公开(公告)号：CN109217840B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN201810676270.2

申请日：2018-06-27

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金成善 ,  尹湘基 ,  林昶贤 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  庆济弘

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括基板、中央部分、延伸部分和阻挡层。在所述中央部分中，第一电极、压电层和第二电极依次堆叠在所述基板上。所述延伸部分被构造为从所述中央部分延伸并包括设置在所述压电层下方的插入层。所述阻挡层设置在所述第一电极和所述压电层之间。

公开(公告)号：CN110553960A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201910052777.5

申请日：2019-01-21

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  庆济弘 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC: G01N15/06 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种细尘浓度传感器，所述细尘浓度传感器包括体声波谐振器和盖，所述盖包括其中具有孔的上部和连接到所述上部的侧部以容纳所述体声波谐振器。所述盖的所述上部的上表面涂覆有疏水材料。

公开(公告)号：CN109412550A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201810937920.4

申请日：2018-08-17

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  申兰姬 ,  庆济弘 ,  李华善 ,  孙晋淑 ,  金成善

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电层上，其中，所述下电极和所述上电极中的任意一者或者两者具有包括钪(Sc)的铝合金的层。

公开(公告)号：CN106059525A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610096449.1

申请日：2016-02-22

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  韩成 ,  申兰姬 ,  李华善 ,  辛承柱

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/58

CPC classification number: H01L41/0477 ,  H03H9/13 ,  H03H9/173 ,  H03H9/587 ,  H03H9/605

Abstract: 在示例中，提供了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极和第二电极，形成在基板上；压电层，形成在第一电极与第二电极之间，其中，第一电极和第二电极中的至少一个由包括钼元素的合金形成。另外，这样的体声波谐振器可包括形成在基板与第一电极之间的气腔。

公开(公告)号：CN112087215B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN201911291846.4

申请日：2019-12-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  庆济弘 ,  李文喆 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17

Abstract: 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板，包括外部连接电极；连接层，连接到所述外部连接电极且设置在所述基板上；第一电极，被设置为覆盖所述连接层的至少一部分；压电层，被设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，被设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述连接层可被设置为围绕腔，并且可连接到所述第一电极和所述第二电极。

公开(公告)号：CN111585538B

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN201910981147.6

申请日：2019-10-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  庆济弘 ,  金成善 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极，并且还包括中央部和沿所述中央部的周边设置的延伸部；以及插入层，设置在所述延伸部中并位于所述第一电极和所述压电层之间，并且所述插入层利用含钪(Sc)的铝合金形成。

公开(公告)号：CN115642892A

公开(公告)日：2023-01-24

申请号：CN202210285769.7

申请日：2022-03-22

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩相宪 ,  韩源 ,  李泰勳 ,  林昶贤 ,  申兰姬

IPC: H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括基板和谐振部分。所述谐振部分具有中央部分和延伸部分，在所述中央部分中，第一电极、第一压电层、第二压电层和第二电极按顺序堆叠在所述基板上，所述延伸部分从所述中央部分向外延伸并包括插入层。所述第一压电层的平均厚度与所述第二压电层的平均厚度的比值为18.4％至40％。

公开(公告)号：CN111585538A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201910981147.6

申请日：2019-10-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  庆济弘 ,  金成善 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极，并且还包括中央部和沿所述中央部的周边设置的延伸部；以及插入层，设置在所述延伸部中并位于所述第一电极和所述压电层之间，并且所述插入层利用含钪(Sc)的铝合金形成。

公开(公告)号：CN111342798A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201910772357.4

申请日：2019-08-21

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 庆济弘 ,  李泰京 ,  金成善 ,  孙晋淑 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/00

Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地设置在所述第一电极上；以及第二电极，设置在所述压电层上；其中，所述第一电极包括含钪(Sc)铝合金层，并且具有基于算术平均粗糙度的2.4nm或更小的表面粗糙度。

公开(公告)号：CN106257831B

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201610428988.0

申请日：2016-06-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  韩成 ,  李华善 ,  辛承柱 ,  申兰姬

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/56 ,  H03H9/58

Abstract: 本发明公开一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器。根据本发明的一实施例的体声波谐振器可以包括：基板；第一电极和第二电极，形成在所述基板上；压电层，形成在所述第一电极与所述第二电极之间，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个包括钼‑钽合金。