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公开(公告)号：WO2010011088A2
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：PCT/KR2009/004090
申请日：2009-07-23
IPC: H01L31/042
CPC classification number: H01L31/206 , B23K26/14 , B23K26/142 , H01L31/046 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 솔라셀 패널 제조장치 및 제조방법이 개시된다. 복수의 에어 분사구가 형성되어 로딩되는 기판을 부상시키는 지지 테이블과, 지지 테이블의 상부에 위치하며, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 가공부와, 지지 테이블의 하부에 위치하며, 레이저에 의해 기판으로부터 발생하는 파티클을 수집하는 석션부를 포함하는 솔라셀 패널 제조장치는, 솔라셀 패널을 지지 테이블 상에 부상시켜 로딩 및 이송함으로써 기판이 테이블에 물리적으로 접촉하지 않아 증착층의 스크래치(scratch)나 데미지(damage) 등의 손상을 미연에 방지할 수 있고, 증착층이 아래를 향하도록 기판을 로딩하고 그 상부에서 레이저를 조사하고 그 하부에서 파티클을 석션함으로써 레이저 식각에 의해 발생하는 파티클을 효과적으로 제거하여 패턴 간의 쇼트가 발생하지 않고 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种用于制造太阳能电池板的装置和方法。 太阳能电池板制造装置包括：支撑台，其中形成有多个空气喷射口以提升装载的基板;激光处理单元，其被放置在支撑台的上部并将激光照射在基板上; 单元，其放置在支撑台的下部，并且通过激光收集从基板产生的颗粒。 太阳能电池板制造装置将太阳能电池板提升到支撑台，以便加载和转移它，从而通过防止基板和工作台之间的物理接触，可以预先防止对沉积层的划伤或损坏。 由于太阳能电池板制造装置将沉积层面向下的基板负载，并且在其顶部照射激光并吸附其底部的颗粒，因此不会发生图案之间的短路，并且由于 有效去除由激光蚀刻引起的颗粒。
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公开(公告)号：KR101283557B1
公开(公告)日：2013-07-15
申请号：KR1020100047421
申请日：2010-05-20
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , H05K3/46 , H01L21/027
Abstract: 여러 층이 적층된 다층기판에 대하여 복수 파장의 레이저빔을 조사하여 가공하는 레이저 가공장치에 있어서, 서로 다른 파장의 레이저빔을 조사하는 복수의 레이저광원과, 일차원 원형 빔 또는 사각형 빔을 조사하여 스테이지에 거치된 다층기판의 일부 층을 1차 가공하고, 1차 가공에 의해 노출된 영역에 일차원 원형 빔 또는 사각형 빔보다 작거나 큰 단면적을 가지는 레이저 빔을 조사하여 다층기판의 동일 지점에 대하여 나머지 층 전부 혹은 일부를 2차 가공하는 빔 조사부를 포함하는 레이저 가공장치가 제공된다. 이에 의하면, 다층기판 가공 중에 사용되는 서로 다른 파장을 가지는 복수의 레이저빔을 동축으로 입사시키는 구조를 가지며, 2회 이상의 반복동작이 요구되던 레이저 가공 과정을 1회로 단순화함으로써 가공시간을 단축시키는 것이 가능하다.
Abstract translation: 目的：提供一种激光加工设备，通过简化激光加工程序来缩短制造时间。 构成：激光加工装置包括第一激光光源（10a），第二激光光源（10b）和光束激发单元。 第一激光光源照射第一波长的激光束。 第二激光光源用具有第一波长的激光束照射具有不同光轴的第二波长的激光束。 光束激光单元改变通道，使得第一波长的激光束具有与第二波长的激光束相同的光轴，并将第一波长的激光束和第二波长的激光束照射在第二波长的激光束中 多层板（1）为同轴。
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公开(公告)号：KR101476722B1
公开(公告)日：2014-12-29
申请号：KR1020130079022
申请日：2013-07-05
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: G09G5/02
Abstract: A method for processing measured color data of a display device is provided. A method for processing measured color data of a display device is a method for measuring color displayed on a display device using a photodiode sensor having a filter and converting the generated measured color data into X, Y and Z values on a CIE color space, which includes: (a) a step of setting a conversion function (f) between measured color data and X, Y, Z values; (b) a step of obtaining the measured color data and setting an input value with reference to a preset look up table based on the measured color data; (c) a step of determining whether the input value is the root which satisfies the conversion function or not; (d) a step of setting an estimated value with reference to the look up table based on the input value, if the input value is not the root; and (e) a step of successively performing steps (c) to (d) by replacing the input value with the estimated value to make the estimated value satisfy the conversion function. In processing the measured color data of the image display device, a multivariable interpolation method, which is capable of processing non-normal distribution data to correct colors which are desired by a user, can be used.
Abstract translation: 提供了一种用于处理显示装置的测量颜色数据的方法。 用于处理显示装置的测量的颜色数据的方法是使用具有滤光器的光电二极管传感器来测量在显示装置上显示的颜色的方法，并将生成的测量的颜色数据转换为CIE色彩空间中的X，Y和Z值， 包括：（a）在测量的颜色数据与X，Y，Z值之间设置转换函数（f）的步骤; （b）基于测量的颜色数据参考预设的查找表获取测量的颜色数据并设置输入值的步骤; （c）确定输入值是否满足转换功能的根的步骤; （d）如果输入值不是根，则基于输入值参考查找表设置估计值的步骤; 以及（e）通过用所述估计值替换所述输入值来连续执行步骤（c）至（d）的步骤，以使所述估计值满足所述转换功能。 在处理图像显示装置的测量颜色数据时，可以使用能够处理非正态分布数据以校正用户期望的颜色的多变量插值方法。
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公开(公告)号：KR101472298B1
公开(公告)日：2014-12-15
申请号：KR1020130079025
申请日：2013-07-05
Applicant: (주)미래컴퍼니
CPC classification number: H04N17/02 , G01J2001/446 , H04N9/64
Abstract: 디스플레이 장치의 색 측정 데이터 수집 방법이 개시된다. 디스플레이 장치에 표시되는 색을 센싱 장치로 측정하기 위하여 데이터를 수집하는 방법으로서, (a) 디스플레이 장치의 구동과 센싱 장치의 작동을 동기화하는 단계, (b) 센싱 장치를 작동시켜, 디스플레이 장치에 표시된 색에 관한 복수의 데이터를 획득하는 단계, (c) 복수의 데이터를 제1 기준에 따라 정렬하는 단계, 및 (d) 디스플레이 장치의 색 측정 데이터로서, 정렬된 복수의 데이터 중에서 제2 기준에 따라 데이터를 선별하는 단계를 포함하는 디스플레이 장치의 색 측정 데이터 수집 방법은, 삼자극 색도계를 이용하여 영상 디스플레이 장치의 색 측정을 수행함에 있어서, 디스플레이 장치의 BLU의 구형파 발진 형태 및 주기가 달라지더라도 수집되는 색 측정 데이터의 편차를 최소화할 수 있어, 정확한 색 측정 및 XYZ값 계산이 가능하다.
Abstract translation: 公开了一种用于收集从显示装置测量的颜色数据的方法。 收集用于测量使用感测装置在显示装置中表示的颜色的数据的方法包括以下步骤：（a）使显示装置的驱动与感测装置的操作同步; （b）通过致动感测装置来获取与显示装置上表示的颜色相关的多个数据; （c）根据第一参考来排列数据; 以及（d）根据第二参考来选择用作显示设备的颜色测量数据并从多个数据中选择的数据。 当使用三刺激色度计测量图像显示装置的颜色时，即使显示装置的黑色光单元（BLU）的振荡形状和方波的周期改变，所收集的颜色的偏差 测量数据可以最小化，从而可以精确测量颜色，并可以计算XYZ值。
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公开(公告)号：KR101214046B1
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：KR1020100073793
申请日：2010-07-30
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: B23K26/16 , B23K26/402 , B23K26/08 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 다층기판을가공하는레이저가공장치가개시된다. 다층기판을지지하는지지테이블과, 지지테이블상에지지되는다층기판에대하여스캐너에의해조정된위치로레이저빔을조사하는레이저가공부와, 제1 주행축을따라왕복이동가능하며, 레이저가공부가제1 주행축과교차하는제2 주행축을따라왕복이동가능하도록결합되는갠트리유닛과, 레이저가공부와다층기판사이에위치하며, 레이저빔에의해다층기판으로부터발생되는분진을집진하는집진부를포함하되, 집진부에는레이저빔이조사되어레이저가공되는가공영역에대응되는형상을가지고레이저빔을관통시키는개구부가형성되어있는것을특징으로하는레이저가공장치에의, 다층기판의레이저가공시 레이저빔이기판을투과하지않고기판에증착된물질과직접반응하여해당물질을제거할때 발생하는분진을집진함에있어서기구물구성을최소화하며, 진공형성을위한집진용량을최소화하고, 집진유량을높임으로써집진효율을극대화할수 있다.
Abstract translation: 公开了一种用于处理多层基板的激光加工设备。 和用于支撑多层基板，支撑激光一个支撑台，研究相对于被支撑在其上照射在由扫描仪的调整后的位置的激光束的表多层基板，第一驱动沿轴线往复运动，并且激光进行了研究 如权利要求位于台架单元之间并且激光进行了研究，其沿着所述第二行进交叉的第一驱动轴，以便往复运动耦合，所述多层基板，包括：灰尘用于通过激光束收集从多层基板所产生的粉尘收集部 其中，集尘单元设置有用于使激光束穿过激光束的开口，所述激光束具有与激光束照射的加工区域对应的形状并且被激光加工。 它将收集当材料直接与沉积在基材上的物质直接反应而不渗透的产生的灰尘的设备结构最小化， 最小化的二进制容量，它可以通过增加的集尘率收集效率最大化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101094324B1
公开(公告)日：2011-12-19
申请号：KR1020100039906
申请日：2010-04-29
Applicant: (주)미래컴퍼니
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 박막형 태양전지의 제조방법 및 레이저 가공장치가 개시된다. 일 실시예에 따른 레이저 가공장치는, 적재된 박막형 태양전지 기판을 지지하면서 제1 주행축을 따라 왕복 이동가능한 이송테이블과, 작업 영역의 일부가 서로 중첩되는 복수의 레이저 유닛을 포함하는 레이저 통합부와, 제1 주행축과 교차하여 형성된 제2 주행축을 따라 레이저 통합부를 왕복 이동시키는 갠트리 유닛을 포함할 수 있으며, 아이솔레이션 공정과 에지 딜리션 공정을 통합하여 하나의 장비에서 수행가능하도록 시스템 통합함으로써 택트 타임을 단축시키고 전체적인 제조 비용을 절감할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020110129321A
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：KR1020100073793
申请日：2010-07-30
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: B23K26/16 , B23K26/402 , B23K26/08 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A laser processing apparatus for a multilayer substrate is provided to efficiently collect dust because a dust collecting unit is always located directly above a processing area. CONSTITUTION: A laser processing apparatus for a multilayer substrate comprises a support table(40) for supporting a multilayer substrate, a laser processing unit(10) which irradiates a laser beam to a position of the multilayer substrate regulated by a scanner, a gantry unit(30) which reciprocates along a first transfer axis(45) and is mounted with the laser processing unit to reciprocate along a second transfer axis(35) crossing the first transfer axis, and a dust collecting unit(20) which is located between the laser processing unit and the multilayer substrate and collects dust produced from the multilayer substrate by the laser beam.
Abstract translation: 目的：提供一种用于多层基板的激光加工设备，用于有效地收集灰尘，因为灰尘收集单元始终位于处理区域正上方。 构成：用于多层基板的激光加工装置包括用于支撑多层基板的支撑台（40），激光处理单元（10），其将激光束照射到由扫描仪调节的多层基板的位置，台架单元 （30），其沿着第一传送轴线（45）往复运动，并且安装有所述激光加工单元，沿着与所述第一传送轴线交叉的第二传送轴线（35）往复运动;以及集尘单元（20），其位于 激光加工单元和多层基板，并通过激光束收集由多层基板产生的灰尘。
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公开(公告)号：KR1020110127910A
公开(公告)日：2011-11-28
申请号：KR1020100047421
申请日：2010-05-20
Applicant: (주)미래컴퍼니
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , H05K3/46 , H01L21/027
CPC classification number: B23K26/0626 , B23K26/0613 , G03F7/2004 , H01L21/0275 , H05K3/4602
Abstract: PURPOSE: A laser processing apparatus is provided to reducing the manufacturing time by simplifying the laser processing procedure to one time. CONSTITUTION: A laser processing apparatus comprises a first laser light source(10a), a second laser light source(10b) and a beam lasing unit. The first laser light source irradiates the laser beam of a first wave length. The second laser light source irradiates the laser beam of a second wavelength having a different optical axis with the laser beam of the first wave length. The beam lasing unit changes a passage in order that the laser beam of the first wave length have the same optical axis as the laser beam of the second wavelength and irradiates the laser beam of the first wave length and laser beam of the second wavelength in a multi-layer plate(1) as the same axis.
Abstract translation: 目的：提供一种激光加工设备，通过简化激光加工程序来缩短制造时间。 构成：激光加工装置包括第一激光光源（10a），第二激光光源（10b）和光束激发单元。 第一激光光源照射第一波长的激光束。 第二激光光源用具有第一波长的激光束照射具有不同光轴的第二波长的激光束。 光束激光单元改变通道，使得第一波长的激光束具有与第二波长的激光束相同的光轴，并将第一波长的激光束和第二波长的激光束照射在第二波长的激光束中 多层板（1）为同轴。
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公开(公告)号：KR101006747B1
公开(公告)日：2011-01-10
申请号：KR1020080072006
申请日：2008-07-24
Applicant: (주)미래컴퍼니
CPC classification number: H01L31/206 , B23K26/14 , B23K26/142 , H01L31/046 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 솔라셀 패널 제조장치 및 제조방법이 개시된다. 복수의 에어 분사구가 형성되어 로딩되는 기판을 부상시키는 지지 테이블과, 지지 테이블의 상부에 위치하며, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 가공부와, 지지 테이블의 하부에 위치하며, 레이저에 의해 기판으로부터 발생하는 파티클을 수집하는 석션부를 포함하는 솔라셀 패널 제조장치는, 솔라셀 패널을 지지 테이블 상에 부상시켜 로딩 및 이송함으로써 기판이 테이블에 물리적으로 접촉하지 않아 증착층의 스크래치(scratch)나 데미지(damage) 등의 손상을 미연에 방지할 수 있고, 증착층이 아래를 향하도록 기판을 로딩하고 그 상부에서 레이저를 조사하고 그 하부에서 파티클을 석션함으로써 레이저 식각에 의해 발생하는 파티클을 효과적으로 제거하여 패턴 간의 쇼트가 발생하지 않고 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
솔라셀, 기판, 부상, 에어 플로팅, 레이저-
公开(公告)号：KR1020130073050A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：KR1020110140695
申请日：2011-12-23
Applicant: (주)미래컴퍼니
Abstract: PURPOSE: An apparatus for laser processing and a method for generating corrected data are provided to increase the precision of position correction and reduce the time required for the correction by automatizing the work of position correction which needs manual labor and repetitive movement. CONSTITUTION: An apparatus for laser processing comprises a stage (130), a mask (145), a camera unit and a mirror for photographing (150). The camera unit is attached to a first side wall of the stage and generates image data for an image taken by a laser beam and focused on the mask. The mirror for photographing is located at a certain angle in the lower part of the mask so that the image focused on the mask can be displayed on the camera unit for the generation of image data. [Reference numerals] (170) Control unit
Abstract translation: 目的：提供一种用于激光加工的设备和产生校正数据的方法，以提高位置校正的精度，并通过自动化需要手工劳动和重复运动的位置校正工作来减少校正所需的时间。 构成：用于激光处理的装置包括台（130），掩模（145），相机单元和用于拍摄的镜（150）。 照相机单元附接到舞台的第一侧壁，并且生成由激光束拍摄并被聚焦在面罩上的图像的图像数据。 用于拍摄的镜子在掩模的下部位于一定角度，使得聚焦在掩模上的图像可以显示在相机单元上以产生图像数据。 （附图标记）（170）控制单元
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