-
公开(公告)号：KR102229335B1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190054115A
申请日：2019-05-09
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
CPC classification number: G01N21/211 , G01J4/04 , G01N21/21 , G01N21/27 , G01N21/274 , G01N2021/213
Abstract: 본 발명은 개구수가 큰 광학소자들에 의한 편광상태의 변화 및 타원상수의 왜곡을 보정하여 측정 정확도를 높일 수 있는 마이크로 스폿 분광타원법을 제공함에 있다.
이를 위한, 고배율 광학계를 적용하는 마이크로 스폿 분광타원계의 왜곡 보정 방법은 고배율 광학계에 의한 왜곡 크기를 구하는 단계, 상기 고배율 광학계에 의한 왜곡 크기를 이용하여 이상적인 타원상수를 계산하는 단계 및 상기 계산된 이상적인 타원상수를 이용하여 시료의 분광타원 데이터를 보정 및 적용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020200129545A
公开(公告)日：2020-11-18
申请号：KR1020190054115
申请日：2019-05-09
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
Abstract: 본발명은개구수가큰 광학소자들에의한편광상태의변화및 타원상수의왜곡을보정하여측정정확도를높일수 있는마이크로스폿분광타원법을제공함에있다. 이를위한, 고배율광학계를적용하는마이크로스폿분광타원계의왜곡보정방법은고배율광학계에의한왜곡크기를구하는단계, 상기고배율광학계에의한왜곡크기를이용하여이상적인타원상수를계산하는단계및 상기계산된이상적인타원상수를이용하여시료의분광타원데이터를보정및 적용하는단계를포함하는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR101922973B1
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：KR1020170012035
申请日：2017-01-25
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
Abstract: 본발명은 4개의반사경으로이루어지는집속광학계를편광제어모듈과시료사이및 시료와검광자모듈사이에배치하여광축의변화없이광학계의크기를증가시키지않고도시료에조사되는집속광을스폿형태로조사할수 있도록하는 4-반사경을적용한마이크로스폿분광타원계에관한것으로서, 광원에서발생된광을제어된편광상태로편광시키는편광제어모듈, 편광된광을시료에집속시키도록 4개의반사경으로구성되는제 1 집속광학계, 제 1 집속광학계로부터의집속광을입사받아광학적특성에따라편광상태를변화시키는시료, 제 1 집속광학계와대칭적으로위치하고, 시료의표면에서반사하여발산하는빛을평행광으로변환시키도록 4개의반사경으로구성되는제 2 집속광학계, 제 2 집속광학계를통해변환된광의편광상태를검지하는검광자모듈, 검지된광을파장별로분광시킨후, 분광된광의파장별광량을측정하기위한분광기로구성될수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020180087691A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020170012035
申请日：2017-01-25
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
Abstract: 본발명은 4개의반사경으로이루어지는집속광학계를편광제어모듈과시료사이및 시료와검광자모듈사이에배치하여광축의변화없이광학계의크기를증가시키지않고도시료에조사되는집속광을스폿형태로조사할수 있도록하는 4-반사경을적용한마이크로스폿분광타원계에관한것으로서, 광원에서발생된광을제어된편광상태로편광시키는편광제어모듈, 편광된광을시료에집속시키도록 4개의반사경으로구성되는제 1 집속광학계, 제 1 집속광학계로부터의집속광을입사받아광학적특성에따라편광상태를변화시키는시료, 제 1 집속광학계와대칭적으로위치하고, 시료의표면에서반사하여발산하는빛을평행광으로변환시키도록 4개의반사경으로구성되는제 2 집속광학계, 제 2 집속광학계를통해변환된광의편광상태를검지하는검광자모듈, 검지된광을파장별로분광시킨후, 분광된광의파장별광량을측정하기위한분광기로구성될수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020140000380A
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：KR1020120067165
申请日：2012-06-22
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
IPC: G01N21/956 , G01B9/04
CPC classification number: G01N21/956 , G01B9/04 , G01N21/958
Abstract: The present invention relates to a method for inspecting an ITO pattern of a touch-screen panel using a microscope, comprising the steps of: preparing a sample having an ITO pattern formed on a transparent substrate; irradiating light having a wavelength of 200 to 450 nm to the sample; photographing the sample using an imaging device having the wavelength range of the light; and generating image data including the ITO pattern based on the output signals of the imaging device. The present invention can easily judge whether or not the transparent ITO pattern is normally formed, and can reduce time for inspecting an electrode pattern greatly because the transparent ITO pattern sharpens as contrast between the transparent glass substrate and the transparent ITO pattern in the microscopic image is maximized.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用显微镜检查触摸屏面板的ITO图案的方法，包括以下步骤：准备在透明基板上形成ITO图案的样品; 向样品照射波长为200〜450nm的光; 使用具有光的波长范围的成像装置拍摄样品; 以及基于成像装置的输出信号生成包括ITO图案的图像数据。 本发明可以容易地判断透明ITO图案是否正常形成，并且由于透明ITO图案在显微镜图像中的透明玻璃基板和透明ITO图案之间的对比度是锐化，因此可以大大减少检查电极图案的时间 最大化。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100594368B1
公开(公告)日：2006-06-30
申请号：KR1020040063380
申请日：2004-08-12
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
IPC: G01B11/27
Abstract: 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법에 있어서, 상기 시료의 후단에 위치한 보정기의 위상지연각을 미리 설정된 값으로 조절하는 단계, 광원과 상기 시료의 사이에 위치한 편광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계, 상기 광도가 최대일 때의 상기 편광자의 방위각을 산출하는 단계, 상기 편광자를 고정시킨 상태에서 상기 보정기를 상기 위상지연판의 방위각 근방에서 소정의 회전각도씩 회전시키는 단계, 상기 보정기의 각 방위각에서 상기 보정기의 후단에 위치한 검광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계, 상기 광도가 최대일 때의 상기 검광자의 방위각을 산출하는 단계 및 상기 산출된 편광자의 방위각 및 검광자의 방위각으로부터 상기 편광판과 위상지연판의 광축 정렬 오차를 산출하는 단계를 포함한다.
편광, 위상, 지연, 위상지연판, 보정, LCD, 오차, 광축.-
公开(公告)号：KR100395442B1
公开(公告)日：2003-08-21
申请号：KR1020010079681
申请日：2001-12-15
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
IPC: G01J4/00
Abstract: PURPOSE: An ultra high-speed spectroscopic ellipsometer is provided to improve productivity and quality of articles, such as semiconductor devices and flat-type image display devices, by furnishing spectroscopic ellipse data within a few milli-minute time periods. CONSTITUTION: An ultra high-speed spectroscopic ellipsometer includes a light source(100) for generating white light. A first collimation section(200) receives white light from the light source(100). White light introduced into the first collimation section(200) is incident into a polarization state generator, which polarizes white light. Then, polarized light is incident into a sample(110). The sample(110) reflects polarized light by converting a polarization state of polarized light. Polarized light reflected from the sample(110) is incident into a second collimation section, which converts polarized light into parallel light. A DOAP(400) is provided to polarize parallel light in a stokes vector state. A spectrograph/PDA(500) is provided to measure a quantity of polarized light.
Abstract translation: 目的：提供一种超高速分光椭偏仪，通过在数毫米的时间内提供光谱椭圆数据，提高半导体器件和平板型图像显示器件等产品的生产率和质量。 构成：超高速分光椭偏仪包括用于产生白光的光源（100）。 第一准直部分（200）接收来自光源（100）的白光。 引入第一准直部分（200）的白光入射到使白光偏振的偏振态生成器中。 然后，偏振光入射到样本（110）中。 样本（110）通过转换偏振光的偏振状态来反射偏振光。 从样品（110）反射的偏振光入射到第二准直部分，其将偏振光转换为平行光。 DOAP（400）用于极化斯托克斯向量状态下的平行光。 提供光谱仪/ PDA（500）来测量偏振光量。
-
公开(公告)号：KR100393522B1
公开(公告)日：2003-08-02
申请号：KR1020030001854
申请日：2003-01-11
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
IPC: G01B7/02
-
公开(公告)号：KR102229335B1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190054115
申请日：2019-05-09
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
Abstract: 본발명은개구수가큰 광학소자들에의한편광상태의변화및 타원상수의왜곡을보정하여측정정확도를높일수 있는마이크로스폿분광타원법을제공함에있다. 이를위한, 고배율광학계를적용하는마이크로스폿분광타원계의왜곡보정방법은고배율광학계에의한왜곡크기를구하는단계, 상기고배율광학계에의한왜곡크기를이용하여이상적인타원상수를계산하는단계및 상기계산된이상적인타원상수를이용하여시료의분광타원데이터를보정및 적용하는단계를포함하는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR101479970B1
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：KR1020120067165
申请日：2012-06-22
Applicant: (주)엘립소테크놀러지
IPC: G01N21/956 , G01B9/04
Abstract: 본 발명은 현미경을 이용한 터치스크린 패널의 ITO 패턴 검사방법에 관한 것으로서, 투광성 기판 상에 ITO 패턴이 형성된 시료를 준비하는 단계, 200 ~ 450 nm 대역의 광원을 상기 시료에 조사하는 단계, 상기 광원 파장대역의 촬상소자를 이용하여 상기 시료를 촬상하는 단계 및 상기 촬상소자의 출력 신호에 기초하여 상기 ITO 패턴 형상을 포함하는 영상 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 현미경 영상에서 투명 유리기판과 투명 ITO 패턴 간의 콘트라스트 차이가 극대화됨에 따라 투명 ITO 패턴의 형상이 선명하게 표출되므로 투명 ITO 패턴의 정상 형성 여부를 보다 용이하게 알아낼 수 있고 그에 따라 전극패턴 검사시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.021 seconds)
