公开(公告)号：WO2016003153A1

公开(公告)日：2016-01-07

申请号：PCT/KR2015/006690

申请日：2015-06-30

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  정용철 ,  이상덕 ,  김희묵 ,  김성훈 ,  권태규

IPC: G01R29/24

CPC classification number: G01R29/24

Abstract: 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치가 제안된다. 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"가 제안된다. 제안된 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.

Abstract translation: 提出了用于检测带电体中的静电电荷的检测器及其测量装置。 更具体地，提供了一种“用于检测带电体中的静电荷的检测器及其测量装置”，其能够通过使用导电快门板来检测和测量存在于带电体中的静电电荷的量 以预定间隔打开和关闭与被充电体隔开预定距离的导电板，以在导电板中产生预定电流，并将电流转换成用于测量电压的电压。 当使用所提出的用于检测带电体中的静电电荷的检测器及其测量装置时，可以实时地检测存在于带电体中的静电电荷量，从而可以在充电体 例如晶片或显示器具有超过一定水平的静电电荷。 另外，由于检测器可以制造成小尺寸，所以具有可以容易地安装在狭窄的空间中的优点。

公开(公告)号：KR101554509B1

公开(公告)日：2015-09-22

申请号：KR1020140081572

申请日：2014-07-01

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  정용철 ,  이상덕 ,  김희묵 ,  김성훈 ,  권태규

IPC: G01R29/24

CPC classification number: G01R29/24

Abstract: [목적]
본 발명은 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"에 관한 것이다.
[구성]
본 발명에서 제안하는 대전체의 정전기를 측정하기 위한 정전하 감지기는 대전체와 상기 대전체의 정전기에 의하여 소정의 전하가 유도되는 도전판 사이에 배치되어 상기 대전체와 대향하는 상기 도전판의 소정 영역을 주기적으로 차폐하면서 회전하는 도전성 차폐판을 구비하며, 상기 도전성 차폐판의 일측에 연결된 도전막대에 부설되어 있는 영구자석의 극성 방향을 전자석을 이용하여 회전시킴으로써 상기 도전막대를 회전시키고 상기 도전막대의 회전에 따라 상기 도전성 차폐판이 회전한다.
[효과]
본 발명에 따른 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있으며, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于带电体的静电荷传感器和静电电荷测量装置，更具体地说，涉及一种静电荷传感器和用于带电体的静电电荷测量装置，所述静电荷传感器和静电电荷测量装置使用打开和关闭 导电板以规定的频率从带电体分离规定的距离，以在导电板中产生规定的电流，并将电流转换成电压，以测量电压以感测并测量带电体中存在的静电电荷的量。 根据本发明的用于测量带电体的静电的静电电荷传感器包括设置在带电体和导电板之间的导电屏蔽板，其中通过带电体的静电引起规定的电荷以周期性地旋转并屏蔽 所述导电板的面向所述带电体的规定区域，并且使用电磁体旋转安装在与所述导电屏蔽板的一侧连接的导电棒上的永磁体的极性方向，以旋转所述导电棒并使所述导电屏蔽板 根据传导杆的旋转。 如果使用根据本发明的静电电荷传感器和用于带电体的静电电荷测量装置，由于可以实时检测带电体中存在的静电电荷量，因此可以立即采取充电 主体，例如具有高于或等于一定水平的静电的晶片或显示器。 并且由于静电荷传感器可以制造成小尺寸，所以静电荷传感器可以方便地安装在较小的空间中。