多层配线基板和使用该多层配线基板的探针卡

    公开(公告)号:CN103796420B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201310473368.5

    申请日:2013-10-11

    Abstract: 本发明提供一种多层配线基板和使用该多层配线基板的探针卡,本发明的目的在于提高薄膜电阻器的针对安装有上述薄膜电阻器的多层配线基板的热变化的耐久性。多层配线基板包括:绝缘板,其由多个具有绝缘性的合成树脂层构成;配线电路,其设于该绝缘板;薄膜电阻器,其以沿着上述多个合成树脂层中的至少1个合成树脂层埋设于该合成树脂层内的方式形成,且被插入到上述配线电路中;以及热伸缩抑制层,其以被埋设于与埋设、形成有该薄膜电阻器的上述合成树脂层相邻的上述合成树脂层的方式形成并以在向该多层配线基板的厚度方向投影时与上述薄膜电阻器重叠的方式配置,该热伸缩抑制层具有比上述相邻的两合成树脂层的线膨胀系数小的线膨胀系数。

    布线基板及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103025057A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210358472.5

    申请日:2012-09-24

    Abstract: 一种布线基板及其制造方法,在制造布线基板时,抑制在蚀刻形成多个布线层时产生胡须,防止这些多个布线层之间的短路,并且防止构成布线层的膜状导体部的凹陷,提高这些多个布线层与基板的密合强度。该布线基板具有:基板主体,具有第1主面和与该第1主面相对的第2主面;多个第1主面侧布线层,包括形成于第1主面上的电阻体、形成于该电阻体上的由电阻值低于电阻体的金属构成的基底金属层、和形成于该基底金属层上的导电层;第2主面侧布线层,形成于第2主面上;以及通孔,形成于基板主体内,使第1主面侧布线层和第2主面侧布线层之间电气导通,所述布线基板具有包覆多个第1主面侧布线层的上表面和侧面的导电性包覆层。

Patent Agency Ranking