公开(公告)号：KR101479970B1

公开(公告)日：2015-01-08

申请号：KR1020120067165

申请日：2012-06-22

Applicant: (주)엘립소테크놀러지

Inventor： 김상열 ,  윤희규 ,  김상준

IPC: G01N21/956 ,  G01B9/04

Abstract: 본 발명은 현미경을 이용한 터치스크린 패널의 ITO 패턴 검사방법에 관한 것으로서, 투광성 기판 상에 ITO 패턴이 형성된 시료를 준비하는 단계, 200 ~ 450 nm 대역의 광원을 상기 시료에 조사하는 단계, 상기 광원 파장대역의 촬상소자를 이용하여 상기 시료를 촬상하는 단계 및 상기 촬상소자의 출력 신호에 기초하여 상기 ITO 패턴 형상을 포함하는 영상 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 현미경 영상에서 투명 유리기판과 투명 ITO 패턴 간의 콘트라스트 차이가 극대화됨에 따라 투명 ITO 패턴의 형상이 선명하게 표출되므로 투명 ITO 패턴의 정상 형성 여부를 보다 용이하게 알아낼 수 있고 그에 따라 전극패턴 검사시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020140000380A

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：KR1020120067165

申请日：2012-06-22

Applicant: (주)엘립소테크놀러지

Inventor： 김상열 ,  윤희규 ,  김상준

IPC: G01N21/956 ,  G01B9/04

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01B9/04 ,  G01N21/958

Abstract: The present invention relates to a method for inspecting an ITO pattern of a touch-screen panel using a microscope, comprising the steps of: preparing a sample having an ITO pattern formed on a transparent substrate; irradiating light having a wavelength of 200 to 450 nm to the sample; photographing the sample using an imaging device having the wavelength range of the light; and generating image data including the ITO pattern based on the output signals of the imaging device. The present invention can easily judge whether or not the transparent ITO pattern is normally formed, and can reduce time for inspecting an electrode pattern greatly because the transparent ITO pattern sharpens as contrast between the transparent glass substrate and the transparent ITO pattern in the microscopic image is maximized.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用显微镜检查触摸屏面板的ITO图案的方法，包括以下步骤：准备在透明基板上形成ITO图案的样品; 向样品照射波长为200〜450nm的光; 使用具有光的波长范围的成像装置拍摄样品; 以及基于成像装置的输出信号生成包括ITO图案的图像数据。 本发明可以容易地判断透明ITO图案是否正常形成，并且由于透明ITO图案在显微镜图像中的透明玻璃基板和透明ITO图案之间的对比度是锐化，因此可以大大减少检查电极图案的时间 最大化。