公开(公告)号：KR1020080018518A

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：KR1020060080744

申请日：2006-08-24

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 유재연 ,  강인철 ,  김정훈

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1309 ,  B23K26/06

Abstract: A device and a method for correcting a defect of a substrate are provided to project a laser beam to a pattern defect or a protrusion defect at a high repetition rate through a laser having a microwave laser pulse, and correct various protrusion defects through a galvano scanner. A laser generator(1) generates a laser beam having a microwave laser pulse. A first galvano mirror receives and reflects the laser beam, rotating centering on a first shaft. A second galvano mirror receives and reflects the laser beam reflected from the first galvano mirror, rotating centering on a second shaft. A rotation control unit controls rotation of the first galvano mirror and the second galvano mirror to project the laser beam to an area where a defect exists on a substrate.

Abstract translation: 提供一种用于校正衬底的缺陷的装置和方法，以通过具有微波激光脉冲的激光将激光束以高重复率投影到图案缺陷或突出缺陷，并通过电流扫描器校正各种突出缺陷 。 激光发生器（1）产生具有微波激光脉冲的激光束。 第一电流镜接收和反射激光束，以第一轴为中心旋转。 第二电流镜接收并反射从第一电流镜反射的激光束，以第二轴为中心旋转。 旋转控制单元控制第一电流镜和第二电流镜的旋转，以将激光束投射到衬底上存在缺陷的区域。

公开(公告)号：KR100814276B1

公开(公告)日：2008-03-18

申请号：KR1020060080744

申请日：2006-08-24

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 유재연 ,  강인철 ,  김정훈

IPC: G02F1/13

Abstract: 기판 결함 수정장치 및 방법이 개시된다. 기판 상의 결함이 존재하는 영역에 레이저 빔을 조사하여 결함을 수정하는 장치로서, 극초단 레이저 펄스를 갖는 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부와, 레이저 빔을 수광하여 반사시키며, 제1 축을 중심으로 회전하는 제1 갈바노 미러와, 제1 갈바노 미러로부터 반사된 레이저 빔을 수광하여 반사시키며, 제2 축을 중심으로 회전하는 제2 갈바노 미러와, 제1 갈바노 미러 및 제2 갈바노 미러의 회전을 제어하여 레이저 빔이 기판 상의 결함이 존재하는 영역에 조사되도록 하는 회전 제어부를 포함하는 기판 결함 수정장치는, 극초단 레이저 펄스를 갖는 피코세컨드 또는 펨토세컨드 레이저를 이용하여 초당 수 내지 수십 kHz에 이르는 높은 반복율(Repetition rate)로 패턴결함이나 돌기결함과 같은 가공 대상에 조사하고, 갈바노 미러를 이용하여 다양한 형태의 돌기결함에 대한 수정이 가능하다.
극초단 레이저 펄스, 피코세컨드 레이저, 펨토세컨드 레이저, 컬러필터, 액정표시장치