 위치한 폴리실리콘(poly-silicon) 멤브레인의 특정 영역에 불순물을 주입하여 형성된 마이크로 히터를 폴리실리콘 멤브레인 내부에 구비함으로써, 열적인 구조 안정성, 가스 감지물질 형성 용이성이 우수한, 마이크로 가스센서 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 가스센서는 제1절연막이 형성된 기판상에 증착된 폴리실리콘 내부에 불순물 주입을 하여 형성된 마이크로 히터; 상기 마이크로 히터의 열손실을 감소시키기 위한 폴리실리콘 멤브레인; 상기 마이크로 히터의 양단에 형성되어 전원공급과 온도를 측정하기 위한 전원전극과 온도측정 전극; 상기 마이크로 히터상에 형성된 제2절연막; 상기 제2절연막상에 형성되어 가스를 감지하기 위한 감지물질; 및 상기 감지물질의 물성변화를 측정하기 위한 감지전극을 포함함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 마이크로 가스센서의 제조방법은 제1절연막이 형성된 기판상에 폴리실리콘을 형성하는 단계; 상기 폴리실리콘에 불순물 주입을 하여 마이크로 히터를 형성하는 단계; 상기 마이크로 히터 양단에 전극을 형성하는 단계; 상기 마이크로 히터의 상부에 제2절연막을 형성하는 단계; 상기 제2절연막 상부에 감지물질을 형성하는 단계; 및 상기 감지물질 상에 감지 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
가스, 센서, 폴리실리콘, 멤브레인, 도핑-
公开(公告)号：KR1020090072830A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020070141055
申请日：2007-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: A micro-gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to have the thermal structure stability by installing a micro heater inside a poly-silicon membrane. A micro-gas sensor comprises: a micro heater manufactured by injecting impurity inside poly-silicon evaporated on a substrate(210) in which a first insulating layer(220) is formed; a poly-silicon membrane(242) in order to reduce the heat loss of the micro heater; a power electrode and a temperature measurement electrode formed at both ends of the micro heater in order to measure the electric power supply and temperature; a second insulating layer(260) formed on the micro heater; a sensing member(270) formed on the second insulating layer in order to sense the gas; and a sensing electrode(280) measuring the physical property change of the sensing member.
Abstract translation: 提供一种微气体传感器及其制造方法，通过在多硅膜内部设置微加热器来具有热结构的稳定性。 微气体传感器包括：通过在其中形成有第一绝缘层（220）的衬底（210）上注入多晶硅内的杂质而制造的微加热器; 多晶硅膜（242），以减少微加热器的热损失; 在微加热器的两端形成电力电极和温度测量电极，以测量电力供应和温度; 形成在所述微加热器上的第二绝缘层（260） 感测构件（270），形成在所述第二绝缘层上以感测所述气体; 以及测量感测部件的物理特性变化的检测电极（280）。
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