公开(公告)号：CN101007462B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200610151301.X

申请日：2006-09-05

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李在昌 ,  郑在佑 ,  李教烈 ,  李昌承 ,  姜城圭

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明公开了一种压电喷墨打印头及其制造方法。压电喷墨打印头构造成具有两个堆叠并连结的衬底。上衬底由单晶硅衬底或SOI衬底形成并包括穿过该上衬底的墨入口。下衬底由SOI衬底形成，SOI衬底具有第一硅层、中间氧化层和第二硅层顺序堆叠的结构。歧管、压力室和阻尼器通过湿法或干法蚀刻而形成在第二硅层中，喷嘴通过干法蚀刻而穿过中间氧化层和第一硅层形成。压电致动器形成在上衬底上，用于向各压力室施加驱动力，以喷射墨。该压电喷墨打印头构造成具有少量的衬底，从而减小了制造过程和成本，中间氧化层用作蚀刻停止层，以均匀地形成喷嘴，从而提高墨喷射性能。