公开(公告)号：JP2016125901A

公开(公告)日：2016-07-11

申请号：JP2014266833

申请日：2014-12-27

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 大川 尚信 ,  尾花 雅之 ,  宮武 亨

IPC: G01R33/09 ,  H01L43/10 ,  H01L43/08 ,  G01R33/02

Abstract: 【課題】 磁界誘導層の熱応力および熱応力に基づく残留応力を低下させて、磁界誘導層からのバイアス磁界を低減できる磁界検知装置を提供する。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子などの磁気センサ20は、アルミナで形成された上部絶縁層42で覆われており、その上にニッケル−鉄合金によって磁界誘導層30が形成されている。上部絶縁層42と磁界誘導層30は、窒化ケイ素で形成された保護層43で覆われている。磁界誘導層30と保護層43との間に応力緩和層44が形成されており、応力緩和層44は、磁界誘導層30ならびに保護層43のよりもヤング率が低い材料で形成されている。 【選択図】図5

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种磁场检测器，其能够通过减小磁场感应层的热应力和基于热应力的残余应力来减小来自磁场感应层的偏置磁场。解决方案：磁传感器 20，例如磁阻效应元件被由氧化铝制成的上绝缘层42覆盖，并且在其上形成由镍 - 铁合金制成的磁场感应层30。 上绝缘层42和磁场感应层30被由氮化硅制成的保护层43覆盖。 应力松弛层44形成在磁场感应层30和保护层43之间。应力松弛层44由杨氏模量低于磁场感应层30和保护层43的材料制成。 ：图5

公开(公告)号：JP5912798B2

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：JP2012092907

申请日：2012-04-16

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 宇都 宜隆 ,  宮武 亨 ,  池田 健一郎 ,  大川 尚信 ,  小林 俊宏 ,  高橋 亨 ,  矢澤 久幸 ,  菊入 勝也

IPC: B81C3/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B7/0048 ,  G01P15/0802 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/0264 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  H01L29/84

公开(公告)号：JP2017173123A

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：JP2016059279

申请日：2016-03-23

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 尾花 雅之 ,  安藤 秀人 ,  今井 佑貴 ,  山中 邦夫 ,  堀田 京子 ,  宮武 亨 ,  小林 俊宏 ,  池田 健一郎 ,  野口 貴史

IPC: G01R33/09 ,  H01L43/08 ,  G01R33/02

CPC classification number: G01R33/091 ,  G01C21/08 ,  G01R33/0011

Abstract: 【課題】良好なセンサ感度を有する磁気センサが本来の機能を適切に発揮しやすくなるように、構造上の改善を行われた磁気センサを提供する。 【解決手段】基板15の第1面15Aの上に位置し、第1面15Aの面内方向の一つである第1方向に沿った感度軸を有する第1の磁気抵抗効果素子21と、第1の磁気抵抗効果素子21に対する第1最近位部40E1の相対位置が規定され第1の磁気抵抗効果素子21に対して非接触に設けられた位置決め用軟磁性体40bと、第1方向に沿って並置され、それぞれ第1面15Aから離れる向きに延出する第1の軟磁性体35および第2の軟磁性体36とを備え、第1の軟磁性体35および第2の軟磁性体36のそれぞれは、位置決め用軟磁性体40bに磁気的に接続されてなる磁気センサ10。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP5922249B2

公开(公告)日：2016-05-24

申请号：JP2014540884

申请日：2013-10-10

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 大川 尚信 ,  村田 眞司 ,  矢澤 久幸 ,  宮武 亨

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221

公开(公告)号：JP2019007757A

公开(公告)日：2019-01-17

申请号：JP2017121234

申请日：2017-06-21

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 大川 尚信 ,  矢澤 久幸 ,  牛膓 英紀 ,  宮武 亨

IPC: G01N27/22

Abstract: 【課題】使用期間が長くなることに伴い検出容量部の出力が初期値から変化することが抑制された、長期間にわたって検出精度を良好に維持できる静電容量式の湿度センサを提供すること。 【解決手段】 湿度センサ1は、検出容量部20および基準容量部30を備え、検出容量部20および基準容量部30はそれぞれ、センサ電極22、23間に感湿層21を備えた積層構造Lを有しており、積層構造Lがそれぞれ、非透湿保護膜40により覆われており、感湿層21と、非透湿保護膜40の外とを連通する感湿孔24を有する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP5898556B2

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：JP2012099897

申请日：2012-04-25

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 小林 俊宏 ,  宮武 亨 ,  矢澤 久幸 ,  大川 尚信 ,  宇都 宜隆

IPC: G01P15/08 ,  H01L29/84 ,  B81B3/00 ,  G01P15/125

公开(公告)号：JP5727798B2

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：JP2011007630

申请日：2011-01-18

Applicant: アルプス電気株式会社

Inventor： 宮武 亨 ,  宇都 宜隆 ,  高橋 亨 ,  小林 俊宏 ,  矢澤 久幸 ,  菊入 勝也 ,  大川 尚信

IPC: H01L29/84 ,  B81B3/00