公开(公告)号：CN106461581B

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201580026552.2

申请日：2015-05-15

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： R·戈莎尹 ,  S·乔希

IPC: G01N23/2251 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/6466 ,  G01N2223/66 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/24592 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 本发明提供用于产生缺陷样本用于电子束重检的各种实施例。一种方法包含逐缺陷地组合通过在其上检测到缺陷的晶片的光学检验确定的缺陷中的一或多个第一属性与通过所述晶片的光学重检确定的所述缺陷中的一或多个第二属性，借此产生所述缺陷的组合属性。所述方法还包含基于所述缺陷的所述组合属性将所述缺陷分离为级别。所述级别对应于不同缺陷分类。此外，所述方法包含基于所述缺陷已被分离为的所述级别对所述缺陷中的一或多者取样用于所述电子束重检，借此产生缺陷重检样本用于所述电子束重检。

公开(公告)号：CN105280463B

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201510384825.2

申请日：2015-06-30

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： P.波托塞克 ,  F.博格霍贝尔 ,  B.H.里奇 ,  M.兰格霍斯特

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  G02B21/002 ,  G02B21/008 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/226

Abstract: 一种使用扫描类型显微镜积累标本的图像的方法，其中考虑在标本内的给定点pi，所述方法包括下面的步骤：在第一探查期中，采用第一射束配置B1以关联的第一点扩散函数F1照射点pi，由此所述射束配置不同于所述测量参数；在至少第二探查期中，采用第二射束配置B2以关联的第二点扩散函数F2照射点pi，由此：F2在点pi所在的公共交叠区Oi中部分地与F1交叠；F1和F2具有在Oi之外的各自的非交叠区F1’和F2’，在所述计算机处理设备中使用源分离算法在与所述非交叠区F1’和F2’分开地考虑的所述交叠区Oi中执行图像重构。

公开(公告)号：CN106158567B

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201610517840.4

申请日：2013-03-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小西弥生 ,  佐藤贡 ,  高野昌树 ,  玉山尚太朗 ,  西村雅子 ,  渡边俊哉 ,  许斐麻美

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。

公开(公告)号：CN107230649A

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201710182754.7

申请日：2017-03-24

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 满欣 ,  上本敦

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  G02B21/361 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明涉及剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。在短时间内高精度地进行包含特定观察对象物的特定部位的加工，并且，迅速地生成特定观察对象物的高分辨率的三维立体像。具有：位置信息取得工序，使用光学显微镜或电子显微镜对观察对象的样品整体进行观察，取得所述样品所包含的特定观察对象物的在所述样品内的大概的三维位置坐标信息；剖面加工工序，基于所述三维位置坐标信息，朝向所述样品之中所述特定观察对象物所存在的特定部位照射聚焦离子束，使该特定部位的剖面露出；剖面像取得工序，向所述剖面照射电子束，取得包含所述特定观察对象物的规定的大小的区域的图像；以及立体像生成工序，以规定间隔沿着规定方向多次重复进行所述剖面加工工序和所述剖面像取得工序，根据所取得的多个所述剖面图像来构筑包含所述特定观察对象物的三维立体像。

公开(公告)号：CN104681382B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201410718566.8

申请日：2014-12-02

Applicant: FEI 公司

Inventor： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 ,  E.G.T.博世

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2813

Abstract: 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M>1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。

公开(公告)号：CN105659353B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201480058375.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 久保贵 ,  小林弘幸

IPC: H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/10 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。

公开(公告)号：CN105424428A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510572541.6

申请日：2015-09-10

Applicant: FEI公司

Inventor： R.G.I.佩西 ,  J.C.麦克奈尔

IPC: G01N1/28

CPC classification number: H01J37/3177 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  H01J37/222 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  G01N1/28

Abstract: 提供了用于利用双射束系统对样品进行切片与查看处理的方法和装置。切片与查看处理包括提供一位置，该位置用于要收集的由切片与查看过程产生的粒子和材料而不使要查看和成像的样品面模糊。该位置形成为位于样品面下方或前方的底部切口。

公开(公告)号：CN105321170A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510339651.8

申请日：2015-06-18

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.波霍贝

IPC: G06T7/00 ,  G02B21/00 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  G02B21/0024 ,  G02B21/0048 ,  G02B21/008 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2811 ,  G02B21/0052 ,  G06T2207/10061

Abstract: 一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：-提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；-提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；-使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：-在第一采样时段S1中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P1采集检测器数据；-重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{Sn}期间采集的这种群集的集合{Pn}，每个集合的基数N> 1；-通过使用集合{Pn}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{Pn}的不同成员之间的漂移失配。

公开(公告)号：CN104795302A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410583821.2

申请日：2014-10-28

Applicant: FEI公司

Inventor： A.巴克斯鲍姆

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G01N1/44 ,  H01J37/261 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/262 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及具有用于横切应用的过程自动化的图案识别的差分成像。一种方法，用于通过允许操作者在过程期间拍摄多个图像来将差分成像用于涉及TEM样本的应用，所述过程涉及聚焦离子束过程并且覆盖多个图像以创建清楚地示出研磨步骤之间的差异的差分图像。该方法还涉及生成被研磨区域的实时图像，以及使用差分图像的覆盖来示出每个图像中的小改变，并因此加亮离子束研磨位置。该方法还涉及自动化创建差分图像并使用该差分图像来自动研磨后继切片的过程。

公开(公告)号：CN102789944A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201210158607.3

申请日：2012-05-16

Applicant: FEI公司

Inventor： D·W·小菲弗 ,  F·布格霍贝尔

IPC: H01J37/00 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2807 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明涉及具有遮挡检测的带电粒子显微术。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安装在样本保持器上；-使用粒子光学镜筒将至少一束微粒辐射定向到样本上，从而产生使得发射的辐射从样本中发出的相互作用；-使用第一检测器配置C1检测发射的辐射的第一部分并且基于此产生第一图像I1，所述方法包括以下步骤：-使用至少第二检测器配置C2检测发射的辐射的第二部分并且基于此产生第二图像I2，由此C2与C1不同，因而汇编检测器配置集合SD＝{C1，C2}以及相应图像集合SI＝{I1，I2}；-使用计算机处理设备自动地比较SI的不同成员并且利用相对于SD的至少一个成员的被遮挡视线在样本上数学标识至少一个遮挡区域。