공정가스 분석장치
    2.
    发明申请
    공정가스 분석장치 审中-公开
    过程气体分析仪

    公开(公告)号:WO2017078504A2

    公开(公告)日:2017-05-11

    申请号:PCT/KR2016/012756

    申请日:2016-11-07

    CPC classification number: G01L19/00 G01N1/22 G01N21/03 G01N21/05 G01N21/25

    Abstract: 본 발명에 따른 공정가스 분석장치(100)는, 공정가스가 수집되도록 설치되는 가스셀(130); 가스셀(130) 내에 광을 조사하도록 가스셀(130)의 외부에 설치되는 광원부(110); 광원부(110)를 통하여 가스셀(130) 내에 조사되는 광을 가스셀(130) 내에 다중 반사시킨 후 가스셀(130) 외부로 인출하도록 설치되는 다반사 광학부(140); 및 다반사 광학부(140)에 의해 다중 반사된 후 가스셀(130) 외부로 인출되는 광을 수광받도록 가스셀(130)의 외부에 설치되는 광검출부(120); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 다반사 광학부(140)에 의해 광경로가 충분히 확보될 수 있기 때문에 소량의 공정가스에 대해서도 정밀한 정량 및 정성 분석이 가능하다. 또한, 광원부(110)와 광검출부(120)가 가스셀(130)의 외부에 분해조립 가능하게 설치되기 때문에 원하는 광분석 기법에 맞게 해당 광원부(110)와 광검출부(120)를 적절한 것으로 교체할 수 있어 다양한 분석기법을 활용할 수 있다.

    Abstract translation: 根据本发明的过程气体分析仪100包括:安装用于收集过程气体的气室130; 光源110,其安装在气室130的外部以照射气室130内的光; 多反射光学单元140,其被安装以便多次反射通过气室130中的光源单元110照射到气室130中的光并将气体吸入气室130外部; 光电探测器120,其安装在气室130的外部,以便在由多反射光学单元140多次反射之后接收发射到气室130的外部的光; 和一个控制单元。 根据本发明,因为可以通过多响应光学单元140充分确保光路,所以即使使用少量工艺气体也可以进行精确的定量和定性分析。 由于光源单元110和光检测单元120在气室130的外部被拆卸和组装,光源单元110和光学检测单元120可以根据期望的光学分析技术用适当的替换 您可以使用各种分析技术。

    입자 계수용 광학계
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102226532B1

    公开(公告)日:2021-03-11

    申请号:KR1020200135869

    申请日:2020-10-20

    Abstract: 입자계수용광학계가제공된다. 본발명의일 실시예에따른입자계수용광학계는, 광원에서조사된광을장축및 단축의길이가다른광으로입자를수용하는광학셀에송광하는송광부; 상기광학셀을통과하여광축방향으로출사되는광을수광하는제1 수광부; 및상기광학셀을통과하여상기광축에서기울어진방향으로출사되는광을수광하는제2 수광부를포함한다.

    반사형 분광분석 시스템의 시료 적재용 홀더 모듈
    6.
    发明公开
    반사형 분광분석 시스템의 시료 적재용 홀더 모듈 有权
    用于在反射光谱中加载样品的支架模块

    公开(公告)号:KR1020150041834A

    公开(公告)日:2015-04-20

    申请号:KR1020130120273

    申请日:2013-10-10

    Abstract: 본발명은근적외선을이용하여반사형분광분석시스템내에서측정시료를담는홀더모듈에관한것이다. 본발명은빛의도입을위한광 윈도우마운트, 시료를담을수 있는시료적재모듈, 높이를가변시킬수 있는높낮이조절마운트등의조합으로이루어진새로운형태의시료적재용모듈홀더를구현함으로써, 분광분석측정방법에맞게다양한광 윈도우재료들을선택및 적용할수 있고, 측정시료의다양한특징과형태를반영하여측정할수 있는등 분광분석의효율성을향상시킬수 있는반사형분광분석시스템의시료적재용홀더모듈을제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于使用近红外光在反射光谱分析系统中容纳测量样品的保持器模块。 保持器模块包括用于引入光的窗口安装件; 能够容纳样品的样本堆叠模块; 以及能够改变高度的高度调节安装座。 可以根据光谱分析测量方法选择和应用各种光窗材料。 此外,可以通过应用测量样品的各种特性和形状来进行测量。 因此,可以提高光谱分析效率。

    공정가스 분석장치
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101735300B1

    公开(公告)日:2017-05-16

    申请号:KR1020150154988

    申请日:2015-11-05

    CPC classification number: G01L19/00 G01N1/22 G01N21/03 G01N21/05 G01N21/25

    Abstract: 본발명에따른공정가스분석장치(100)는, 공정가스가수집되도록설치되는가스셀(130); 가스셀(130) 내에광을조사하도록가스셀(130)의외부에설치되는광원부(110); 광원부(110)를통하여가스셀(130) 내에조사되는광을가스셀(130) 내에다중반사시킨후 가스셀(130) 외부로인출하도록설치되는다반사광학부(140); 및다반사광학부(140)에의해다중반사된후 가스셀(130) 외부로인출되는광을수광받도록가스셀(130)의외부에설치되는광검출부(120); 를포함하여이루어지는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 다반사광학부(140)에의해광경로가충분히확보될수 있기때문에소량의공정가스에대해서도정밀한정량및 정성분석이가능하다. 또한, 광원부(110)와광검출부(120)가가스셀(130)의외부에분해조립가능하게설치되기때문에원하는광분석기법에맞게해당광원부(110)와광검출부(120)를적절한것으로교체할수 있어다양한분석기법을활용할수 있다.

    광학 렌즈 시스템의 액추에이터 장치
    8.
    发明公开
    광학 렌즈 시스템의 액추에이터 장치 无效
    光学透镜系统的执行器装置

    公开(公告)号:KR1020150128199A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:KR1020140055186

    申请日:2014-05-09

    CPC classification number: G02B7/04 G03B3/10 G11B7/1372

    Abstract: 본발명은광학렌즈시스템에서광학렌즈부의이송시에발생할수 있는오차를개선할수 있는액추에이터장치에관한것이다. 본발명은액추에이터작동시 발생할수 있는 X축및 Y축이격문제를제거하여, 스크류의홈 마모, 휨, 처짐, 열변위등이발생하더라도안정적으로 X축및 Y축의오차를최소화하면서 Z축으로왕복동력을전달할수 있는새로운형태의액추에이터수단을구현함으로써, 구조의단순화, 부품의최소화및 경제적이면서도정밀하게구동시킬수 있는등 신뢰성을더욱향상시킨광학렌즈시스템의액추에이터장치를제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及光学透镜系统的致动器装置,其能够改善通过传送光学透镜单元而发生的误差。 本发明实现了一种新型的致动器装置,其消除了在操作致动器时可能发生的x轴和y轴分离问题,使x轴和y轴的误差最小化,并将往复动力输送到z 即使发生凹槽的磨损,翘曲,下垂,热位移等发生,从而提高可靠性,简化结构,最小化部件,允许精确和经济的驾驶。

    반사형 분광분석 시스템의 시료 적재용 홀더 모듈
    10.
    发明授权
    반사형 분광분석 시스템의 시료 적재용 홀더 모듈 有权
    用于在反射光谱中加载样品的支架模块

    公开(公告)号:KR101559846B1

    公开(公告)日:2015-10-13

    申请号:KR1020130120273

    申请日:2013-10-10

    Abstract: 본발명은근적외선을이용하여반사형분광분석시스템내에서측정시료를담는홀더모듈에관한것이다. 본발명은빛의도입을위한광 윈도우마운트, 시료를담을수 있는시료적재모듈, 높이를가변시킬수 있는높낮이조절마운트등의조합으로이루어진새로운형태의시료적재용모듈홀더를구현함으로써, 분광분석측정방법에맞게다양한광 윈도우재료들을선택및 적용할수 있고, 측정시료의다양한특징과형태를반영하여측정할수 있는등 분광분석의효율성을향상시킬수 있는반사형분광분석시스템의시료적재용홀더모듈을제공한다.

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