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公开(公告)号：CN116325067A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180066998.3
申请日：2021-09-22
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/26
Abstract: 本发明关于在可调工作距离附近具有快速自动对焦的多重粒子束显微镜及相关方法。提出了具有一个或多个快速自动对焦校正透镜的系统，用于在晶片检查期间以高频方式调整个别粒子束入射到晶片表面时的聚焦、位置、着陆角和旋转。可以类似的方式在粒子束系统的二次路径中实现快速自动对焦。通过偏转器和/或消像散器形式的快速像差校正装置，可进一步提高准确度。
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