公开(公告)号：KR101870272B1

公开(公告)日：2018-06-25

申请号：KR1020160123800

申请日：2016-09-27

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  이희관 ,  이근우 ,  이기정 ,  전진국

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/28 ,  G01R3/00

Abstract: 본발명은반도체소자테스트용플렉시블컨택터에관한것으로서, 반도체소자의단자와검사장비의검사회로기판사이에서전기적으로접속되어반도체소자를테스트하는컨택터에있어서, 상기반도체소자의단자에대응되는위치에소정깊이의보상공간부가복수개로형성된플렉시블기판및 상기보상공간부상단에위치되고외측부는상기플렉시블기판상에서지지되어, 상기반도체소자의단자의접촉압력을분산시키도록형성된전기접촉부를포함하여이루어진것을특징으로하는스트로크보상이가능한반도체소자테스트용플렉시블컨택터및 그제조방법을기술적요지로한다. 이에의해플렉시블기판내에보상공간부를형성하고, 상기보상공간부상측에전기접촉부가지지되도록형성하여, 제조방법이간단하며, 반도체소자의단자와의접촉압력을균형적으로분산시켜스트로크보상이가능하여반도체소자테스트시 신뢰성을향상시키고반도체소자를보호하는이점이있다.

公开(公告)号：KR1020180034757A

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：KR1020160123800

申请日：2016-09-27

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  이희관 ,  이근우 ,  이기정 ,  전진국

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/28 ,  G01R3/00

CPC classification number: G01R1/067 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/0735 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2886

Abstract: 본발명은반도체소자테스트용플렉시블컨택터에관한것으로서, 반도체소자의단자와검사장비의검사회로기판사이에서전기적으로접속되어반도체소자를테스트하는컨택터에있어서, 상기반도체소자의단자에대응되는위치에소정깊이의보상공간부가복수개로형성된플렉시블기판및 상기보상공간부상단에위치되고외측부는상기플렉시블기판상에서지지되어, 상기반도체소자의단자의접촉압력을분산시키도록형성된전기접촉부를포함하여이루어진것을특징으로하는스트로크보상이가능한반도체소자테스트용플렉시블컨택터및 그제조방법을기술적요지로한다. 이에의해플렉시블기판내에보상공간부를형성하고, 상기보상공간부상측에전기접촉부가지지되도록형성하여, 제조방법이간단하며, 반도체소자의단자와의접촉압력을균형적으로분산시켜스트로크보상이가능하여반도체소자테스트시 신뢰성을향상시키고반도체소자를보호하는이점이있다.

Abstract translation: 一种用于测试半导体器件的接触器，所述半导体器件电连接在半导体器件的端子和检查设备的检查电路板之间，所述接触器包括： 并且，在柔性基板上设置有电气接触部，该电气接触部被支撑在柔性基板上并形成为分散半导体元件的端子的接触压力， 本发明涉及一种用于测试能够行程补偿的半导体器件的柔性接触器及其制造方法。 形成在由柔性基板的补偿空间的部分，并且形成为使得没有电接触，以补偿空间部侧，而且生产过程简单，并且由半导体元件的端子之间的接触压力分布到平衡可能冲程补偿半导体元件 这具有提高测试和保护半导体器件可靠性的优点。