切断装置以及切断方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107210206A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680008290.1

    申请日:2016-01-06

    Abstract: 将形成有第1标记(17)的切断用夹具(9)安装于切断用工作台(8)。第1标记(17)与形成于已密封基板(1)的第2标记(4)对应。预先测量第1标记(17)的位置(第1坐标位置)并存储起来。将已密封基板(1)放置在切断用夹具(9)上,测量第2标记的位置(第2坐标位置)。比较第1坐标位置和第2坐标位置,算出已密封基板(1)的偏离量。自切断用夹具(9)提起已密封基板(1),使已密封基板(1)依据偏离量进行移动,将已密封基板(1)再次放置到切断用夹具(9)上。由此,能使已密封基板(1)的切断线的位置与切断用夹具(9)的切断槽的位置准确地对齐,因此能沿位于切断槽上的切断线将已密封基板(1)切断。

    切断装置以及通过切断被切断物而制造多个产品的方法

    公开(公告)号:CN107210206B

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN201680008290.1

    申请日:2016-01-06

    Abstract: 将形成有第1标记(17)的切断用夹具(9)安装于切断用工作台(8)。第1标记(17)与形成于已密封基板(1)的第2标记(4)对应。预先测量第1标记(17)的位置(第1坐标位置)并存储起来。将已密封基板(1)放置在切断用夹具(9)上,测量第2标记的位置(第2坐标位置)。比较第1坐标位置和第2坐标位置,算出已密封基板(1)的偏离量。自切断用夹具(9)提起已密封基板(1),使已密封基板(1)依据偏离量进行移动,将已密封基板(1)再次放置到切断用夹具(9)上。由此,能使已密封基板(1)的切断线的位置与切断用夹具(9)的切断槽的位置准确地对齐,因此能沿位于切断槽上的切断线将已密封基板(1)切断。

    制造装置及制造方法以及制造系统

    公开(公告)号:CN106098622A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610284030.9

    申请日:2016-04-29

    CPC classification number: H01L21/78

    Abstract: 本发明的课题为不发生旋转刀的蛇行而切断厚度厚的被切断物。解决手段是使用厚度t1薄、刀头伸出量L1短的旋转刀8a和厚度t2厚、刀头伸出量L2长的旋转刀8c,分2个阶段切断厚度厚的封装基板1。首先,使用具有薄厚度t1、短刀头伸出量L1的旋转刀8a,沿着多个虚拟切断线5切削封装基板(被切断物)1具有的全部厚度中的一部分厚度,从而形成切削槽10。接着,通过使用厚厚度t2、长刀头伸出量L2的旋转刀8c,沿着多个切削槽10切削封装基板1具有的全部厚度中的剩余部分,从而切断封装基板1。通过分2个阶段切断厚度厚的封装基板1,可减小各切削步骤中的加工负荷。因此,可防止旋转刀8a、8c的蛇行。

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