公开(公告)号：WO2012136434A2

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：PCT/EP2012/053918

申请日：2012-03-07

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V. ,  DE JAGER, Pieter ,  BANINE, Vadim ,  ONVLEE, Johannes ,  STEVENS, Lucas ,  WUISTER, Sander ,  IOSAD, Nikolay

Inventor： DE JAGER, Pieter ,  BANINE, Vadim ,  ONVLEE, Johannes ,  STEVENS, Lucas ,  WUISTER, Sander ,  IOSAD, Nikolay

IPC: G02F1/29

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/29 ,  G03F7/704

Abstract: In an embodiment, a lithographic apparatus is disclosed that includes a modulator configured to expose an exposure area of the substrate to a plurality of beams modulated according to a desired pattern and a projection system configured to project the modulated beams onto the substrate. The modulator includes a deflector to displace the plurality of beams with respect to an exposure area.

Abstract translation: 在一个实施例中，公开了一种光刻设备，该光刻设备包括：调制器，被配置为将衬底的曝光区域暴露于根据期望的图案调制的多个束;以及投影系统，配置为将调制的 光束照射到基底上。 调制器包括偏转器，以使多个光束相对于曝光区域移位。

公开(公告)号：WO2012136434A3

公开(公告)日：2012-12-13

申请号：PCT/EP2012053918

申请日：2012-03-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  DE JAGER PIETER ,  BANINE VADIM ,  ONVLEE JOHANNES ,  STEVENS LUCAS ,  WUISTER SANDER ,  IOSAD NIKOLAY

Inventor： DE JAGER PIETER ,  BANINE VADIM ,  ONVLEE JOHANNES ,  STEVENS LUCAS ,  WUISTER SANDER ,  IOSAD NIKOLAY

IPC: G02F1/29 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/29 ,  G03F7/704

Abstract: In an embodiment, a lithographic apparatus is disclosed that includes a modulator configured to expose an exposure area of the substrate to a plurality of beams modulated according to a desired pattern and a projection system configured to project the modulated beams onto the substrate. The modulator includes a deflector to displace the plurality of beams with respect to an exposure area.

Abstract translation: 在一个实施例中，公开了一种光刻设备，其包括调制器，其被配置为将基板的曝光区域暴露于根据期望图案调制的多个光束;以及投影系统，该投影系统配置成将经调制的光束投影到基板上。 调制器包括偏转器，用于相对于曝光区域移位多个光束。

公开(公告)号：WO2008078979A1

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：PCT/NL2006/000663

申请日：2006-12-22

Applicant: OTB Group B.V. ,  IOSAD, Nikolay ,  DINGS, Franciscus, Cornelius

Inventor： IOSAD, Nikolay ,  DINGS, Franciscus, Cornelius

IPC: G09G3/32

CPC classification number: G09G3/3216 ,  G09G3/3225 ,  G09G2300/0465 ,  G09G2300/0885 ,  G09G2310/061 ,  G09G2320/0209 ,  G09G2320/0233 ,  G09G2320/043 ,  G09G2360/148

Abstract: An OLED display provided with a matrix of pixels, wherein the pixels each contain at least an anode and a cathode with a light-emitting layer between them, which light-emitting layer emits light when a voltage difference is applied between the anode and the cathode of the respective pixel, wherein, per pixel, an individually controllable control element is present, wherein the control element comprises a layer of material with a programmable resistance. The invention further provides a method for operating and manufacturing such an OLED display.

Abstract translation: 一种具有像素矩阵的OLED显示器，其中每个像素至少包含具有在它们之间的发光层的阳极和阴极，当在阳极和阴极之间施加电压差时，该发光层发光 ，其中每个像素存在独立可控制的控制元件，其中所述控制元件包括具有可编程电阻的材料层。 本发明还提供了一种用于操作和制造这种OLED显示器的方法。

公开(公告)号：WO2011015412A1

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：PCT/EP2010/059460

申请日：2010-07-02

Applicant: ASML Netherlands B.V. ,  IVANOV, Vitalii ,  DEN BOEF, Arie ,  BANINE, Vadim ,  SCACCABAROZZI, Luigi ,  IOSAD, Nikolay

Inventor： IVANOV, Vitalii ,  DEN BOEF, Arie ,  BANINE, Vadim ,  SCACCABAROZZI, Luigi ,  IOSAD, Nikolay

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/14 ,  G01N21/64 ,  G01N21/95

CPC classification number: G03F1/84 ,  G01N21/6408 ,  G01N21/6489 ,  G01N21/65 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G03F1/24

Abstract: Methods and systems for inspection of an object include the use of spectroscopic techniques for the detection of unwanted particles on an object's surface, based on the different responses of the unwanted particles as compared with the object to be inspected due to their different materials. Time resolved spectroscopy and/or energy resolved spectroscopy of secondary photon emission from the surface of the object can be used to obtain Raman and photoluminescence spectra. The objects to be inspected can for example be a patterning device as used in a lithographic process, for example a reticle, in which case the presence of metal, metal oxide or organic particles can be detected, for example. The methods and apparatus are highly sensitive, for example, being able to detect small particles (sub 100 nm, particularly sub 50 nm) on the patterned side of an EUV reticle.

Abstract translation: 用于检查物体的方法和系统包括使用光谱技术来检测物体表面上的不需要的颗粒，这是由于不同的物质与不同的物质相比，由于不同的物质而与被检查物体的不同响应。 可以使用来自物体表面的二次光子发射的时间分辨光谱和/或能量分辨光谱来获得拉曼和光致发光光谱。 待检查的物体可以是例如在光刻工艺中使用的图案形成装置，例如掩模版，在这种情况下，例如可以检测到金属，金属氧化物或有机颗粒的存在。 所述方法和装置是高度敏感的，例如能够检测EUV掩模版图案侧的小颗粒（小于100nm，特别是低于50nm）。

公开(公告)号：WO2023031369A1

公开(公告)日：2023-03-09

申请号：PCT/EP2022/074397

申请日：2022-09-01

Applicant: IOSAD, Nikolay

Inventor： IOSAD, Nikolay

IPC: H01L35/34 ,  H01L35/32

Abstract: A thermoelectric element (40), comprising a dielectric substrate (100) having a hole (120), wherein the hole has a first opening on a first side of the dielectric substrate and a second opening on a second side of the dielectric substrate; a first metallisation pad (111) and a second metallisation pad (112) on the first side, wherein the first opening is between the first metallisation pad and the second metallisation pad; a planar thermoelectric layer (101) above the hole, wherein the planar thermoelectric layer has an interface with the first metallisation pad and an interface with the second metallisation pad, wherein both interfaces are in the same plane.

公开(公告)号：DE102021209656B3

公开(公告)日：2022-09-29

申请号：DE102021209656

申请日：2021-09-02

Applicant: IOSAD NIKOLAY

Inventor： IOSAD NIKOLAY

IPC: H01L35/08 ,  F25B21/02 ,  H01L35/32 ,  H01L35/34

Abstract: Thermoelektrisches Element, umfassend ein dielektrisches Substrat mit einem Loch, ein erstes Metallisierungspad und ein zweites Metallisierungspad auf einer ersten Seite des dielektrischen Substrats, ein drittes Metallisierungspad und ein viertes Metallisierungspad auf einer zweiten Seite des dielektrischen Substrats, wobei eine erste thermoelektrische Schicht in direktem Kontakt mit dem ersten Metallisierungspad und dem zweiten Metallisierungspad steht, eine zweite thermoelektrische Schicht, die in direktem Kontakt mit dem dritten Metallisierungspad und dem vierten Metallisierungspad steht, wobei die erste thermoelektrische Schicht und die zweite thermoelektrische Schicht unterschiedliche Leitfähigkeitstypen aufweisen, einander in dem Loch kontaktieren und dadurch einen p-n-Übergang bilden.

公开(公告)号：EP4396858A1

公开(公告)日：2024-07-10

申请号：EP22773163.5

申请日：2022-09-01

Applicant: Iosad, Nikolay

Inventor： Iosad, Nikolay

IPC: H01L

CPC classification number: H10N10/817 ,  H10N10/01 ,  H10N10/17