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发明公开
体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法无效

公开(公告)号：CN110912528A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201910593109.3

申请日：2019-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勳 , 金泰润 , 李文喆 , 林昶贤 , 李男贞 , 李一汉

IPC: H03H9/17 , H03H3/04

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：基板、第一层、第二层、膜层和谐振部。所述基板包括基板保护层。所述第一层设置在所述基板保护层上。所述第二层设置在所述第一层的外部。所述膜层与所述基板保护层和所述第一层形成腔。所述谐振部设置在所述膜层上。所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者包括设置在所述腔中的突出部。

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