公开(公告)号：CN102918178B

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201080067184.3

申请日：2010-06-01

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 白幡孝洋 ,  织田容征 ,  吉田章男 ,  藤田静雄 ,  川原村敏幸

IPC: C23C16/40

CPC classification number: C23C16/407 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1279 ,  C23C18/1287 ,  C23C18/1291

Abstract: 在本发明的一实施例所述的成膜装置(100)中，具备第一溶液容器(5A)、第二溶液容器(5B)、反应容器(1)、第一经路(L1)及第二经路(L2)。第一溶液容器(5A)装有含有金属的材料溶液(10)。第二溶液容器(5B)中装有过氧化氢。反应容器(1)配置有基板(2)且具有对基板进行加热的加热器(3)。第一经路(L1)将材料溶液(10)从第一溶液容器(5A)向反应容器(1)中供给。第二经路(L2)将过氧化氢从第二溶液容器(5B)向反应容器(1)中供给。

公开(公告)号：CN102802817A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200980160117.3

申请日：2009-06-23

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 吉田章男 ,  小仓正久

IPC: B06B1/02 ,  B23K20/10

CPC classification number: B23K20/106 ,  B23K20/22 ,  B23K2103/54 ,  B24B7/16 ,  B24B19/02 ,  B24B19/16 ,  B24B27/0633 ,  B24C1/00 ,  H01L2224/48456

Abstract: 本发明的目的在于提供即使对于玻璃基板等板厚小于等于2mm的薄膜基体、也能顺利地将引线接合在其表面上的超声波接合用工具。而且，在本发明中，超声波接合装置所使用的超声波接合用工具(1)的尖端部分(1c)的表面部分包括：相互分离而形成的多个平面部(10)；以及形成于多个平面部之间的多个凹部(11)，多个平面部(10)分别具有小于等于2μm的平面度。

公开(公告)号：CN105706249A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201380080714.1

申请日：2013-11-06

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 一濑明大 ,  山田义人 ,  西中大之 ,  吉田章男

IPC: H01L31/046 ,  B23K20/10 ,  H01R43/02

CPC classification number: B23K20/106 ,  B23K20/002 ,  B23K20/10 ,  B23K2101/40 ,  H01L24/74 ,  H01L31/02008 ,  H01L31/18 ,  H01L2224/75343 ,  H01L2224/81205 ,  H01L2224/83205 ,  H01R43/0207

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种对电极实施多点的超声波振动接合处理、且即使对基板使电极以较小的剥离力接合也能抑制各点的剥离力的偏差的电极接合装置。并且，本发明在太阳能电池单元(ST1)上使集电电极(20A、20B)沿着玻璃基板(1)的端边部(L1、L2)配置。然后，由按压构件(12A)在从端边部到配置集电电极的位置为止的玻璃基板的区域沿着端边部按压玻璃基板。然后，一边进行该按压，一边使用超声波振动工具(14)对集电电极实施超声波振动接合处理。

公开(公告)号：CN102461348B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN200980160111.6

申请日：2009-06-23

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 吉田章男 ,  小仓正久

IPC: H05K3/10 ,  B23K20/10 ,  H01R4/02

CPC classification number: H01R4/029 ,  B23K20/106 ,  H01R4/62 ,  H01R43/0207 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/09 ,  H05K3/328 ,  H05K3/38 ,  H05K3/4015 ,  H05K2201/0317 ,  H05K2201/10287 ,  H05K2201/1034 ,  H05K2203/0195 ,  H05K2203/0285

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在薄膜基体的表面具有能够发挥良好的外部信号传输功能的电极的电极基体。本发明使用超声波接合方法将由铝材料构成的引线(2)接合在板厚大致为0.7～2.0mm的薄膜基体的玻璃基板(3)的表面上。然后，从引线(2)的一侧端部的表面上起向着玻璃基板(3)外的区域形成有由铜构成的外部取出电极(23)。引线(2)起到作为内部信号收发部的作用，外部取出电极(23)具有外部信号传输功能。

公开(公告)号：CN103209916B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201080070063.4

申请日：2010-11-30

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 三浦秀树 ,  米泽重之 ,  吉田章男 ,  西中大之 ,  小林宏

IPC: B65H51/28 ,  B65H51/22 ,  B65H59/02

CPC classification number: B65H51/28 ,  B65H49/18 ,  B65H51/20 ,  B65H59/36 ,  B65H2701/36

Abstract: 本发明提供一种在从导线卷轴引出导线的情况下也能够防止该导线的断线的导线引出装置。为此，本发明所涉及的导线引出装置(100)具备：导线卷轴(1)，其供导线(2)卷绕；两个固定导线接受部(4、5)，它们在规定位置固定，且能够供从导线卷轴(1)引出的导线(2)滑行；可动导线接受部(6)，其存在于两个固定导线接受部(4、5)之间，能够在下部与导线(2)接触，且能够沿上下方向移动；压下部(3)，其能够向下方压下可动导线接受部(6)。

公开(公告)号：CN102482777B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN200980161287.3

申请日：2009-09-02

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 织田容征 ,  白幡孝洋 ,  吉田章男 ,  藤田静雄 ,  龟山直季 ,  川原村敏幸

IPC: C23C18/12 ,  B05D3/02 ,  H01L21/288

CPC classification number: C23C18/1216 ,  C23C18/1258 ,  C23C18/1291 ,  H01G9/2031 ,  H01L29/7869 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明的目的是提供一种可以使形成的金属氧化膜维持在低电阻且进一步提高生产效率的金属氧化膜的成膜方法。本发明的金属氧化膜的成膜方法中，具备下述的各工序。首先，将含有金属元素和乙二胺(4a)的溶液(4)雾化。另一方面，加热基板(2)。然后，向通过上述加热工序而成为加热状态的基板(2)的第一主面上供给在上述工序中经雾化的溶液(4)。

公开(公告)号：CN103209916A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201080070063.4

申请日：2010-11-30

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 三浦秀树 ,  米泽重之 ,  吉田章男 ,  西中大之 ,  小林宏

IPC: B65H51/28 ,  B65H51/22 ,  B65H59/02

CPC classification number: B65H51/28 ,  B65H49/18 ,  B65H51/20 ,  B65H59/36 ,  B65H2701/36

Abstract: 本发明提供一种在从导线卷轴引出导线的情况下也能够防止该导线的断线的导线引出装置。为此，本发明所涉及的导线引出装置(100)具备：导线卷轴(1)，其供导线(2)卷绕；两个固定导线接受部(4、5)，它们在规定位置固定，且能够供从导线卷轴(1)引出的导线(2)滑行；可动导线接受部(6)，其存在于两个固定导线接受部(4、5)之间，能够在下部与导线(2)接触，且能够沿上下方向移动；压下部(3)，其能够向下方压下可动导线接受部(6)。

公开(公告)号：CN102461348A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN200980160111.6

申请日：2009-06-23

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 吉田章男 ,  小仓正久

IPC: H05K3/10 ,  B23K20/10 ,  H01R4/02

CPC classification number: H01R4/029 ,  B23K20/106 ,  H01R4/62 ,  H01R43/0207 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/09 ,  H05K3/328 ,  H05K3/38 ,  H05K3/4015 ,  H05K2201/0317 ,  H05K2201/10287 ,  H05K2201/1034 ,  H05K2203/0195 ,  H05K2203/0285

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在薄膜基体的表面具有能够发挥良好的外部信号传输功能的电极的电极基体。本发明使用超声波接合方法将由铝材料构成的引线(2)接合在板厚大致为0.7～2.0mm的薄膜基体的玻璃基板(3)的表面上。然后，从引线(2)的一侧端部的表面上起向着玻璃基板(3)外的区域形成有由铜构成的外部取出电极(23)。引线(2)起到作为内部信号收发部的作用，外部取出电极(23)具有外部信号传输功能。

公开(公告)号：CN102405305B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN200980158921.8

申请日：2009-04-20

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 织田容征 ,  白幡孝洋 ,  吉田章男 ,  藤田静雄 ,  亀山直季

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448

CPC classification number: C23C16/407 ,  C23C16/405 ,  C23C16/448 ,  C23C16/4486

Abstract: 本发明的目的是提供一种可以使形成的金属氧化膜维持在低电阻且进一步提高生产效率的金属氧化膜的成膜方法。而且，在本发明的金属氧化膜的成膜方法中，将含有金属元素和氨(4a)的溶液(4)雾化。另一方面，加热基板(2)。然后，向该加热中的基板(2)的第一主面上供给经雾化的溶液(4)。

公开(公告)号：CN103314134B

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201180065147.3

申请日：2011-03-15

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 织田容征 ,  白幡孝洋 ,  吉田章男

IPC: C23C18/02 ,  B05B1/04 ,  C23C16/455

CPC classification number: H01L31/1876 ,  B05B1/04 ,  B05B7/0012 ,  B05B7/0416 ,  B05B7/0458 ,  C23C16/4486 ,  C23C16/45514 ,  C23C16/45595

Abstract: 本发明的目的在于提供一种成膜装置，该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出，且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且，本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备：具有空心部(1H)的主体部(1A)；供给薄雾的薄雾供给口(5a)；将薄雾喷射到外部的喷射口(8)；供给载气的载气供给口(6a)；及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此，通过淋浴板的配置，空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T)，薄雾供给口与第二空间连接。