公开(公告)号：CN101243369A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200680030056.5

申请日：2006-07-07

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： V·J·贝克汉姆 ,  T·J·莱亚

IPC: G05D11/00 ,  C01B13/10 ,  H01L21/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0318

Abstract: 用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即，多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态)，并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即，约1秒)的响应时间。在EVENT期间，第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的，但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间，然而，第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性，并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

公开(公告)号：CN109607486A

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201811587298.5

申请日：2018-12-25

Applicant: 袁野

Inventor： 袁野

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/64

Abstract: 本发明渉及一种用于生产臭氧(O3)的装置，是利用交流高压电的电晕放电，将氧气分子（O2）电离分解成为两个单个的氧（O）原子高能自由基，从而生成臭氧分子（O3）的一种臭氧生成管中的新型结构筛孔式放电极管，这种新型筛孔式放电极管，具有设备体积小，结构筒单，所生产的臭氧产量大，浓度高，电耗少，是一种使臭氧生成管可以大幅度降低了臭氧生产成本的一种筛孔式放电极管。

公开(公告)号：CN105873856B

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201580003316.9

申请日：2015-01-28

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 寺岛裕二 ,  吉田久次 ,  广井秀树 ,  北村胜博 ,  尾形安央

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76

Abstract: 一种管型臭氧产生装置(1)。臭氧产生单元(30)具有隔着放电间隙(36)布置在外侧电极管(31)的内侧的放电管(32)。放电管(32)具有介电质管(33)、设置在介电质管(33)内的筒状电极膜(34)、以及向电极膜(34)供电的供电部件(40)。电极膜(34)是以螺旋状地错开的状态在介电质管(33)上布置具有弹性的导体(35)而形成的。

公开(公告)号：CN106794987A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201580044398.1

申请日：2015-07-06

Applicant: 埃利亚胡·大卫 ,  德罗尔·尼夫

Inventor： 埃利亚胡·大卫 ,  德罗尔·尼夫

IPC: C01B13/02 ,  C01B13/10 ,  A61L2/18 ,  A61L2/20

CPC classification number: A61L2/202 ,  A61L2/183 ,  A61L2209/212 ,  C01B13/02 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64

Abstract: 一种用于安全生成和递送臭氧的家用电器系统，包括至少一个一次性小容器，每个小容器配置成化学生成预定剂量的氧气，其中所述一次性小容器以开始生成氧气的方式被操纵；以及用于从所述预定剂量的氧气生成臭氧的臭氧发生器，其中所述臭氧发生器流体地连接到所述小容器。

公开(公告)号：CN106714954A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201580050402.5

申请日：2015-09-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 ,  原田稔 ,  高桥宗人

IPC: B01F15/02 ,  B01F1/00 ,  B01F3/04 ,  B01F5/04 ,  B01F15/04 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11 ,  C02F1/78 ,  H01L21/304

CPC classification number: B01F3/0446 ,  B01F5/0413 ,  B01F15/00149 ,  B01F15/00162 ,  B01F15/0022 ,  B01F15/00357 ,  B01F15/00422 ,  B01F2003/04886 ,  B01F2215/004 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/78 ,  C02F2103/04 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/03 ,  C02F2209/38 ,  C02F2209/40 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67017

Abstract: 本发明的臭氧水制造装置(1)具备：流量控制器(4、5)，控制作为原料的气体的流量；流量计(12)，测定作为原料的水的流量；升压泵(13)，控制水的压力；臭氧水生成部(8)，将臭氧气体与水进行混合而生成臭氧水；以及压力传感器(17)，测定供给至使用点(19)的臭氧水的压力。升压泵(13)控制水的压力，使由压力传感器(17)测定的臭氧水的压力成为恒定，流量控制器(4、5)根据由流量计(12)测定的水的流量来控制气体的流量。

公开(公告)号：CN106687409A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201580048092.3

申请日：2015-07-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 和田升 ,  中川雄介

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/30 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90 ,  H01J37/3438 ,  H01M4/765

Abstract: 在进行反复臭氧发生运转期间和臭氧发生运转待机期间的间歇运转的臭氧发生系统中，在臭氧发生装置的放电空间以外的场所设置吸附硝酸以及氮氧化物的至少一方的吸附剂，在臭氧发生运转期间，使含氧的气体在臭氧发生装置的放电空间中放电而产生臭氧，在臭氧发生运转待机期间，将气体密封在臭氧发生装置内并且停止放电而不产生臭氧。

公开(公告)号：CN106276810A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610887540.5

申请日：2016-10-11

Applicant: 北京天择昌宁环境技术股份有限公司

Inventor： 罗范生

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/74 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明公开了一种大型智能化臭氧系统，包括工作站子系统以及分别与所述工作站子系统相连的臭氧机组群、工况子系统以及执行子系统，其中：所述臭氧机组群中包括至少一个臭氧机组，所述工况子系统包括气源单元以及冷却单元等，所述执行子系统包括臭氧分配单元等；其中，所述臭氧机组群中的各个臭氧机组的氧气入口与臭氧出口分别与所述气源单元的氧气出口以及臭氧分配单元的臭氧入口相连，所述冷却单元的冷却液出口分别与所述臭氧机组群中的各个臭氧机组的冷却液入口相连，且所述各个臭氧机组的冷却液出口与所述冷却单元的冷却液入口相连。所述系统可实现对臭氧生产、分配、投放的全面监控和管理。

公开(公告)号：CN105873856A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201580003316.9

申请日：2015-01-28

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 寺岛裕二 ,  吉田久次 ,  广井秀树 ,  北村胜博 ,  尾形安央

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76

Abstract: 一种管型臭氧产生装置(1)。臭氧产生单元(30)具有隔着放电间隙(36)布置在外侧电极管(31)的内侧的放电管(32)。放电管(32)具有介电质管(33)、设置在介电质管(33)内的筒状电极膜(34)、以及向电极膜(34)供电的供电部件(40)。电极膜(34)是以螺旋状地错开的状态在介电质管(33)上布置具有弹性的导体(35)而形成的。

公开(公告)号：CN104144874B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201380011846.9

申请日：2013-02-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 和田升 ,  江崎德光 ,  中谷元 ,  稻永康隆 ,  尾台佳明

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  B01J19/088 ,  B01J2219/00051 ,  B01J2219/00164 ,  B01J2219/0809 ,  C01B2201/10 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90 ,  Y02P20/129

Abstract: 本发明的臭氧产生机构具备具有形成放电空间(305)的放电电极(30)的臭氧产生装置(3)、气体供给装置(1)、向放电电极(30)供给功率的电源装置、调节放电电极(30)的温度的温度调节装置(7)、控制臭氧产生装置(3)的运转的控制部(4)、检测臭氧产生装置(3)中的臭氧产生参数(Di)的检测部(25)，控制部(4)根据从检测部(25)输出的臭氧产生参数(Di)的值，从通常的运转模式向洁净化运转模式转移，在该洁净化运转模式中，联合控制温度调节装置(7)和气体供给装置(1)或者温度调节装置(7)和电源装置，使放电电极(30)的温度上升到使五氧化二氮气化的温度，并使在放电空间(305)中的臭氧的产生继续的状态下，将放电电极(30)表面以及放电空间(305)洁净化。

公开(公告)号：CN104245571B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201280072566.4

申请日：2012-04-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 永山贵久 ,  中谷元 ,  尾台佳明 ,  和田昇

IPC: C01B13/11

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/0807 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76

Abstract: 本发明的臭氧产生装置中，设置放电抑制构件(10)，该放电抑制构件(10)覆盖电介质管(2)的与管板(90)相对的部分的外周表面且由金属板形成，并使该放电抑制构件与金属管(1)或管板(90)电接触，放电抑制构件通过如下方式形成：将比电介质管的外周长度要长的金属板卷绕成环状，从而具有重合部(14)，在重合部中、位于外侧的金属板的端部附近，使重合部中位于外侧的金属板与位于内侧的金属板接合来形成该放电抑制构件，且在重合部中位于外侧的金属板上具有沿周向延伸的弹性部(17)。