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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019920015456A
公开(公告)日：1992-08-26
申请号：KR1019920000821
申请日：1992-01-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 도시바 , 도꾜일렉트론큐슈리미티드
IPC: H01L21/20
Abstract: 내용 없음
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公开(公告)号：KR100237191B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019930006834
申请日：1993-04-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 도시바 , 도꾜일렉트론큐슈리미티드
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C11/08 , B05C11/1002 , B05C11/101 , B05C11/1047 , G03F7/162 , G03F7/3021
Abstract: 처리액체를 수용하는 탱크와 배관을 끼워 연이어 공급하고 있고, 처리액체를 공급하는 피처리체의 위쪽에 설치된 보틀과, 이 보틀과 배관을 끼워 연이어 통합하고 있고, 보틀보다 아래쪽에 설치된 노즐과, 피어처리체를 지지하는 지지기구와, 배관을 끼워 그 내부를 처리액체보충시에 부압으로 하고, 처리액체공급시에 상압으로 하는 전환수단을 구비하는 기판처리장치.
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公开(公告)号：KR1019920007115A
公开(公告)日：1992-04-28
申请号：KR1019910016059
申请日：1991-09-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 도시바 , 도꾜일렉트론큐슈리미티드
IPC: H01L21/31
Abstract: 내용 없음
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公开(公告)号：KR100230753B1
公开(公告)日：1999-11-15
申请号：KR1019920000821
申请日：1992-01-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 도시바 , 도꾜일렉트론큐슈리미티드
IPC: H01L21/20
CPC classification number: B05C5/001 , B05C5/0208 , B05C5/027 , B05C11/08 , G03F7/162 , Y10S134/902
Abstract: 본 발명에 관한 액도포 시스템은 액 공급원과, 이 액 공급원에 연통하는 인렛 및 실질적으로 선형인 액토출부를 갖는 노즐과, 액공급원에서 노즐 수단으로 향하여 가압가스에 의해 액을 압송하는 압송유닛과, 반도체웨이퍼를 재치 고정하는 스핀 척과, 노즐의 액토출부를 스핀척상의 웨이퍼에 근접대면시키는 승강실린더와, 스핀척을 회전시키는 회전기구를 구비한다. 노즐은 액 공급원에서 공급된 액이 모이는 액 저장부와, 상기 액 저장부에 연통하는 다수의 가는 구멍을 가진다. 또한, 노즐의 인렛과 액공급원과의 사이의 연통로에 형성되고, 액저장부로의 압송액의 압력을 줄이는 공기 조작밸브를 가진다.
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公开(公告)号：KR100209564B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019910016059
申请日：1991-09-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 도시바 , 도꾜일렉트론큐슈리미티드
IPC: H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67173 , B05C5/005 , H01L21/6715
Abstract: 본 발명에 따른 액 도포 시스템은 액 공급원(13,14)과, 액 공급원(13,14)에 연통하는 노즐(8,30)을 구비한다. 노즐(8,30)은 액공급원(13,14)으로 부터 공급된 액이 모이는 액저장부(21)와, 액저장부(21)에 연통되고, 각 횡단면이 액저장부(21)보다 각각 작은 복수의 세관(22)과, 세관(22)의 각각에 연통되고, 세관(22)으로부터의 액의 흐름을 합류시키고, 반도체 웨이퍼(W)로 향하여 액을 연속적이며 또한 커튼 형상으로 토출하는 슬릿통로(24)를 가진다.
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