砷化镓单晶基板
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113423876B

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN201980091920.X

    申请日:2019-07-10

    Abstract: 一种砷化镓单晶基板,具有圆形主面,其中,所述砷化镓单晶基板在将所述主面的直径表示为D、并且测定了通过将所述砷化镓单晶基板在500℃的熔融氢氧化钾中浸渍10分钟而形成在所述主面上的蚀坑的个数的情况下,以所述主面的中心为中心具有0.2D长度的直径的第一圆区域中的所述蚀坑的个数C1为0以上且10以下。

    砷化镓单晶基板
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113423876A

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201980091920.X

    申请日:2019-07-10

    Abstract: 一种砷化镓单晶基板,具有圆形主面,其中,所述砷化镓单晶基板在将所述主面的直径表示为D、并且测定了通过将所述砷化镓单晶基板在500℃的熔融氢氧化钾中浸渍10分钟而形成在所述主面上的蚀坑的个数的情况下,以所述主面的中心为中心具有0.2D长度的直径的第一圆区域中的所述蚀坑的个数C1为0以上且10以下。

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