多层陶瓷电子组件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114694960A

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202111002032.1

    申请日:2021-08-30

    Abstract: 本公开提供一种多层陶瓷电子组件。所述多层陶瓷电子组件包括:陶瓷主体,包括介电层以及第一内电极和第二内电极,所述第一内电极和所述第二内电极被设置为彼此面对并交替地堆叠,且相应的介电层介于所述第一内电极与所述第二内电极之间;第一外电极,连接到所述第一内电极;第二外电极,连接到所述第二内电极;以及保护层,设置在所述陶瓷主体、所述第一外电极和所述第二外电极上,其中,所述保护层包括粘合辅助层和涂层。

    压电喷墨打印头及其制造方法

    公开(公告)号:CN101007462B

    公开(公告)日:2010-11-03

    申请号:CN200610151301.X

    申请日:2006-09-05

    Abstract: 本发明公开了一种压电喷墨打印头及其制造方法。压电喷墨打印头构造成具有两个堆叠并连结的衬底。上衬底由单晶硅衬底或SOI衬底形成并包括穿过该上衬底的墨入口。下衬底由SOI衬底形成,SOI衬底具有第一硅层、中间氧化层和第二硅层顺序堆叠的结构。歧管、压力室和阻尼器通过湿法或干法蚀刻而形成在第二硅层中,喷嘴通过干法蚀刻而穿过中间氧化层和第一硅层形成。压电致动器形成在上衬底上,用于向各压力室施加驱动力,以喷射墨。该压电喷墨打印头构造成具有少量的衬底,从而减小了制造过程和成本,中间氧化层用作蚀刻停止层,以均匀地形成喷嘴,从而提高墨喷射性能。

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