公开(公告)号：CN112440166B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202010400172.3

申请日：2020-05-13

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 坂上雄哉 ,  和泉裕也 ,  中河原秀司

IPC: B24B7/16 ,  B24B41/00 ,  B24B41/02 ,  B24B41/04

Abstract: 本发明提供一种法兰盘端面修正装置、切断装置、法兰盘端面修正方法以及切断品的制造方法，可修正两个法兰盘端面。本发明的法兰盘端面修正装置对夹持刀片的一对法兰盘的至少一者的端面进行修正，包括夹持端面修正用研磨石的一对研磨石固定构件、支撑所述一对研磨石固定构件的支撑部、以及供配置所述支撑部的端面修正用台，所述一对研磨石固定构件的长边方向的长度互不相同。

公开(公告)号：CN103855058A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310475751.4

申请日：2013-10-12

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 中河原秀司 ,  天川刚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/181 ,  H01L21/67092 ,  B28D5/0058 ,  H01L21/78 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 在旋转刀的外周部能够从作为最上层的基板的表面（上表面）朝向内侧切入的一方向上使旋转刀旋转的状态下，使工作台在+X方向上移动并用旋转刀切削基板。其次，在旋转刀的外周部能够从作为最下层的封装树脂的表面（下表面）朝向内侧切入的状态下，通过使工作台在-X方向上移动并用旋转刀切削封装树脂，从而切断由基板和封装树脂构成的双层结构的树脂封装体。由此，抑制使用旋转刀一起切断树脂封装体时有可能产生的卷边和“毛刺”。

公开(公告)号：CN112440166A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202010400172.3

申请日：2020-05-13

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 坂上雄哉 ,  和泉裕也 ,  中河原秀司

IPC: B24B7/16 ,  B24B41/00 ,  B24B41/02 ,  B24B41/04

Abstract: 本发明提供一种法兰盘端面修正装置、切断装置、法兰盘端面修正方法以及切断品的制造方法，可修正两个法兰盘端面。本发明的法兰盘端面修正装置对夹持刀片的一对法兰盘的至少一者的端面进行修正，包括夹持端面修正用研磨石的一对研磨石固定构件、支撑所述一对研磨石固定构件的支撑部、以及供配置所述支撑部的端面修正用台，所述一对研磨石固定构件的长边方向的长度互不相同。

公开(公告)号：CN103855058B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201310475751.4

申请日：2013-10-12

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 中河原秀司 ,  天川刚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 在旋转刀的外周部能够从作为最上层的基板的表面（上表面）朝向内侧切入的一方向上使旋转刀旋转的状态下，使工作台在+X方向上移动并用旋转刀切削基板。其次，在旋转刀的外周部能够从作为最下层的封装树脂的表面（下表面）朝向内侧切入的状态下，通过使工作台在‑X方向上移动并用旋转刀切削封装树脂，从而切断由基板和封装树脂构成的双层结构的树脂封装体。由此，抑制使用旋转刀一起切断树脂封装体时有可能产生的卷边和“毛刺”。