公开(公告)号：CN119698682A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202380059458.1

申请日：2023-07-28

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D·蔡德勒 ,  T·施密德 ,  M·科奇 ,  F·蒙克 ,  T·迪特勒

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

Abstract: 公开一种具有磁体配置以分隔一次粒子光学射束路径与二次粒子光学射束路径的粒子光学配置，特别是多束粒子显微镜。该磁体配置具有：第一磁场区域，一次粒子光学射束路径和二次粒子光学射束路径穿过第一磁场区域，用于将一次粒子光学射束路径与二次粒子光学射束路径彼此分隔；第二磁场区域，配置在该一次粒子光学射束路径中并且不配置在该二次粒子光学射束路径中，该第二磁场区域相对于该一次粒子光学射束路径配置在该第一磁场区域的上游，且该第一磁场区域和该第二磁场区域实质上使该一次粒子光学射束路径沿不同方向偏转；第三磁场区域，配置在该一次粒子光学射束路径中并且不配置在该二次粒子光学射束路径中，第三磁场区域相对于一次粒子光学射束路径配置在第二磁场区域的上游，且第一和第三磁场区域实质上使一次粒子光学射束路径沿相同方向偏转。一次粒子光学射束路径进入第三磁场区域的进入方向与该一次粒子光学射束路径从第一磁场区域的离开方向彼此平行且没有偏移。