公开(公告)号：KR101524748B1

公开(公告)日：2015-06-02

申请号：KR1020130166721

申请日：2013-12-30

Applicant: (주)티피에스

Inventor： 김헌덕 ,  박준우 ,  윤애천 ,  전구식 ,  이원근 ,  송제중 ,  박인용 ,  우원희 ,  조범래

IPC: C30B35/00 ,  C30B31/18

Abstract: 본발명은단결정성장로히터용전극냉각용냉각수관로구조에관한것으로서, 구체적으로는일반적인단결정성장로에서공정조건으로중요한위치를차지하는관로내 온도분포를단결정공정에맞게개선하기위한것으로단결정성장로의도가니온도분포개선을위해히터용전극내 냉각수관로구조를새로이구성한단결정성장로히터용전극냉각용냉각수관로구조에관한것이다. 본발명은단결정성장로의히터용전극내 냉각수관로구조의개선을통해전극의온도분포개선을통해히터의온도분포를일정하게유지하도록함으로써단결정성장에필요한도가니의온도분포를고르게형성시키도록할 수있다는장점이있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于冷却单晶生长炉加热器的电极的冷却剂管结构，更具体地说，涉及一种用于冷却用于单晶生长炉加热器的电极的冷却剂管结构，其电极中的冷却剂管结构用作加热器 改进以改善单晶生长炉的坩埚中的温度分布，并且根据单晶工艺改善管中的温度分布，因为冷却剂管是单晶生长炉的工艺条件中的重要位置。 用于单晶生长炉的加热器的电极中的冷却剂管的结构改进被允许改善电极的温度分布并保持加热器中的温度分布，从而均匀地形成加热器的温度分布，这是需要增长的 单晶生长。