公开(公告)号：CN116250057A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202180055228.9

申请日：2021-09-07

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： S·舒伯特

IPC: H01J37/141

Abstract: 本发明关于多粒子束系统，其包含磁浸没透镜并包含检测系统。在此处，在束开关和检测系统之间的二次路径中提供第二个别粒子束的交叉，并在交叉区域中配置用于切断二次束的具有中心切口的对比孔径。具有第一磁对比校正透镜的对比校正透镜系统配置于物镜和对比孔径之间，该对比校正透镜系统配置为产生具有可调整强度的磁场并校正在交叉中的二次束相对于多粒子束系统的光轴的束倾斜。因此，对于不同的个别图像，可获得更均匀的对比度，并整体上可提高对比度。

公开(公告)号：CN116195026A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202180065347.2

申请日：2021-08-04

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： S·舒伯特

IPC: H01J37/26

Abstract: 本发明关于一种具有镜像操作模式的多粒子束系统、一种用于操作具有镜像操作模式的多粒子束系统的方法以及一种相关的计算机程序产品。该多粒子束系统可在允许周密检测和重新校正该多粒子束系统的不同镜像操作模式下操作。一种构造成在第一检测模式下和/或在第二检测模式下操作的检测系统用于该分析。

公开(公告)号：CN117957631A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202280062793.2

申请日：2022-08-31

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： S·舒伯特

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明揭示一种用于在对比操作模式下操作多束粒子显微镜的方法，该方法包含以下步骤：用多个带电的第一个别粒子束照射一对象，其中每个第一个别粒子束以扫描方式照射该对象的个别场区域；收集由于所述第一个别粒子束而从该对象出现或发出的第二个别粒子束；将所述第二个别粒子束以散焦方式投射到一检测单元的检测区域上，使得从两个不同个别场区域出现或发出的所述第二个别粒子束投射到不同的检测区域上，其中将多个检测通道指定给每个检测区域，其中所述检测通道中的每一者编码该第二个别粒子束从该对象开始时的角度信息和/或方向信息；以及基于通过来自所述检测区域中的每一者以及其分别指定的检测通道的信号所获得或已获得的数据，产生个别场区域中的每一者的个别图像。

公开(公告)号：CN117396996A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202280038254.5

申请日：2022-04-26

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： S·舒伯特

IPC: H01J37/153

Abstract: 降低晶片检查的准确度或速度的多束效应，是依使用改良多束系统的检查定位以及使用该多束系统的改良晶片检查方法而校正。为此目的，改良多束系统包含一器件，其用于影响和均质化依该检查定位而定(例如依与晶片边缘的距离而定)的提取场。

公开(公告)号：CN116325067A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180066998.3

申请日：2021-09-22

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D·蔡德勒 ,  T·施密德 ,  I·穆勒 ,  W·保尔斯 ,  S·舒伯特

IPC: H01J37/26

Abstract: 本发明关于在可调工作距离附近具有快速自动对焦的多重粒子束显微镜及相关方法。提出了具有一个或多个快速自动对焦校正透镜的系统，用于在晶片检查期间以高频方式调整个别粒子束入射到晶片表面时的聚焦、位置、着陆角和旋转。可以类似的方式在粒子束系统的二次路径中实现快速自动对焦。通过偏转器和/或消像散器形式的快速像差校正装置，可进一步提高准确度。