公开(公告)号：CN108231513B

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN201711399336.X

申请日：2017-12-21

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： S.坎德尔 ,  T.A.卡斯 ,  L.莱希纳

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 一种用于操作显微镜的方法，该方法包括：记录样本的第一图像其中，该第一图像包含第一特征F1；记录该样本的第二图像其中，该第二图像包含被安排在距该第一特征一定距离处的第二特征F2；将该样本相对于该显微镜移位一定位移记录该样本的第三图像其中，该第三图像包含该第二特征；记录该样本的第四图像其中，该第四图像包含被安排在距该第二特征一定距离处的第三特征F3；并且基于该第一、第二、第三、以及第四图像来确定该第三特征相对于该第一特征的位置

公开(公告)号：CN108231513A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711399336.X

申请日：2017-12-21

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： S.坎德尔 ,  T.A.卡斯 ,  L.莱希纳

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: G02B21/365 ,  G02B21/367 ,  G06T7/33 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/10148 ,  G06T2207/20016 ,  H01J37/28 ,  H01J37/261

Abstract: 一种用于操作显微镜的方法，该方法包括：记录样本的第一图像其中，该第一图像包含第一特征F1；记录该样本的第二图像其中，该第二图像包含被安排在距该第一特征一定距离处的第二特征F2；将该样本相对于该显微镜移位一定位移记录该样本的第三图像其中，该第三图像包含该第二特征；记录该样本的第四图像其中，该第四图像包含被安排在距该第二特征一定距离处的第三特征F3；并且基于该第一、第二、第三、以及第四图像来确定该第三特征相对于该第一特征的位置