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公开(公告)号：WO2012121449A1
公开(公告)日：2012-09-13
申请号：PCT/KR2011/003146
申请日：2011-04-28
Inventor： 박영근
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R1/07342 , G01R3/00 , Y10T29/49124 , Y10T29/49128
Abstract: 본 발명은 프로브 카드 및 제조방법에 관한 것으로서, 복수 개의 패드가 형성되어 있는 인쇄회로기판; 상기 인쇄회로기판에 부착되며, 복수 개의 홈을 갖는 블록 플레이트; 상기 복수 개의 홈에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 반도체 다이의 패드와 접촉하는 복수 개의 프로브 팁을 구비하는 복수 개의 서브 프로브 유닛; 및 상기 서브 프로브 유닛과 상기 인쇄회로기판 사이에 개재되어 상기 프로브 팁과 상기 인쇄회로기판의 패드를 전기적으로 연결시키되, 상기 인쇄회로기판에 형성된 상기 패드의 피치를 상기 복수 개의 프로브 팁의 피치로 변환시키는 복수 개의 인터포저 겸용 공간변환기 유닛을 포함한다. 본 발명은 인쇄회로기판과 프로브 팁이 모듈화 된 서브 프로브 유닛을 전기적으로 연결시키는 동시에 인쇄회로기판 패드의 피치를 서브 프로브 유닛의 프로브 팁의 피치로 변환시킬 수 있어 공간변환기를 생략함으로써 비용을 절감할 수 있는 프로브 카드 및 제조방법을 제공할 수 있다.
Abstract translation: 探针卡及其制造方法技术领域本发明涉及一种探针卡及其制造方法，其特征在于，包括：印刷电路板，其上形成有多个垫片; 具有多个凹槽并附着到印刷电路板的块板; 多个子探针单元，其配备有与半导体的焊盘接触的多个探针尖端并且可拆卸地联接到所述多个凹槽; 多个插入器组合空间转换器单元，其将形成在印刷电路板上的焊盘的间距转换成多个探针尖端的间距，并且插入在子探针单元和印刷电路板之间并电连接 探针尖端到印刷电路板的焊盘。 本发明提供了一种探针卡和制造方法，其通过将模块化子探针单元与印刷电路板和探针尖端电连接而不需要单独的空间转换器，同时将印刷电路板的间距 垫子到子探针单元的探针尖端的间距。
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公开(公告)号：KR1020170058138A
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：KR1020150161968
申请日：2015-11-18
Applicant: (주)엠투엔
Abstract: 본발명은프로브카드를제안한다. 본발명의일 실시예에따른프로브카드는웨이퍼에접촉되는복수의프로브니들이구비된프로브헤드; 외부테스트신호를수신하여, 전기신호를출력하고, 프로브헤드와전기적으로접속되는메인인쇄회로기판; 프로브헤드와메인인쇄회로기판를연결하는복수의동축케이블; 메인인쇄회로기판의상부면에고정되는제1 보강부; 제1 보강부의상부에결합되는제2 보강부; 및프로브헤드의평탄도를조절하는평탄도조절나사를포함하되, 평탄도조절나사는제2 보강부에결합되는핀 헤드; 제1 보강부및 메인인쇄회로기판을관통하는핀 바디; 및프로브헤드에결합되는핀 결합부를포함하고, 메인회로기판은평탄조절나사의핀 바디가관통되는제1 관통홀을포함하되, 제1 관통홀의지름은상기핀 바디의지름보다크게형성된다.
Abstract translation: 本发明提出了一种探针卡。 根据本发明的一个方面，提供了一种探针卡，包括：具有与晶片接触的多个探针的探针头; 主印刷电路板，其接收外部测试信号，输出电信号，并电连接到探头; 连接探头和主印刷电路板的多根同轴电缆; 第一加强部分，固定到主印刷电路板的上表面; 连接到第一加强部分的上部的第二加强部分; 以及平坦度调整螺钉，其用于调整所述探针头的平坦度，所述平坦度调整螺钉与所述第二加强部连结; 销体，其穿过第一加强部分和主印刷电路板; 并且包括被耦合到所述探针头的联接销，以及所述主电路板包括穿过平调节螺钉的主体上的第一通孔销，孔的直径通过第一比销体的直径大而形成。
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公开(公告)号：KR101696419B1
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：KR1020100034384
申请日：2010-04-14
Applicant: (주)엠투엔
Inventor： 김병기
IPC: H01L21/66
Abstract: 프로브카드는검사회로를갖는인쇄회로기판과, 인쇄회로기판의하부에배치되며다수의관통홀들을갖는단일의디스크부재와, 디스크부재의하부면상에부착되는다수의탐침블록들, 그리고관통홀들을통해탐침블록들과검사회로를전기적으로연결하는다수의유연접속체들을포함한다. 따라서, 프로브카드의구조가단순화되어제작및 유지보수가용이하며, 제조원가를절감할수 있다.
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公开(公告)号：KR101674135B1
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020100003060
申请日：2010-01-13
Applicant: (주)엠투엔
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R3/00
Abstract: 프로브카드는탐침구조물들, 조각기판들, 인터페이스블록들, 지지기판및 회로기판을포함한다. 탐침구조물들은물리적접촉을통해검사대상체의칩 패드에전기적신호를송수신하는탐침을갖는다. 조각기판들은탐침구조물들의하부에각각배치되고, 탐침과전기적으로연결되며상하부면에서간격이서로다른배선들을갖는다. 인터페이스블록들은조각기판들의하부에각각배치되고, 배선들과각각연결되며상하부면에서간격이동일한연결부재들을갖는다. 지지기판은인터페이스블록들이각각착탈가능하도록삽입되는관통홀들을가지며, 인터페이스블록들을지지한다. 회로기판은지지기판의하부에배치되며, 인터페이스블록들의연결부재들과각각전기적으로연결되는배선들을갖는다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130130533A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020120054423
申请日：2012-05-22
Applicant: (주)엠투엔
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R1/07307
Abstract: A probe card for checking semiconductor devices comprises a probe substrate, a main circuit substrate, an intermediate substrate, and a connection substrate. The probe substrate comprises a lower side comprising probes and a penetration hole corresponding to the probes. The main circuit substrate is arranged on the upper part of the probe substrate. The intermediate substrate is electrically connected to the main circuit substrate; arranges a side in the penetration hole of the probe substrate; and comprises connection pads positioned at the edge of the upper part which is adjacent to the side. A part of the connection substrate is arranged in the penetration hole of the probe substrate to connect the probes and the intermediate substrate and comprises upper pads corresponding to the connection pads. One side of the connection substrate comprising the upper pads is arranged on the side of the intermediate substrate. The connection pads and the upper pads are electrically connected.
Abstract translation: 用于检查半导体器件的探针卡包括探针衬底，主电路衬底，中间衬底和连接衬底。 探针基板包括下侧，其包括探针和与探针相对应的穿透孔。 主电路基板设置在探针基板的上部。 中间基板电连接到主电路基板; 在探针基板的穿透孔中布置一侧; 并且包括位于与侧面相邻的上部的边缘处的连接垫。 连接基板的一部分布置在探针基板的穿透孔中，以连接探针和中间基板，并且包括对应于连接垫的上垫。 包括上垫的连接基板的一侧设置在中间基板的一侧。 连接焊盘和上焊盘电连接。
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公开(公告)号：KR101278713B1
公开(公告)日：2013-06-25
申请号：KR1020110020444
申请日：2011-03-08
Applicant: (주)엠투엔
Inventor： 박영근
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R1/07342 , G01R3/00 , Y10T29/49124 , Y10T29/49128
Abstract: 본 발명은 프로브 카드 및 제조방법에 관한 것으로서, 복수 개의 패드가 형성되어 있는 인쇄회로기판; 상기 인쇄회로기판에 부착되며, 복수 개의 홈을 갖는 블록 플레이트; 상기 복수 개의 홈에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 반도체 다이의 패드와 접촉하는 복수 개의 프로브 팁을 구비하는 복수 개의 서브 프로브 유닛; 및 상기 서브 프로브 유닛과 상기 인쇄회로기판 사이에 개재되어 상기 프로브 팁과 상기 인쇄회로기판의 패드를 전기적으로 연결시키되, 상기 인쇄회로기판에 형성된 상기 패드의 피치를 상기 복수 개의 프로브 팁의 피치로 변환시키는 복수 개의 인터포저 겸용 공간변환기 유닛을 포함한다.
본 발명은 인쇄회로기판과 프로브 팁이 모듈화 된 서브 프로브 유닛을 전기적으로 연결시키는 동시에 인쇄회로기판 패드의 피치를 서브 프로브 유닛의 프로브 팁의 피치로 변환시킬 수 있어 공간변환기를 생략함으로써 비용을 절감할 수 있는 프로브 카드 및 제조방법을 제공할 수 있다.Abstract translation: 提供了一种探针卡，其与形成在晶片上的多个半导体管芯上的焊盘接触以测试半导体管芯。 探针卡包括形成有多个焊盘的印刷电路板; 具有多个凹槽并附着到印刷电路板的块板; 多个子探针单元，其配备有与所述半导体管芯的焊盘接触的多个探针尖端，并且可拆卸地联接到所述多个槽; 以及插入在所述子探针单元和所述印刷电路板之间的多个插入器/空间变换器单元，并且被配置为将所述探针尖端电连接到所述印刷电路板的所述焊盘，并将形成在所述印刷电路板上的所述焊盘的间距变换为 多个探针尖端的间距。
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公开(公告)号：KR101181519B1
公开(公告)日：2012-09-10
申请号：KR1020100108636
申请日：2010-11-03
Applicant: (주)엠투엔
Inventor： 박영근
Abstract: 본 발명은, 반도체 장치에 접촉하는 선단부, 및 상기 선단부로부터 연장 형성되는 몸체부를 포함하며, (a) 기판 상에 소정의 각도를 갖는 경사면을 형성하는 단계; (b) 상기 경사면을 갖는 기판 상에 상기 선단부 및 상기 몸체부의 형상에 대응하는 패터닝된 포토레지스트층을 형성하는 단계; (c) 상기 패터닝된 포토레지스트층에 근거하여 금속층을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 기판을 제거하는 단계를 포함하되, 상기 선단부는 상기 기판의 상기 경사면이 아닌 면 상에 형성되고, 상기 몸체부는 상기 기판의 상기 경사면을 포함하는 면 상에 형성되는 프로브 팁의 제조방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101132414B1
公开(公告)日：2012-04-03
申请号：KR1020100007516
申请日：2010-01-27
Applicant: (주)엠투엔
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A probe card equipped with an electric signal transmission means of a socket type is provided to prevent geometrical transformation after being excluded a pressure factor actuating on a space transformer and a probe substrate by replacing an interposer connecting to the entire surface of a printed circuit board and the space transformer and transferring an electric signal to a connector of the socket type. CONSTITUTION: A printed circuit board(108) outputs an electric signal by receiving an outside test signal. A probe substrate(102) equips a plurality of probes(101) to the contact surface with a semiconductor device. A space transformer(103) is electrically connected to the probe substrate and transfigures a terminal pitch of the probe substrate. A connector(113) interlinks the space transformer and the printed circuit board. The printed circuit board is formed into a hollow type in which conductive material wiring is formed in a peripheral region. The connector is arranged according to the circumference of the printed circuit board and the space transformer as the radial shape. An electric signal between the printed circuit board and the space transformer are transmitted and received through a flexible printed circuit board.
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公开(公告)号：KR1020110083053A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：KR1020100003060
申请日：2010-01-13
Applicant: (주)엠투엔
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R3/00 , G01R1/0491 , G01R1/07378 , G01R31/2853 , G01R31/2889
Abstract: PURPOSE: A probe card is provided to accurately align an interface block on a supporting substrate using a guide hole of the supporting substrate and a guide pin of the interface block. CONSTITUTION: A probe structure(100) includes a probe which transceives an electrical signal to a chip pad of an inspected object by physical contact. Piece substrates(200) are electrically connected to the probe. Interface blocks(300) are arranged in the lower parts of the piece substrates respectively. A supporting substrate(400) supports the interface blocks. A circuit board(500) comprises a wire(510) which is electrically connected to a connecting member(310) of the interface blocks.
Abstract translation: 目的：提供一个探针卡，用于使用支撑基板的导孔和界面块的引导孔精确对准支撑基板上的界面块。 构成：探针结构（100）包括通过物理接触将电信号收发到检查对象的芯片焊盘的探针。 片状基板（200）电连接到探针。 接口块（300）分别布置在片状基片的下部。 支撑基板（400）支撑接口块。 电路板（500）包括电连接到接口块的连接构件（310）的导线（510）。
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