公开(公告)号：CN102598195B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201080041464.7

申请日：2010-09-20

Applicant: FEI公司 ,  美国商务部国家标准和科技研究所

Inventor： J.J.麦克莱兰 ,  B.J.克努夫曼 ,  A.V.斯蒂尔 ,  J.H.奥尔洛夫

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/31749

Abstract: 离子束系统使用诸如阻性管的单独加速电极来在保持扩展、亦即分布式离子源处的低电场的同时将离子加速，从而改善分辨率。可以使用磁光陷阱作为离子源。

公开(公告)号：CN102598195A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080041464.7

申请日：2010-09-20

Applicant: FEI公司 ,  美国商务部国家标准和科技研究所

Inventor： J.J.麦克莱兰 ,  B.J.克努夫曼 ,  A.V.斯蒂尔 ,  J.H.奥尔洛夫

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/31749

Abstract: 离子束系统使用诸如阻性管的单独加速电极来在保持扩展、亦即分布式离子源处的低电场的同时将离子加速，从而改善分辨率。可以使用磁光陷阱作为离子源。