公开(公告)号：CN109585352A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201810939377.1

申请日：2018-08-17

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 原田昭如

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/66 ,  H01L21/48 ,  H01L33/48

Abstract: 本发明涉及一种对保持对象物进行保持并用于光学检查的保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置，本发明的课题在于以简单的构成来精度良好地进行保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件(13)对多个保持对象物(10)进行保持并用于光学检查，其包括：弹性树脂(16)，设置有对保持对象物(10)进行吸附以加以保持的多个吸附孔(18)、及配置于多个吸附孔(18)之间的格子状的槽(19)；以及反射层(20)，配置于槽(19)上。

公开(公告)号：CN109560015B

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN201811115334.8

申请日：2018-09-25

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 原田昭如 ,  石桥干司 ,  白井克昌

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种加工装置，能够减少残留在构成保护罩的多个罩元件上表面的加工屑。本发明的加工装置包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述多个保护罩相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。

公开(公告)号：CN109560015A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201811115334.8

申请日：2018-09-25

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 原田昭如 ,  石桥干司 ,  白井克昌

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种加工装置，能够减少残留在构成保护罩的多个罩元件上表面的加工屑。本发明的加工装置包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述多个保护罩相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。