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公开(公告)号：CN101548174A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200880000873.5
申请日：2008-02-19
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/314 , G01N21/94 , G01N2021/3174 , G01N2021/945 , G01N2201/0221
Abstract: 装置1包括泛光灯单元20、接收器单元30以及处理单元40。泛光灯单元20将红外光施加到工件50的表面，并且包括面光源21和聚焦透镜23。接收器单元30接收从工件50的表面反射的红外光，并且包括接收器传感器31和滤光器33，该滤光器33透过具有该表面上的污染物51吸收的波长的红外光。处理单元40根据从该表面反射的红外光的吸光度来评估工件50的表面的清洁度。并且将来自该表面的反射红外光的接收区域Rb设定为小于施加到该表面的红外光的施加区域Ra。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103674872B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201310055358.X
申请日：2013-02-21
Applicant: 仓敷纺织株式会社
IPC: G01N21/33
CPC classification number: G01N21/61 , G01N21/636 , G01N21/75 , G01N2021/755 , Y10T436/203332
Abstract: 本申请提供一种无需添加添加剂，且能够在线直接测定高级氧化活性物种的浓度的高级氧化活性物种的浓度测定方法以及浓度测定装置。一种高级氧化活性物种的浓度测定方法，包括：测定样品的包括波长195~205nm的波长区域的吸光特性的工序；以及基于包括波长195~205nm的波长区域中的高级氧化活性物种的吸光系数，根据测定的所述吸光特性求出高级氧化活性物种的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN102969257A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210311001.9
申请日：2012-08-28
Applicant: 仓敷纺织株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/306
CPC classification number: H01L21/67086 , G01N21/3577 , H01L21/31111 , H01L21/67248 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，由于可直接检测处理液的浓度，所以能够进行独立的浓度控制，且由于不易产生因透镜温度变化引起的测定误差，因此能够高精度地进行基板的药液处理。一种在由磷酸和稀释液混合而成的处理液中浸渍基板而进行处理的基板处理装置，具备通过测定处理液的吸光特性而检测处理液浓度的浓度检测单元，浓度检测单元具备：透光部，将处理液导入内部并使之在内部流通；发光部，向透光部照射规定波长的光；受光部，通过透光部接收来自发光部的光；第一透镜，将由发光部发出的光汇聚于透光部；第二透镜，将通过透光部的光汇聚于受光部；和冷却机构，冷却第一透镜和第二透镜中的至少任一个。
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公开(公告)号：CN102969257B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210311001.9
申请日：2012-08-28
Applicant: 仓敷纺织株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/306
CPC classification number: H01L21/67086 , G01N21/3577 , H01L21/31111 , H01L21/67248 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，由于可直接检测处理液的浓度，所以能够进行独立的浓度控制，且由于不易产生因透镜温度变化引起的测定误差，因此能够高精度地进行基板的药液处理。一种在由磷酸和稀释液混合而成的处理液中浸渍基板而进行处理的基板处理装置，具备通过测定处理液的吸光特性而检测处理液浓度的浓度检测单元，浓度检测单元具备：透光部，将处理液导入内部并使之在内部流通；发光部，向透光部照射规定波长的光；受光部，通过透光部接收来自发光部的光；第一透镜，将由发光部发出的光汇聚于透光部；第二透镜，将通过透光部的光汇聚于受光部；和冷却机构，冷却第一透镜和第二透镜中的至少任一个。
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公开(公告)号：CN103674872A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310055358.X
申请日：2013-02-21
Applicant: 仓敷纺织株式会社
IPC: G01N21/33
CPC classification number: G01N21/61 , G01N21/636 , G01N21/75 , G01N2021/755 , Y10T436/203332
Abstract: 本申请提供一种无需添加添加剂，且能够在线直接测定高级氧化活性物种的浓度的高级氧化活性物种的浓度测定方法以及浓度测定装置。一种高级氧化活性物种的浓度测定方法，包括：测定样品的包括波长195~205nm的波长区域的吸光特性的工序；以及基于包括波长195~205nm的波长区域中的高级氧化活性物种的吸光系数，根据测定的所述吸光特性求出高级氧化活性物种的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN101548174B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200880000873.5
申请日：2008-02-19
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/314 , G01N21/94 , G01N2021/3174 , G01N2021/945 , G01N2201/0221
Abstract: 装置1包括泛光灯单元20、接收器单元30以及处理单元40。泛光灯单元20将红外光施加到工件50的表面，并且包括面光源21和聚焦透镜23。接收器单元30接收从工件50的表面反射的红外光，并且包括接收器传感器31和滤光器33，该滤光器33透过具有该表面上的污染物51吸收的波长的红外光。处理单元40根据从该表面反射的红外光的吸光度来评估工件50的表面的清洁度。并且将来自该表面的反射红外光的接收区域Rb设定为小于施加到该表面的红外光的施加区域Ra。
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