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公开(公告)号：CN105874555B
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201480071807.2
申请日：2014-12-22
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
CPC classification number: H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20)，其包括：热离子阴极，其包括发射部分(30)和贮存器(38)，该发射部分设置有用于发射电子的发射表面，该贮存器用于保留材料，其中，该材料在受热时释放功函数降低微粒，这些功函数降低微粒朝该发射部分扩散并且以第一蒸发速率从该发射表面处发出；聚焦电极(40)，其包括聚焦表面，用以聚焦从该阴极的发射表面处被发射的电子；以及可调整的热源(50)，其被配置成用以保持该聚焦表面在可防止功函数降低微粒累积在该聚焦表面上的温度。
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公开(公告)号：CN103392216B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201180068539.5
申请日：2011-02-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J1/13 , H01J1/26 , H01J1/304 , H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01J29/485 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/148 , H01J1/26 , H01J37/065 , H01J37/07 , H01J37/075 , H01J37/26 , H01J37/3174
Abstract: 本发明涉及一种电子枪及电子束装置。电子枪阴极(104）为柱状，且通过被加热而放射电子。设置有如下的保持件(103)，所述保持件(103)覆盖该电子枪阴极的底面及侧面并对电子枪阴极进行保持，并且由具有导电性且在被加热了的状态下难以与所述电子枪阴极发生反应的材料而构成。电子枪阴极(104）的顶端部露出且从保持件(103）突出，通过向顶端部施加电场而从所述顶端部朝向前方放射电子。
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公开(公告)号：CN103299390B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201180051544.5
申请日：2011-09-08
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , H01J37/075
CPC classification number: H01J37/075 , H01J3/025 , H01J37/077 , H01J2237/3104 , H01J2237/3128 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的中央布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。
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公开(公告)号：CN103299390A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201180051544.5
申请日：2011-09-08
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , H01J37/075
CPC classification number: H01J37/075 , H01J3/025 , H01J37/077 , H01J2237/3104 , H01J2237/3128 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的中央布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。
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公开(公告)号：CN105874555A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071807.2
申请日：2014-12-22
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
CPC classification number: H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20)，其包括：热离子阴极，其包括发射部分(30)和贮存器(38)，该发射部分设置有用于发射电子的发射表面，该贮存器用于保留材料，其中，该材料在受热时释放功函数降低微粒，这些功函数降低微粒朝该发射部分扩散并且以第一蒸发速率从该发射表面处发出；聚焦电极(40)，其包括聚焦表面，用以聚焦从该阴极的发射表面处被发射的电子；以及可调整的热源(50)，其被配置成用以保持该聚焦表面在可防止功函数降低微粒累积在该聚焦表面上的温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103392216A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201180068539.5
申请日：2011-02-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J1/13 , H01J1/26 , H01J1/304 , H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01J29/485 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/148 , H01J1/26 , H01J37/065 , H01J37/07 , H01J37/075 , H01J37/26 , H01J37/3174
Abstract: 本发明涉及一种电子枪及电子束装置。电子枪阴极(104）为柱状，且通过被加热而放射电子。设置有如下的保持件(103)，所述保持件(103)覆盖该电子枪阴极的底面及侧面并对电子枪阴极进行保持，并且由具有导电性且在被加热了的状态下难以与所述电子枪阴极发生反应的材料而构成。电子枪阴极(104）的顶端部露出且从保持件(103）突出，通过向顶端部施加电场而从所述顶端部朝向前方放射电子。
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公开(公告)号：CN102859634A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180013425.0
申请日：2011-03-11
Applicant: 浦项工科大学校产学协力团
IPC: H01J37/06
CPC classification number: H01J37/06 , H01J3/024 , H01J3/027 , H01J37/075 , H01J2237/0473 , H01J2237/061 , H01J2237/166 , Y10T29/49004
Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的装置，该装置包括：阴极；外壳，该外壳具有形成在其一侧处的开口，使得该阴极联接至该开口，并且该外壳具有形成在其中的谐振腔；以及垫圈，该垫圈被插置在阴极与外壳之间，使得根据阴极与外壳之间的联接强度来压缩该垫圈以使谐振腔与外部切断。
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公开(公告)号：CN1205646C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN98809482.7
申请日：1998-09-24
Applicant: 焊接研究院
Inventor： 阿伦·桑德森
IPC: H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/075 , H01J37/301
CPC classification number: H01J37/075 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/301 , H01J2237/3104
Abstract: 一种带电粒子发射组件具有：一个发射件(5)用来发射一种极性的带电粒子；一个沿圆周环绕发射件的管状屏蔽电极(6)，并在使用时保持与带电粒子相同的极性；和一个基本上与屏蔽电极(6)同轴的加速电极(7)，并在使用时保持与屏蔽电极相反的极性。这样配置能使从发射件(5)发射的带电粒子在初时沿侧向向外扩散，然后被聚焦成能通过管状加速电极(7)的电子束。
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公开(公告)号：CN1271460A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：CN98809482.7
申请日：1998-09-24
Applicant: 焊接研究院
Inventor： 阿伦·桑德森
IPC: H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/075 , H01J37/301
CPC classification number: H01J37/075 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/301 , H01J2237/3104
Abstract: 一种带电粒子发射组件具有:一个发射件(5)用来发射一种极性的带电粒子;一个沿圆周环绕发射件的管状屏蔽电极(6),并在使用时保持与带电粒子相同的极性;和一个基本上与屏蔽电极(6)同轴的加速电极(7),并在使用时保持与屏蔽电极相反的极性。这样配置能使从发射件(5)发射的带电粒子在初时沿侧向向外扩散,然后被聚焦成能通过管状加速电极(7)的电子束。
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公开(公告)号：EP1587130A1
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：EP05009209.7
申请日：1998-09-24
Applicant: THE WELDING INSTITUTE
Inventor： Sanderson, Allan
IPC: H01J37/301 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/075
CPC classification number: H01J37/075 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/301 , H01J2237/3104
Abstract: A charged particle beam column assembly for mounting to an evacuated charged particle beam source chamber. The assembly has a sequence of controlled pressure chambers (55-57), each having inlet and outlet apertures (51A-54A) through which a charged particle beam can pass and an evacuation port (59) for connection to a pump to enable the pressure in the chamber to be controlled. The pressure in successive chambers (55-57) increases in use. An evacuation port (59) is connected to a downstream chamber via a conduit (145,146) which extends within the assembly past at least one upstream chamber.
Abstract translation: 用于安装到抽空的带电粒子束源室的带电粒子束柱组件。 组件具有一系列受控压力室（55-57），每个控制压力室具有入口孔和出口孔（51A-54A），带电粒子束可穿过该孔和出口孔，以及用于连接到泵的排气口（59），以使压力 在房间被控制。 连续室（55-57）的压力在使用中增加。 排气口（59）经由导管（145,146）连接到下游室，该导管在组件内延伸通过至少一个上游室。
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