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公开(公告)号：WO2020013630A1
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：PCT/KR2019/008569
申请日：2019-07-11
Applicant: (주)플라즈닉스
Abstract: 본 발명은 플라즈마 상에서 대상기체 함유 배출기체를 처리하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 종래 방법은 난변환성 대상기체를 함유하는 배출기체를 처리함에 있어 높은 대상기체의 변환율이 요구되거나 대량의 대상기체 함유 배출기체 처리시 과도한 에너지의 소모와 이에 따른 구성 부품의 수명단축으로 인해 어려움이 있다. 본 발명은 대상기체의 변환이 이루어지는 변환영역에 플라즈마를 생성시키는 단계; 1차 이온화 에너지가 10eV 이하인 원소로서 대상기체의 변환을 촉진시키는 변환촉진원소를 함유하는 변환촉진제를 변환영역에 공급하는 단계; 대상기체의 해리생성물과 결합하여 대상기체로의 재결합을 억제하고 변환생성물로 변환시키는 변환제를 변환영역에 공급하는 단계; 대상기체 함유 배출기체를 변환영역에 공급하는 단계를 포함하는 플라즈마 상에서 대상기체 함유 배출기체를 처리하는 방법과 이를 구현하는 장치를 제공한다. 본 발명으로 인해 대상기체 함유 배출기체를 처리함에 있어 대상기체의 변환율을 높이고 처리 과정에서 필요한 에너지의 소모량을 줄일 수 있다. 또한 이로 인해 처리 장치의 유지 비용을 줄이고 수명을 향상시킬 수 있으며 보다 용이하게 대용량의 처리장치를 구현하는 것이 가능하다. 본 발명은 유해한 물질의 제거 공정 뿐만 아니라 개질, 가스화, GTL(Gas to Liquid), 중합 등 유용한 물질의 합성 공정에도 적용될 수 있다.
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公开(公告)号：KR100817038B1
公开(公告)日：2008-04-07
申请号：KR1020050095130
申请日：2005-10-10
Applicant: (주) 플라즈닉스 , 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 본 발명은 물질의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치와 이를 이용한 표면 처리 방법에 관한 것으로서 높은 처리 효과와 다양한 피처리물 형상 및 재질에 대한 적용 가능성을 높임과 동시에 경제적인 장치 구현 및 운전이 가능하도록 하여 보다 넓은 영역에의 적용이 가능하도록 한 것이다.
본 발명에서는 공기, 질소, 산소 등 저렴한 기체를 플라즈마 발생 장치의 기체 주입구를 통해 플라즈마 발생 영역으로 고속 주입한 다음 핀 혹은 원통 형태의 파워 전극과 원통형의 접지 전극 사이에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 발생된 플라즈마를 플라즈마 이송 통로 및 분사 노즐을 통하여 플라즈마 발생 장치 외부로 분사하고 분사된 플라즈마를 통해 금속 혹은 비금속 피처리물의 표면을 처리하여 표면 특성을 개선한다.-
公开(公告)号：KR1020060099911A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020050021454
申请日：2005-03-15
Applicant: (주) 플라즈닉스
IPC: H01L21/304 , H01L21/3065
Abstract: 본 발명은 대기압 분위기에서 발생되는 플라즈마를 이용하여 테이프캐리어패키지, 칩온플렉스 등의 테이프형 반도체 장치의 표면을 세정, 에칭 및 개질함으로 인하여 수지 밀봉 및 마킹 등의 공정에 있어 신뢰성을 향상시키는 표면처리방법에 관한 것이다.
플라즈마, 테이프캐리어패키지, 칩온플렉스, 수지 밀봉, 마킹, 표면처리-
公开(公告)号：KR1020030039871A
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：KR1020010071241
申请日：2001-11-16
Applicant: 대한민국(서울대학교 총장) , 주식회사 미래와도전 , (주) 플라즈닉스
IPC: G21F9/30
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for waste treatment are provided to reduce volume of the waste and costs, while simplifying configuration of the post-treatment system. CONSTITUTION: An apparatus comprises a treatment container(1); an active electrode(2) and a grounding electrode electrically connected to a power supply unit(5), and which generate plasma; an exhaust port(3) connected to an exhaust device, and which evacuates air from the treatment container or discharges the products generated in the treatment container during treatment to outside; a gas injection port(4) for permitting the reaction gas for generating active material to be injected into the treatment container; and the power supply unit electrically connected to the active electrode and the grounding electrode, and which supplies power to the active electrode and the grounding electrode.
Abstract translation: 目的：提供一种用于废物处理的装置和方法，以减少废物的体积和成本，同时简化后处理系统的构造。 构成：装置包括处理容器（1）; 有源电极（2）和电连接到电源单元（5）的接地电极，其产生等离子体; 连接到排气装置的排气口（3），并且在处理期间从处理容器排出空气或将处理容器中产生的产品排出到外部; 气体注入口（4），用于允许反应气体产生要注入到处理容器中的活性物质; 以及电源单元，其电连接到有源电极和接地电极，并且向有源电极和接地电极供电。
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公开(公告)号：KR100736923B1
公开(公告)日：2007-07-06
申请号：KR1020070032569
申请日：2007-04-02
Applicant: (주) 플라즈닉스 , 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/60
Abstract: 본 발명은 폴리이미드 금속 적층체의 제조방법 및 장치, 이로 인해 제조되는 폴리이미드 금속 적층체에 관한 것이고, 보다 상세하게는 고밀도, 미세 패턴용의 기판 재료로 사용할 수 있는 폴리이미드 금속 적층체에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리이미드의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치 및 처리 방법에 의하면 금속과 적층체 형성시 높고 균일한 박리 강도, 낮은 표면 조도에 의한 광투과성 및 에칭 신뢰성의 증대, 중간층 배제에 의한 에칭 공정 절감, 빠른 처리 속도에 의한 높은 생산성 및 저렴한 생산 비용 등의 장점을 갖게 된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070025139A
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：KR1020050080945
申请日：2005-08-31
Applicant: (주) 플라즈닉스
IPC: H05H1/26
CPC classification number: H05H1/34 , H05H1/28 , H05H1/42 , H05H2001/3431 , H05H2001/3468 , Y02W30/20
Abstract: A method for producing a hydrocarbons by a thermal pyrolysis and a reverse polarized hollow type plasma torch therefore are provided to extend an arc length in proportion to a gap and generate a high power through a voltage increment by injecting a gas into a space between more than one gap, and a hollow rear anode and a hollow rear cathode. In a reverse polarized hollow type plasma torch, a high temperature thermal plasma is generated by an electric arc(24) formed by using a hollow rear electrode(3) with one closed side as an anode and a front electrode(14) with both open sides as a cathode. More than one gap(6) with both open sides is arranged with spaces(25,26) between the electrodes(3,14) in the same axis with the electrode under a state of electrically floating and an annular path(28) is formed by piling the front electrode(14) and a portion of gap(6) neighboring to the front electrode(14). The annular path(28) is connected with the spaces(25,26). A gas supply unit(4,10) injects gas(16,17) into the spaces(25,26) between the electrodes(3,14).
Abstract translation: 因此，通过热裂解和反向极化中空型等离子体焰炬制造烃的方法被设置成与间隙成比例地延长弧长度，并且通过将气体注入到超过 一个间隙，以及中空的后阳极和中空的后阴极。 在反向极化中空型等离子体焰炬中，通过使用具有一个封闭侧作为阳极的中空后电极（3）和两个开放的前电极（14）形成的电弧（24）产生高温热等离子体 侧面为阴极。 具有两个开口侧的多于一个的间隙（6）在电浮动的状态下在与电极在同一轴线上的电极（3,14）之间布置有空间（25,26），并且形成环形路径（28） 通过堆叠前电极（14）和与前电极（14）相邻的间隙（6）的一部分。 环形路径（28）与空间（25,26）连接。 气体供应单元（4,10）将气体（16,17）注入到电极（3,14）之间的空间（25,26）中。
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公开(公告)号：KR100549503B1
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1020020072426
申请日：2002-11-20
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 , 주식회사 미래와도전 , (주) 플라즈닉스
IPC: G21F9/30
Abstract: 본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 방사성 폐기물 표면 제염장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 방사성 폐기물의 표면 처리를 통하여 저 레벨의 폐기물 혹은 비 방사성 폐기물로 변환시켜서 방사성 폐기물의 발생량을 저감하고 제염 후의 폐기물의 재활용을 목적으로 금속 표면에 방사성 부식 생성물로 부착되어 있는 코발트 산화막을 대기압 플라즈마를 이용하여 제염하는 장치의 개발에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명에서는 대기압에서 플라즈마를 발생하는 플라즈마 발생장치, 플라즈마 처리후 플라즈마 라디칼과 표면간의 반응으로 생성된 2차 생성물을 외부와 격리하여 포집하는 포집부, 제거된 코발트 기화물을 수거하는 수거부, 제염대상 표면에 부착하는 표면 부착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR100775995B1
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：KR1020050080945
申请日：2005-08-31
Applicant: (주) 플라즈닉스
IPC: H05H1/26
Abstract: 본 발명은 얇고 납작한 특이한 형태의 카본을 생산하기 위하여 한쪽 끝이 막힌 공동형 후방 전극을 양극으로, 양쪽이 모두 열린 전방 전극을 음극으로 하고, 두 전극 사이에 형성되는 직류 아크를 이용하여 고온, 고속의 열플라즈마를 전방전극을 통해 내보내는 것을 특징으로 하는 역극성 공동형 플라즈마 토치를 제공하며 이를 이용하여 천연가스, 메탄 등과 같은 탄화수소류를 열분해하고 그 부산물인 카본블랙을 생산하는 것에 관한 발명이다.
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公开(公告)号：KR1020070064460A
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：KR1020050124930
申请日：2005-12-17
Applicant: (주) 플라즈닉스 , 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/60
Abstract: A method for fabricating polyimide metal laminates and the polyimide metal laminate manufactured by the same are provided to achieve a uniform peeling strength of the metal laminate in a width direction which is formed by using atmosphere plasma. Polyimide is processed by using atmosphere plasma(313) comprising resonance-excited atom or molecular, or metastable atom or molecular. Metal is deposited on the polyimide. To generate the atmosphere plasma comprising resonance-excited atom or molecular, or metastable atom or molecular, at least one of nitrogen, helium and argon is used as a plasma generating gas. Energy of the resonance-excited atom or molecular, or the metastable atom or molecular is over 2eV.
Abstract translation: 提供了一种用于制造聚酰亚胺金属层压体的方法和由其制造的聚酰亚胺金属层压板，以通过使用气氛等离子体形成的宽度方向上的金属层压板的均匀剥离强度。 聚酰亚胺通过使用包含共振激发原子或分子或亚稳原子或分子的气氛等离子体（313）进行处理。 金属沉积在聚酰亚胺上。 为了产生包含共振激发原子或分子或亚稳原子或分子的气氛等离子体，使用氮，氦和氩中的至少一种作为等离子体产生气体。 共振激发原子或分子的能量，或亚稳原子或分子的能量超过2eV。
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公开(公告)号：KR1020070039824A
公开(公告)日：2007-04-13
申请号：KR1020050095130
申请日：2005-10-10
Applicant: (주) 플라즈닉스 , 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: H01J37/32009 , H01J37/32174 , H01J37/3244 , H01J37/3255 , H05H1/46
Abstract: 본 발명은 물질의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치와 이를 이용한 표면 처리 방법에 관한 것으로서 높은 처리 효과와 다양한 피처리물 형상 및 재질에 대한 적용 가능성을 높임과 동시에 경제적인 장치 구현 및 운전이 가능하도록 하여 보다 넓은 영역에의 적용이 가능하도록 한 것이다.
본 발명에서는 공기, 질소, 산소 등 저렴한 기체를 플라즈마 발생 장치의 기체 주입구를 통해 플라즈마 발생 영역으로 고속 주입한 다음 핀 혹은 원통 형태의 파워 전극과 원통형의 접지 전극 사이에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 발생된 플라즈마를 플라즈마 이송 통로 및 분사 노즐을 통하여 플라즈마 발생 장치 외부로 분사하고 분사된 플라즈마를 통해 금속 혹은 비금속 피처리물의 표면을 처리하여 표면 특성을 개선한다.
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