公开(公告)号：CN107195632A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201610772893.0

申请日：2016-08-30

Applicant: 东芝存储器株式会社

Inventor： 石田贵士 ,  藤木润 ,  荒井伸也 ,  荒井史隆 ,  青地英明 ,  藤井光太郎

IPC: H01L27/115

Abstract: 本申请的发明涉及一种半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置包含第1配线部、第1导电型的第1半导体区域、积层体、柱状部、多个第1绝缘部、及多个半导体区域列。第1配线部隔着第1绝缘膜设置在衬底上。第1半导体区域隔着第2绝缘膜设置在第1配线部上。积层体设置在第1半导体区域上。积层体包含交替地积层的多个第3绝缘膜及多个电极层。柱状部设置在积层体内。柱状部包含半导体主体及电荷累积膜。多个第1绝缘部设置在积层体内。多个第1绝缘部与第1半导体区域相接。多个半导体区域列设置在第1半导体区域内。多个半导体区域列分别包含相互分离的第2导电型的多个第2半导体区域。多个第2半导体区域设置在多个第1绝缘部的下方，且沿着第1绝缘部在第1方向上排列。多个第2半导体区域与第1配线部电连接。

公开(公告)号：CN107170745B

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN201710073374.X

申请日：2017-02-10

Applicant: 东芝存储器株式会社

Inventor： 藤木润 ,  荒井伸也

IPC: H01L27/11551 ,  H01L27/11578

Abstract: 本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置包含第1半导体区域、积层体、多个柱状部、壁状的多个第1绝缘部及柱状的多个第2绝缘部。积层体设置在第1半导体区域上且包含交替地积层的多个绝缘体与多个电极层。柱状部设置在积层体内且沿积层体的积层方向延伸并包含半导体主体与电荷蓄积膜，半导体主体与第1半导体区域相接。第1绝缘部设置在积层体内并沿积层方向及与积层方向交叉的第1方向延伸且与第1半导体区域相接。第2绝缘部设置在积层体内且沿积层方向延伸并与第1半导体区域相接。第2绝缘部的沿着与第1方向在平面内交叉的第2方向的宽度比第1绝缘部的沿着第2方向的宽度宽。第2绝缘部俯视观察时配置成错位格子状。

公开(公告)号：CN107170745A

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201710073374.X

申请日：2017-02-10

Applicant: 东芝存储器株式会社

Inventor： 藤木润 ,  荒井伸也

IPC: H01L27/11551 ,  H01L27/11578

Abstract: 本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置包含第1半导体区域、积层体、多个柱状部、壁状的多个第1绝缘部及柱状的多个第2绝缘部。积层体设置在第1半导体区域上且包含交替地积层的多个绝缘体与多个电极层。柱状部设置在积层体内且沿积层体的积层方向延伸并包含半导体主体与电荷蓄积膜，半导体主体与第1半导体区域相接。第1绝缘部设置在积层体内并沿积层方向及与积层方向交叉的第1方向延伸且与第1半导体区域相接。第2绝缘部设置在积层体内且沿积层方向延伸并与第1半导体区域相接。第2绝缘部的沿着与第1方向在平面内交叉的第2方向的宽度比第1绝缘部的沿着第2方向的宽度宽。第2绝缘部俯视观察时配置成错位格子状。