公开(公告)号：CN102543638B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201110462520.0

申请日：2011-11-03

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： S·比恩 ,  R·罗兰 ,  S·希斯

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/222 ,  G02B21/367 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/225 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明提供操作带电粒子显微镜的方法以及显微镜系统。该方法包括：使用第一设置下的带电粒子显微镜记录物体的第一区域的第一图像；使用第二设置下的带电粒子显微镜记录物体的第二区域的第二图像；第二设置与第一设置在用于成像的一次带电粒子的动能、探测器设置、一次带电粒子的束电流和测量室内的压强中的至少一个上不同；读取物体的第三区域的第三图像，第一和第二区域至少部分地包含在第三区域中；显示第三图像的至少一部分；在第三图像中至少部分地显示第一图像的图示，第一图像的图示包括指示第一设置的第一指示体；在第三图像中至少部分地显示第二图像的图示，第二图像的图示包括指示第二设置的第二指示体，第二指示体不同于第一指示体。