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    Kathode und Verfahren zu ihrer Herstellung
    81.
    发明公开
    Kathode und Verfahren zu ihrer Herstellung 失效
    Kathode und Verfahren zu ihrer Herstellung。

    公开(公告)号：EP0549034A1

    公开(公告)日：1993-06-30

    申请号：EP92203887.2

    申请日：1992-12-14

    Applicant: Philips Patentverwaltung GmbH ,  Philips Electronics N.V.

    Inventor： Gärtner, Georg, Dr. ,  Hasker, Jan, Dr.

    IPC: H01J1/28 ,  H01J9/04

    CPC classification number: H01J9/042 ,  H01J1/28

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Kathode mit einem mit einer Erdalkali-Verbindung imprägnierten Matrixkörper (1), auf desses Oberfläche eine Deckschicht (2,3,4) aufgebracht ist, welche hochschmelzendes Metall wie insbesondere Wolfram und Scandium enthält. Eine hohe Emission bei niedriger Betriebstemperatur und gleichzeitig eine schnelle Erholung nach Ionenbombardement sowie eine lange Lebensdauer werden dadurch erreicht, daß die Deckschicht wenigstens zwei Schichten unterschiedlicher Zusammensetzung enthält, wobei eine rein metallische Schicht (5,6,7) auf den imprägnierten Matrixkörper (1) aufgebracht ist, welche Scandium sowie ein hochschmelzendes Metall wie insbesondere Wolfram und/oder Rhenium enthält, und daß als abschließende Schicht eine metallische Schicht aus einem hochschmelzenden Metall wie insbesondere Wolfram aufgebracht ist.

    Abstract translation: 本发明涉及一种阴极，其具有浸渍有碱土金属化合物的基体（1），并且其表面涂覆有覆盖层（2,3,4），其包含钪和难熔金属，特别是 ，钨。 在低工作温度下的高发射，同时通过具有不同组成的至少两层的覆盖层实现了离子轰击之后的快速恢复和长的使用寿命，纯金属层（5,6,7）是 应用于含有钪和难熔金属（特别是钨和/或铼）的浸渍基质体（1），并且通过作为最终层施加由难熔金属制成的金属层，特别是 ，钨。

    Solid solution matrix cathode
    82.
    发明公开
    Solid solution matrix cathode 失效
    。。。。。。。。。

    公开(公告)号：EP0333369A1

    公开(公告)日：1989-09-20

    申请号：EP89302266.5

    申请日：1989-03-07

    Applicant: VARIAN ASSOCIATES, INC.

    Inventor： Goeser, Gerard Allen ,  Green, Michael Curzon

    IPC: H01J1/14

    CPC classification number: H01J1/28 ,  H01J1/14 ,  Y10T428/12007 ,  Y10T428/12056 ,  Y10T428/12063 ,  Y10T428/12174

    Abstract: An impregnated thermionic cathode comprises a porous matrix (12) of an alloy of a refractory metal together with a transition metal between 1 and 6%, with a meltable alkaline earth mixed oxide filling the pores of the matrix. The refractory metal may be of tungsten or molybdenum. The transition metal may be of iridium, osmium, rhenium or ruthenium. There may be an additional electron emissive layer (16) on the surface of the cathode which comprises over 25% of the transition metal.

    Abstract translation: 浸渍的热离子阴极包括难熔金属与1至6％之间的过渡金属的合金的多孔基体（12）和填充基质的孔的可熔融的碱土金属混合氧化物。 难熔金属可以是钨或钼。 过渡金属可以是铱，锇，铼或钌。 在阴极表面上可能有一个附加的电子发射层（16），其包含超过25％的过渡金属。

    Impregnated cathode
    86.
    发明公开
    Impregnated cathode 失效
    Impregnierte Kathode。

    公开(公告)号：EP0248417A2

    公开(公告)日：1987-12-09

    申请号：EP87108036.2

    申请日：1987-06-03

    Applicant: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

    Inventor： Kimura, Sakae c/o Patent Division ,  Nikaido, Masaru c/o Patent Division ,  Yanagibashi, Katumi c/o Patent Division ,  Homma, Katsuhisa c/o Patent Division ,  Ouchi, Yoshiaki c/o Patent Division

    IPC: H01J1/28

    CPC classification number: H01J1/28

    Abstract: According to the present invention, an impregnated cathode is provided wherein an alloy layer (19) of iridium and tungsten is formed on a surface of a porous pellet (11) impregnated with an oxide of an alkali earth metal, wherein a crystal structure of the alloy has an ell phase comprising an hcp structure whose lattice constants a and c satisfy 2.76 s a ≤ 2.78 and 4.44 ≤ c ≤ 4.46, respectively. The impregnated cathode of the present invention maintains stable electron emission characteristics from an early stage of operation.

    Abstract translation: 根据本发明，提供了一种浸渍阴极，其中在浸渍有碱土金属氧化物的多孔颗粒（11）的表面上形成铱和钨的合金层（19），其中晶体结构 合金具有包含hcp结构的εII相，其晶格常数a和c分别满足2.76和4.44

    Tungsten-iridium impregnated cathode
    88.
    发明公开
    Tungsten-iridium impregnated cathode 失效
    枸杞和铱e e。。。

    公开(公告)号：EP0157634A2

    公开(公告)日：1985-10-09

    申请号：EP85302311.7

    申请日：1985-04-02

    Applicant: VARIAN ASSOCIATES, INC.

    Inventor： Green, Michael Curzon

    IPC: H01J1/28 ,  H01J1/14 ,  H01J9/04

    CPC classification number: H01J9/04 ,  H01J1/28

    Abstract: Porous agglomerates (14) are made from pure tungsten by sintering fine particles together and mechnically breaking down the mass to form some agglomerates (14) considerably larger than the particles. These agglomerates (14) are mixed with fine iridium powder (18) and sintered to form a porous mass. The mass is machined to the cathode shapes (10') and impregnated with an alkaline earth aluminate (18). The large agglomerates (14) alloy with the iridium only on their outer surface. Their pure tungsten interior provides the surfaces to reduce the alkaline earth oxide to the metal which activates the cathode.

    Abstract translation: 多孔附聚物（14）由纯钨制成，通过将细颗粒烧结在一起并机械地分解质量以形成比颗粒大得多的一些附聚物（14）。 将这些附聚物（14）与精细的铱粉末（18）混合并烧结以形成多孔质量块。 将质量加工成阴极形状（10分钟），并用碱土金属铝酸盐（18）浸渍。 大的附聚物（14）仅在其外表面上与铱合金。 它们的纯钨内部提供了表面以将碱土金属氧化物还原成活化阴极的金属。

    陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム
    89.
    发明专利
    陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム 审中-公开
    具有阴极结构，电子枪，和这样的电子枪光刻系统

    公开(公告)号：JP2017501553A

    公开(公告)日：2017-01-12

    申请号：JP2016544160

    申请日：2014-12-22

    Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

    Inventor： ディヌ−グールトレル、ローラ ,  ホガーボルスト、エリック・ペトルス

    IPC: H01J3/02 ,  H01J37/06 ,  H01L21/027

    CPC classification number: H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

    Abstract: 本発明は、長手方向(Z)に電子を放出するための、放出周縁(35)で境界が定められた放出表面(32)を収容している陰極本体(22)と、横断方向(X、Y)に陰極本体を少なくとも部分的に囲み、放出表面によって放出された電子を集束させるための、アパーチャ周縁(45)で境界が定められた電子透過アパーチャ(44)を有する集束電極(40)とを具備し、陰極本体は、アライメントされた位置(R0)から最大横断距離(d1)を超えて集束電極内に移動可能に配置され、アパーチャ周縁は、最大横断距離(d1)を超えるオーバーラップ距離(d2)にわたって、放出周縁を超えて放出表面の上に横断方向に延びている陰極構成体(20)に関する。

    Abstract translation: 本发明中，为了以发射在纵向方向上的电子（Z），阴极体（22）容纳通过释放轮辋（35），沿横向方向限定的释放表面（32）（X， 至少部分地包围阴极体Y），用于聚焦由所述发光面发射的电子，并且通过所述孔边缘界定的具有聚焦电极的电子传输孔（45）（44）（40） 包括阴极体可移动地设置在所述对准位置（R0）最大横向距离（D1）超出从孔周边的聚焦电极是重叠距离超过最大横向距离（d1）的 在（D2），该阴极结构在发射表面超出放电轮缘约（20）横向延伸。

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