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公开(公告)号：KR101754991B1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020150138650
申请日：2015-10-01
Applicant: (주)엠투엔
Abstract: 본발명은프로브카드를제안한다. 본발명의일 실시예에따른프로브카드는복수의프로브니들을장착한프로브기판; 프로브기판과전기적으로접속되는중간회로층; 외부테스트신호를수신하여, 전기신호를출력하고, 중간회로층과전기적으로접속되는메인인쇄회로기판; 및양단부가각각중간회로층과메인회로기판에전기적으로연결되는복수의동축케이블을포함하되, 동축케이블은중간회로층과메인인쇄회로기판에탈부착이가능하도록소켓방식으로연결된다.
Abstract translation: 本发明提出了一种探针卡。 根据本发明的一个方面，提供了一种探针卡，包括：具有多个探针的探针基底; 电连接到探针基板的中间电路层; 主印刷电路板，其接收外部测试信号，输出电信号，并电连接至中间电路层; 和两个端部，而是包括多个电连接到每个中间电路层和所述主电路板的同轴电缆，所述同轴电缆连接于插座的方式是在所述电路层的中部和主印刷电路板分离。
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公开(公告)号：KR1020170058138A
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：KR1020150161968
申请日：2015-11-18
Applicant: (주)엠투엔
Abstract: 본발명은프로브카드를제안한다. 본발명의일 실시예에따른프로브카드는웨이퍼에접촉되는복수의프로브니들이구비된프로브헤드; 외부테스트신호를수신하여, 전기신호를출력하고, 프로브헤드와전기적으로접속되는메인인쇄회로기판; 프로브헤드와메인인쇄회로기판를연결하는복수의동축케이블; 메인인쇄회로기판의상부면에고정되는제1 보강부; 제1 보강부의상부에결합되는제2 보강부; 및프로브헤드의평탄도를조절하는평탄도조절나사를포함하되, 평탄도조절나사는제2 보강부에결합되는핀 헤드; 제1 보강부및 메인인쇄회로기판을관통하는핀 바디; 및프로브헤드에결합되는핀 결합부를포함하고, 메인회로기판은평탄조절나사의핀 바디가관통되는제1 관통홀을포함하되, 제1 관통홀의지름은상기핀 바디의지름보다크게형성된다.
Abstract translation: 本发明提出了一种探针卡。 根据本发明的一个方面，提供了一种探针卡，包括：具有与晶片接触的多个探针的探针头; 主印刷电路板，其接收外部测试信号，输出电信号，并电连接到探头; 连接探头和主印刷电路板的多根同轴电缆; 第一加强部分，固定到主印刷电路板的上表面; 连接到第一加强部分的上部的第二加强部分; 以及平坦度调整螺钉，其用于调整所述探针头的平坦度，所述平坦度调整螺钉与所述第二加强部连结; 销体，其穿过第一加强部分和主印刷电路板; 并且包括被耦合到所述探针头的联接销，以及所述主电路板包括穿过平调节螺钉的主体上的第一通孔销，孔的直径通过第一比销体的直径大而形成。
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公开(公告)号：KR101766265B1
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020150161968
申请日：2015-11-18
Applicant: (주)엠투엔
Abstract: 본발명은프로브카드를제안한다. 본발명의일 실시예에따른프로브카드는웨이퍼에접촉되는복수의프로브니들이구비된프로브헤드; 외부테스트신호를수신하여, 전기신호를출력하고, 프로브헤드와전기적으로접속되는메인인쇄회로기판; 프로브헤드와메인인쇄회로기판를연결하는복수의동축케이블; 메인인쇄회로기판의상부면에고정되는제1 보강부; 제1 보강부의상부에결합되는제2 보강부; 및프로브헤드의평탄도를조절하는평탄도조절나사를포함하되, 평탄도조절나사는제2 보강부에결합되는핀 헤드; 제1 보강부및 메인인쇄회로기판을관통하는핀 바디; 및프로브헤드에결합되는핀 결합부를포함하고, 메인인쇄회로기판은평탄도조절나사의핀 바디가관통되는제1 관통홀을포함하되, 제1 관통홀의지름은상기핀 바디의지름보다크게형성된다.
Abstract translation: 本发明提出了一种探针卡。 根据本发明的一个方面，提供了一种探针卡，包括：具有与晶片接触的多个探针的探针头; 主印刷电路板，其接收外部测试信号，输出电信号，并电连接到探头; 连接探头和主印刷电路板的多根同轴电缆; 第一加强部分，固定到主印刷电路板的上表面; 连接到第一加强部分的上部的第二加强部分; 以及平坦度调整螺钉，其用于调整所述探针头的平坦度，所述平坦度调整螺钉与所述第二加强部连结; 销体，其穿过第一加强部分和主印刷电路板; 其中，所述主印刷电路板包括第一通孔，所述平面轨迹调节螺钉的所述销体通过所述第一通孔，所述第一通孔的直径大于所述销体的直径。
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公开(公告)号：KR1020170020185A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：KR1020150138650
申请日：2015-10-01
Applicant: (주)엠투엔
Abstract: 본발명은프로브카드를제안한다. 본발명의일 실시예에따른프로브카드는복수의프로브니들을장착한프로브기판; 프로브기판과전기적으로접속되는중간회로층; 외부테스트신호를수신하여, 전기신호를출력하고, 중간회로층과전기적으로접속되는메인인쇄회로기판; 및양단부가각각중간회로층과메인회로기판에전기적으로연결되는복수의동축케이블을포함하되, 동축케이블은중간회로층과메인인쇄회로기판에탈부착이가능하도록소켓방식으로연결된다.
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