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公开(公告)号：KR1020110060236A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：KR1020090116765
申请日：2009-11-30
Applicant: 한국전기연구원 , 세종대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A cathode structure of an electron emission device is provided to simplify a manufacturing process by performing a laser process or a mechanical process for forming a substrate having a concavo-convex part. CONSTITUTION: A cathode(200) emits electronics. An anode(100) is arranged on an upper part of the cathode. The cathode part includes a substrate(210) having a concavo-convex part formed on a surface thereof. The cathode part includes an emitter(230) which is formed on the upper surface of the substrate. The concavo-convex part includes a protrusive part and a concave part.
Abstract translation: 目的：提供一种电子发射器件的阴极结构，以通过执行用于形成具有凹凸部分的衬底的激光工艺或机械工艺来简化制造工艺。 构成：阴极（200）发射电子。 阳极（100）布置在阴极的上部。 阴极部包括在其表面上形成有凹凸部的基板（210）。 阴极部分包括形成在基板的上表面上的发射极（230）。 凹凸部包括突出部和凹部。
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公开(公告)号：KR101011681B1
公开(公告)日：2011-01-31
申请号：KR1020080071466
申请日：2008-07-23
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L27/04 , H01L21/3063
Abstract: 본 발명은 실리콘 웨이퍼의 결정 방향 (100)으로의 비등방적 습식공정과 반도체 공정기술을 적용하여 원하는 전자기파 대역에서 이용할 수 있는 광도파로, 공진기, 필터, 안테나 등의 광결정 수동소자에 사용될 수 있는 광결정 구조를 제조할 수 있고, 일정 반지름과 높이를 갖는 실리콘 결정이 주기적 배열로 구성된 부분과 광도파로, 공진기 등으로 사용하기 위해 축 방향으로의 광 손실을 줄이기 위한 덮개부분으로 이루어지도록 하여 원하는 전자기파 대역에 적용될 수 있는 수동소자로 사용할 수 있으며, 실리콘 결정을 도전성이 있는 물질로 코팅을 하지 않고 사용한 유전체 광결정 특성과 실리콘 결정을 도전성이 있는 물질로 코팅하여 금속 광결정 특성을 모두 이용할 수 있도록 한 광결정 구조를 갖는 광결정 수동소자의 제조 방법에 관한 것이다. 이를 이용하여 상대적으로 가격이 저렴하며, 높이가 큰 광결정 구조를 빠른 시간 안에 대량으로 제작할 수 있다.
광결정, 수동소자, 실리콘, 웨이퍼, 결정방향 (100), 비등방성, 습식공정, 테라헤르츠-
公开(公告)号：KR100994146B1
公开(公告)日：2010-11-15
申请号：KR1020080118274
申请日：2008-11-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B6/10
Abstract: 본 발명에 따른 광결정(photonic crystal) 공진기는 공진기 내부의 공동이 공기(진공)인 공동(cavity) 공진기이다. 광결정은 이차원 광결정으로서 유전체 막대를 주기적으로 배열함으로써 만들어진다. 유전체 막대의 주기적인 배열은 다양하게 형성될 수 있고, 광결정의 광 밴드갭(photonic band gap)이 원하는 주파수 대역에서 원활히 형성되도록 구성된다. 유전체 막대로 구성된 이차원 광결정에서 하나 이상의 막대를 제거한 결함(defect)을 만든다. 이 점(local) 결함은 공동 형태의 공진기가 되고 외부 전자기파 소스와 결합된다. 외부 전자기파 소스와 공진기의 결합을 위하여 선(line)결함이 추가된다. 이 선결함은 선 형태로 막대를 제거해서 만들게 되는데 전자기파가 이 선결함을 따라서 이동할 수 있기 때문에 도파관 역할을 하게 된다. 선결함은 공진기와 외부 전자기파 소스를 결합한다. 유전체 막대의 양쪽 끝은 위아래의 금속판으로 덮는다. 위아래 두 개의 금속판 중에서 하나 이상의 금속판에 절연 구간을 두어 두 개 이상의 금속판으로 분리 절연한다. 절연시키는 부위는 선결함과 교차하도록 한다. 절연 구간의 폭이 전자기파의 파장보다 충분히 작도록 만들어야 전자기파가 선결함을 통해 원활히 진행하게 된다. 공진기를 외부 전자기파 소스에 결합하면 공동 공진기를 막고 있는 두 금속판 사이에 전자기파의 주파수를 가지는 AC전압이 형성된다. 추가로 같은 금속판에 DC전압, 펄스 전압 등을 인가하면 변형된 AC전압을 얻게 된다. DC전압을 인가하면DC전압만큼 편향된 AC전압을 얻게 된다.
광결정, 공진기, 편향-
公开(公告)号：KR1020100018301A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：KR1020080077011
申请日：2008-08-06
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G01R31/282 , G01J3/28 , G01N21/3586 , G01N29/04
Abstract: PURPOSE: A system and a method of high speed measurement of terahertz wave are provided to obtain a spectrum image of each material by analyzing material required for terahertz wave. CONSTITUTION: An optical delay unit(230) comprises a rotary type reflector having a plurality of wings. The laser beam which is divided at a bema splitter into two paths by using optical delay unit has time difference. The laser beams having time difference is respectively is projected to a terahertz wave generator(200) and a terahertz wave detection unit. The voltage signal is sampled and data of the terahertz wave pulse to the sample is collected. The voltage signal corresponds to the current signal generated in the terahertz wave detection unit. The sample is interposed between the terahertz wave generator and the terahertz wave detection unit.
Abstract translation: 目的：提供一种太赫兹波高速测量系统和方法，通过分析太赫兹波所需的材料，获得每种材料的光谱图像。 构成：光学延迟单元（230）包括具有多个翼的旋转型反射器。 通过使用光学延迟单元被分割成两个路径的激光束具有时间差。 具有时间差的激光束分别投射到太赫兹波发生器（200）和太赫兹波检测单元。 对电压信号进行采样，并收集到样品的太赫兹波脉冲的数据。 电压信号对应于在太赫兹波检测单元中产生的电流信号。 样本介于太赫兹波发生器和太赫兹波检测单元之间。
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公开(公告)号：KR100866980B1
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：KR1020060113073
申请日：2006-11-16
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 냉음극 전자총 및 이를 통한 전자빔 집속 방법에 관한 것으로, 전자를 방출하는 냉음극(cold cathode)에 의한 전자원(electron source); 상기 전자원에서 방출된 전자빔을 집속 및 가속시키는 그리드; 상기 전자빔을 감속하는 평판형 제1 개구부; 및 상기 제1 개구부를 통과하는 전자빔을 가속하는 평판형 제2 개구부를 포함하며, 여기서 상기 전자빔의 감속 및 가속은 직류전원을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 냉음극 전자총과 전자빔 집속방법을 제공하게 되면, 전자빔의 속도퍼짐과 같은 물리적 특성을 조절한 최적화 된 설계가 용이하여 초소형 전자총으로 구현하기가 용이하다.
또한, 집속렌즈를 통과한 전자빔의 에너지를 집속되기 전과 같거나 더 작게 하는 것이 가능하므로 낮은 전압의 전자빔이 필요한 초소형 진공전자소자 등에 사용하면 회로 파괴 등의 문제가 적어질 뿐만 아니라, 적절한 구조 설계를 통해 전원장치를 여러 전극에 극성만 바꾸어 사용할 수 있으므로 전원장치가 간단해 진다.
냉음극, FEAs, 전자빔 집속, 그리드, 개구부, 초소형 진공 전자소자-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100844585B1
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020060108131
申请日：2006-11-03
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G02B17/023 , G02B26/06
Abstract: 본 발명은 회전형 광지연기에 관한 것으로, 회전축을 중심으로 회전하는 회전체로서, 몸체 및 날개를 포함하며, 상기 회전 날개는 반사면에 의해 광을 수직반사 시키는 역 반사 곡면을 형성하고, 상기 역 반사 곡면은 상기 회전체가 일정한 회전 속도로 회전하는 동안 광을 역 반사시키는 지점이 일정한 속도로 광로 상에서 이동하도록 하는 구조로 이루어진 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 회전형 광 지연 장치를 제공하게 되면, 시간지연의 반복률(repetition rate)을 크게 높일 수 있고, 회전체의 모든 회전각도에 대해서 시간 지연값이 선형적으로 변화하고 최대 시간 지연값에 대한 제한이 없으므로 긴 시간 지연값을 만들어 낼 수 있다.
또한, 간단한 평판형 구조이므로 가공이 간단하고 회전축이 평판형 구조체의 무게중심을 지나도록 설계하기가 용이하여 고속회전 상황에서도 재연성 높은 안정된 운동이 가능하도록 한다.
광 지연기, 광로차, 반복률, 역 반사, 각 속도, 빔 분리기-
公开(公告)号：KR1020080040324A
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：KR1020060108131
申请日：2006-11-03
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G02B17/023 , G02B26/06
Abstract: A rotary type optical delay line is provided to make a long time delay value by linearly changing the time delay value for all rotational angles of a rotating body and removing limitation for the maximum time delay value. A rotary type optical delay line is composed of a body(20) and a wing(10) functioning as a rotating body turning around a rotary shaft. The wing forms a retro-reflective curve for vertically reflecting the light on an orthogonal line separated from the center axis at a predetermined gap, by a reflecting surface of a rotary wing. The retro-reflective curve retro-reflects the light at the same separated distance from the center axis during the predetermined rotating time of the rotating body.
Abstract translation: 提供旋转型光学延迟线，通过线性地改变旋转体的所有旋转角度的时间延迟值和消除最大时间延迟值的限制来产生长时间延迟值。 旋转型光学延迟线由作为绕旋转轴转动的旋转体的主体（20）和翼（10）构成。 机翼通过旋转翼的反射表面形成用于将光线垂直反射在以中心轴线隔开预定间隙的正交线上的后向反射曲线。 在旋转体的预定旋转时间期间，回射反射曲线使来自中心轴的距离相同的光反射。
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公开(公告)号：KR1020170139496A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020177021720
申请日：2015-03-02
IPC: G01R1/07 , G01R1/24 , G01R31/265 , G01R31/27
CPC classification number: G01R1/07 , G01R23/00 , G01R31/26 , G01R1/071 , G01R1/24 , G01R31/2656 , G01R31/275
Abstract: 다중접합반도체의결함검사장치에있어서, 광원, 슬릿안테나프로브, 평행광조사부, 광집속부, 광분배부, 제1 광검출부, 제2 광검출부, 영상신호생성부및 영상신호분석부를포함하며, 슬릿안테나프로브는, 광원으로부터발생된테라헤르츠광을가이딩하는가이딩부; 및가이딩부와슬릿안테나프로브의외부공간사이를관통하는슬릿을포함하고, 슬릿에는, 가이딩부를지나슬릿을통과하는테라헤르츠광의반사정도를감소시키기위한반사감소구조가형성된것을특징으로하는본 발명의일 실시예에따른다중접합반도체의결함검사장치가개시된다.
Abstract translation: 在多结半导体的缺陷检查装置，包括：一光源，狭缝天线探针，平行于照射，光的一部分聚焦，分光分布，第一光检测器，第二光电检测器，图像信号生成单元和所述图像信号分析单元，所述狭缝 天线探测器包括：引导单元，用于引导从光源产生的太赫兹光; 并且，本发明其特征在于，减反射结构形成，以减少太赫兹光反射电平，其包括一个狭缝通过该待定部分的外部空间和狭缝天线探针穿透，并且缝槽，通过狭缝传递过去的引导 公开了一种用于半导体结的缺陷检测装置。
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公开(公告)号：KR1020150058843A
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130142108
申请日：2013-11-21
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: 본발명은진공전자소자에적용을위한전계인가형미세패턴 4극전극구조에있어서, 제작이용이하면서도가공비용이저렴하며높은가공정밀도를충족시킬뿐만아니라, 안정된실리콘광결정격자를통해전자기파처리에있어서특성제어의안정성을확보할수 있는진공전자소자용 4극전극구조에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于电场负载应用的精细图案的四电极结构，其用于真空电子器件; 容易以较低的成本制造; 满足高工艺精度; 并通过稳定的硅光晶格确保电磁波工艺中的稳定特征控制。
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公开(公告)号：KR1020140066347A
公开(公告)日：2014-06-02
申请号：KR1020120133454
申请日：2012-11-23
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: The present invention relates to an electron-gun-based linear accelerator which emits a pulse-type electron beam of high frequency. Because a section which induces the bunching phenomenon of electrons can be removed, high shunt impedance can be maintained, thereby reducing the length of an accelerator. Because the loss of an electron beam is not generated and the stability of a thermal structure is high, costs can be reduced and the lifetime of the accelerator can be extended in terms of maintenance.
Abstract translation: 本发明涉及一种发射高频脉冲型电子束的基于电子枪的线性加速器。 因为可以去除引起电子聚束现象的部分，所以可以保持高分流阻抗，从而减小加速器的长度。 由于不产生电子束的损失，并且热结构的稳定性高，所以可以降低成本，并且在维护方面可以延长加速器的寿命。
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