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公开(公告)号:CN110789042A
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201910644826.4
申请日:2019-07-17
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法,着眼于树脂成形时基板的变形量,抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形,所述树脂成形装置包括:第一模(2),保持成形对象物(W1)的第一面(Wa),具有与第一面(Wa)之间形成空间的凹部(2M);第二模(3),与第一模(2)相向地设置,具有容纳树脂材料(J)的模腔(3C);气体供给部(6),向凹部(2M)内供给气体;变形测量部(8),测量与成形对象物(W1)的变形相关的信息;以及控制部(9),基于变形测量部(8)的测量结果,控制由气体供给部(6)供给的气体量。
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公开(公告)号:CN108568928A
公开(公告)日:2018-09-25
申请号:CN201810181874.X
申请日:2018-03-06
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种树脂密封装置、树脂成形方法以及树脂成形品的制造方法。本发明抑制引线弯曲、树脂漏出、及未填充等成形不良情况并可进行成形模块内部的减压。树脂密封装置具备成形模块(1)、真空度的控制单元(8)、减压单元(3)、及真空计(2)。真空度的控制单元(8)具备真空度控制阀(6)、切换阀(4、5)、及真空度的控制部(9)。在经由切换阀(4、5)而将成形模块(1)与减压单元(3)连结的第1气体流路(30a)的成形模块(1)与切换阀(4、5)之间,连结有与真空度控制阀(6)连结的第2气体流路(33a)。
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公开(公告)号:CN101180170B
公开(公告)日:2013-08-07
申请号:CN200680017256.7
申请日:2006-10-17
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: H01L21/565 , B29C43/18 , B29C43/34 , H01L21/566 , H01L23/3121 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种装置(50),具有向模具组件(1、2、3)供给树脂材料(41)的树脂供给机构(40)。在树脂供给机构(40)的供给部(46)设置有树脂盘(42)。树脂盘(42)包括具有沿着与闸门(42A)的打开方向垂直的方向延伸的多个开口的盘用狭缝部件(42B)。所需量的树脂材料(41)在被引入狭缝部件(42B)的多个开口内后,在闸门(42A)打开的大致同时被向模腔空间部(9)供给。
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公开(公告)号:CN110271169A
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201910136378.7
申请日:2019-02-25
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。根据本发明,即便在仅对成形对象物的单面进行树脂密封的情况下,也抑制成形对象物的变形量。树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置,且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部,树脂成形装置包括:气体供给部,对凹部内供给气体;气压测量部,进行与凹部内的气压相关的测量;以及控制部,基于气压测量部的测量结果来控制气体供给部的气体供给量,以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。
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公开(公告)号:CN103395157A
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:CN201310330206.6
申请日:2006-10-17
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: H01L21/565 , B29C43/18 , B29C43/34 , H01L21/566 , H01L23/3121 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种电子器件的树脂封固成形装置(50),具有向模具组件(1、2、3)供给树脂材料(41)的树脂供给机构(40)。在树脂供给机构(40)的供给部(46)设置有树脂盘(42)。树脂盘(42)包括具有沿着与闸门(42A)的打开方向垂直的方向延伸的多个开口的盘用狭缝部件(42B)。所需量的树脂材料(41)在被引入狭缝部件(42B)的多个开口内后,在闸门(42A)打开的大致同时被向模腔空间部(9)供给。
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公开(公告)号:CN110789042B
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN201910644826.4
申请日:2019-07-17
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法,着眼于树脂成形时基板的变形量,抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形,所述树脂成形装置包括:第一模(2),保持成形对象物(W1)的第一面(Wa),具有与第一面(Wa)之间形成空间的凹部(2M);第二模(3),与第一模(2)相向地设置,具有容纳树脂材料(J)的模腔(3C);气体供给部(6),向凹部(2M)内供给气体;变形测量部(8),测量与成形对象物(W1)的变形相关的信息;以及控制部(9),基于变形测量部(8)的测量结果,控制由气体供给部(6)供给的气体量。
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公开(公告)号:CN108568928B
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN201810181874.X
申请日:2018-03-06
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种树脂密封装置、树脂成形方法以及树脂成形品的制造方法。本发明抑制引线弯曲、树脂漏出、及未填充等成形不良情况并可进行成形模块内部的减压。树脂密封装置具备成形模块(1)、真空度的控制单元(8)、减压单元(3)、及真空计(2)。真空度的控制单元(8)具备真空度控制阀(6)、切换阀(4、5)、及真空度的控制部(9)。在经由切换阀(4、5)而将成形模块(1)与减压单元(3)连结的第1气体流路(30a)的成形模块(1)与切换阀(4、5)之间,连结有与真空度控制阀(6)连结的第2气体流路(33a)。
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公开(公告)号:CN101180170A
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN200680017256.7
申请日:2006-10-17
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: H01L21/565 , B29C43/18 , B29C43/34 , H01L21/566 , H01L23/3121 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种装置(50),具有向模具组件(1、2、3)供给树脂材料(41)的树脂供给机构(40)。在树脂供给机构(40)的供给部(46)设置有树脂盘(42)。树脂盘(42)包括具有沿着与闸门(42A)的打开方向垂直的方向延伸的多个开口的盘用狭缝部件(42B)。所需量的树脂材料(41)在被引入狭缝部件(42B)的多个开口内后,在闸门(42A)打开的大致同时被向模腔空间部(9)供给。
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公开(公告)号:CN110271169B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201910136378.7
申请日:2019-02-25
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。根据本发明,即便在仅对成形对象物的单面进行树脂密封的情况下,也抑制成形对象物的变形量。树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置,且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部,树脂成形装置包括:气体供给部,对凹部内供给气体;气压测量部,进行与凹部内的气压相关的测量;以及控制部,基于气压测量部的测量结果来控制气体供给部的气体供给量,以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。
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公开(公告)号:CN103395158B
公开(公告)日:2015-10-07
申请号:CN201310330229.7
申请日:2006-10-17
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: H01L21/565 , B29C43/18 , B29C43/34 , H01L21/566 , H01L23/3121 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种装置(50),具有向模具组件(1、2、3)供给树脂材料(41)的树脂供给机构(40)。在树脂供给机构(40)的供给部(46)设置有树脂盘(42)。树脂盘(42)包括具有沿着与闸门(42A)的打开方向垂直的方向延伸的多个开口的盘用狭缝部件(42B)。所需量的树脂材料(41)在被引入狭缝部件(42B)的多个开口内后,在闸门(42A)打开的大致同时被向模腔空间部(9)供给。
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