公开(公告)号：CN108988818B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN201810251593.7

申请日：2018-03-26

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  林俊 ,  金钟云 ,  申兰姬 ,  金成善

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：膜层，设置在绝缘层上；腔，通过所述绝缘层和所述膜层形成；谐振部，设置在所述腔上，并具有堆叠在所述腔上的第一电极、压电层和第二电极；保护层，设置在所述谐振部上；以及疏水层，形成在所述保护层上。

公开(公告)号：CN103913160A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310746036.X

申请日：2013-12-30

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金钟云 ,  林俊 ,  李在昌

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5712

Abstract: 本发明公开了一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一质量体和第二质量体；第一框架，该第一框架设置在所述第一质量体和第二质量体的外侧以与所述第一质量体和第二质量体间隔；第一弹性件，该第一弹性件在Y轴方向将所述第一质量体和第二质量体分别连接于所述第一框架；第二弹性件，该第二弹性件在X轴方向将所述第一质量体和第二质量体分别连接于所述第一框架；第二框架，该第二框架设置在所述第一框架的外侧；第三弹性件，该第三弹性件在X轴方向将所述第一框架和所述第二框架彼此连接；该第四弹性件在Y轴方向将所述第一框架和所述第二框架彼此连接，其中，所述第一框架在Z轴方向的厚度小于所述第二框架在Z轴方向的厚度。

公开(公告)号：CN108988818A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810251593.7

申请日：2018-03-26

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  林俊 ,  金钟云 ,  申兰姬 ,  金成善

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/174 ,  H03H3/02 ,  H03H9/131 ,  H03H2003/023

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：膜层，设置在绝缘层上；腔，通过所述绝缘层和所述膜层形成；谐振部，设置在所述腔上，并具有堆叠在所述腔上的第一电极、压电层和第二电极；保护层，设置在所述谐振部上；以及疏水层，形成在所述保护层上。