体声波谐振器封装件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115622527A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202210553672.X

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器封装件。所述体声波谐振器封装件包括基板;盖;谐振部,包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,并且设置在所述基板与所述盖之间,其中,所述基板和所述盖在所述第一方向上彼此面对;以及盖熔化构件,被设置为当在所述第一方向上观察时围绕所述谐振部并被设置为与所述盖的面对所述基板的表面的一部分接触,并且包括基于所述盖的所述表面的所述一部分的熔化的材料或结构。

    声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107592090A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710059879.0

    申请日:2017-01-24

    Abstract: 提供一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;激活振动区域,所述激活振动区域包括顺序地堆叠在所述基板上的下电极、压电层和上电极;水平谐振抑制部,通过所述压电层形成且设置在所述压电层中,所述水平谐振抑制部具有与所述压电层的压电物理性质不同的压电物理性质。

    声波谐振器封装件及其制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116232272A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202211151329.9

    申请日:2022-09-21

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器封装件及其制造方法。所述声波谐振器封装件包括:声波谐振器,包括位于基板的表面上的声波发生器;盖构件,设置在所述声波发生器上方;结合构件,设置在所述基板和所述盖构件之间以将所述基板和所述盖构件彼此结合;以及布线层,沿着所述盖构件的表面设置,连接到所述声波谐振器。在所述盖构件的表面中,所述结合构件和所述布线层结合到的结合表面至少部分地具有在70nm至3.5μm的范围内的表面粗糙度Rz。

    声波谐振器封装件
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115603695A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202210279111.5

    申请日:2022-03-21

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器封装件,所述声波谐振器封装件包括:基板;声波谐振器,设置在所述基板上;盖,设置在所述基板和所述声波谐振器上;以及结合部分,将所述基板与所述盖彼此结合。所述盖包括容纳所述声波谐振器的中央部分以及设置在所述中央部分的外部并具有结合表面的外部部分。所述外部部分包括与所述结合部分结合的突起以及设置在所述突起之间的至少一个沟槽。所述声波谐振器封装件还包括第一保护层和第二保护层,所述第一保护层和所述第二保护层设置在所述结合表面的形成在所述突起中的每个上的区域上。

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