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    Micromachine electrostatic actuator having an air gap
    4.
    发明专利
    Micromachine electrostatic actuator having an air gap 有权

    公开(公告)号：JP2003501274A

    公开(公告)日：2003-01-14

    申请号：JP2001500902

    申请日：2000-05-19

    Applicant: エムシーエヌシー

    Inventor： グッドウィン‐ヨハンソン，スコット・ホールデン

    IPC: B81B7/04 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/02 ,  H01H59/00 ,  H02N1/00

    CPC classification number: B81C1/00666 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  B81C2201/0167 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3594 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0081

    Abstract: (57)【要約】 より低くより予測可能な動作電圧で動作するＭＥＭＳ静電装置を提供する。 静電アクチュエータ、電磁放射線の静電減衰器、及び電磁放射線を減衰する方法を提供する。 改善された動作電圧特性は、静電装置内の基板電極とフレキシブル複合材電極との間に増大しないエアギャップを定めることによって実現される。 エレクトロメカニカル基板上に重なる多層のフレキシブル複合材の中間部分は、静電力の印加に関係なく所定に位置に保持され、定められたエアギャップが維持される。 中間部分が片持されるときに、エアギャップが、下に横たわるマイクロ電子面からの分離について比較的一定である実施態様を提供する。 あるいは、中間部分が下に横たわるマイクロ電子面に近づいて接触するときにゼロまで減少するエアギャップが与えられる実施態様も更に提供する。 フレキシブル複合材の可動性の末端部分は、複合材層の間の熱膨張係数の違いによって一方に偏って自然にカールする。 静電力に応答して、末端部分が動いて、その結果、フレキシブル複合材が下に横たわるマイクロ電子面から離れる距離が変化する。 中間部分において一方への偏りを制御するための構造と技術、そして結果として生じるエアギャップを提供する。 静電装置は、電磁放射線の経路を選択的に通過させたり遮ったりするように配置できる。 減衰器に使用される材料は、様々なタイプの電磁放射線を通過させたり、反射したり、あるいは吸収したりするよう選択できる。 複数の電磁減衰器がアレイに配置され、そして選択的にそのサブセットを作動することができる。

    Micromachine electrostatic actuator with air gap
    5.
    发明专利
    Micromachine electrostatic actuator with air gap 有权

    公开(公告)号：JP2004312999A

    公开(公告)日：2004-11-04

    申请号：JP2004129835

    申请日：2004-04-26

    Applicant: Mcnc ,  エムシーエヌシーMcnc

    Inventor： GOODWIN-JOHANSSON SCOTT HALDEN

    IPC: B81B7/04 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/02 ,  H01H59/00 ,  H02N1/00

    CPC classification number: B81C1/00666 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  B81C2201/0167 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3594 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0081

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS electrostatic device which operates at a lower and more predictable operating voltage.
    SOLUTION: An intermediate portion 80 of a multilayer flexible composite material laminated on a substrate is retained at a predetermined position regardless of application of electrostatic force, wherein a predetermined air gap is maintained and its distance is relatively fixed from a microelectronic surface 10 of a lower part and may be reduced up to zero. A movable end portion 100 of the flexible composite material curls by itself unidirectionally due to a difference in thermal expansion coefficient between composite material layers. The end portion 100 moves in response to the electrostatic force, and as a result a distance that the flexible composite material separates from the microelectronic surface 10 changes. The device is disposed so that it may selectively cause electromagnetic radiation to pass through a pathway or block the pathway. A material used for an attenuator is selected so that it may cause various types of electromagnetic radiation to pass through, reflect or absorb. A plurality of electromagnetic attenuators are disposed in an array, and their subsets are selectively operated.
    COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

    Arc resistance high-voltage electrostatic switch
    6.
    发明专利
    Arc resistance high-voltage electrostatic switch 有权

    公开(公告)号：JP2003504800A

    公开(公告)日：2003-02-04

    申请号：JP2001508469

    申请日：2000-05-04

    Applicant: エムシーエヌシー

    Inventor： グッドウィン‐ヨハンソン，スコット・ホールデン

    IPC: B81B3/00 ,  H01H1/20 ,  H01H9/40 ,  H01H9/42 ,  H01H59/00

    CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H1/20 ,  H01H9/40 ,  H01H9/42 ,  H01H2037/008 ,  H01H2059/0081

    Abstract: (57)【要約】 高電圧を切換えることが可能である一方で、改善された耐アーク性を提供するＭＥＭＳ（マイクロエレクトロメカニカルシステム）静電作動式装置が提供される。 ＭＥＭＳ装置は、超小形電子基板、基板電極、第１の接点組および第２の接点組、絶縁体、および可動複合体を含む。 可動複合体は、基板および基板電極に上重ねされる。 横断面で見て、可動複合体は、電極層および偏倚層を含んでいる。 長さで見て、可動複合体は、下に位置する基板に取付けられている固定部分と、中間部分と、基板電極に対して可動の遠位部分とを含んでいる。 各接点組は、可動複合体に取付けられている少なくとも１つの複合体接点と、基板に取付けられている好ましくは少なくとも１つの基板接点とを有する。 複数の接点組のうちの１つの接点組は、複合体遠位部分により近く位置する。 可動複合体の遠位部分および／または中間部分は、静電気力が印加されない場合、偏倚されて適所に位置する。 基板電極と可動複合体電極との間に電圧を印加すると、静電気力が発生され、この静電気力により、可動複合体は下に位置する基板に吸引される。 第１および第２の接点組は、可動複合体の遠位部分が基板に吸引されると電気的に接続される。 いったん静電気力が除去されると、可動複合体は偏倚位置を再びとり、このようにして、第１および第２の接点組がシーケンシャルに接続解除されて、アーク形成を最小化する。 静電式ＭＥＭＳ装置を使用する様々な実施例および方法が提供される。

    Electromagnetic emission source identification apparatus and associated method, computer device, and computer software program product
    7.
    发明专利
    Electromagnetic emission source identification apparatus and associated method, computer device, and computer software program product 审中-公开
    电磁辐射源识别装置和相关方法，计算机装置和计算机软件程序产品

    公开(公告)号：JP2003021655A

    公开(公告)日：2003-01-24

    申请号：JP2002123440

    申请日：2002-04-25

    Applicant: Mcnc ,  エムシーエヌシー

    Inventor： SWARTZ JOHN C ,  ROBERSON MARK W ,  VARGAS-HURLSTON SARAH ,  WILLIAMS CHARLES KENNETH ,  MANCUSI JOSEPH E

    IPC: G01R29/08 ,  G01R31/00

    CPC classification number: G01R31/001 ,  G01R29/0878 ,  G01R31/007

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus capable of identifying a source of electromagnetic emission based on the characteristic of the electromagnetic emission, an associated method, a computer device, and a program product of a computer software.
    SOLUTION: This electromagnetic emission source identification device is equipped with a sensor device 200 constituted so as to sense the electromagnetic emission from the source 700, a data transmitter 400 constituted so as to communicate with the sensor device 200 and to transmit sensed emission data from the sensor device 200, and a computer device 600 constituted so as to communicate with the data transmitter 400, to determine at least one of an identification indicator corresponding to the source 700, an operational characteristic indicator and an accessory characteristic indicator, and to process digital emission data corresponding to the sensed emission data.
    COPYRIGHT: (C)2003,JPO

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够基于电磁辐射的特性，相关联的方法，计算机设备和计算机软件的程序产品来识别电磁发射源的装置。 解决方案：该电磁发射源识别装置配备有传感器装置200，其被构造成感测来自源700的电磁发射;数据发射器400，被构造成与传感器装置200进行通信，并将检测到的发射数据从 传感器装置200以及构造成与数据发送器400通信的计算机装置600，以确定对应于源700的识别指示符，操作特征指示符和附件特征指示符中的至少一个，并且处理数字发射 对应于所感测的发射数据的数据。

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